Исследование объемной и контрагированной форм высокочастотного емкостного разряда
Диссертация
VJI сферного давления Ш1фоко используется в крпнотоннажных производствах мелкодисперсных порошков, в получении ацетилена из метана, е создании высокотемпературных потоков восстановительных газов Н^, СО для целей металлургии. Интересна сфера применения плазменно-лу^ ковых разрядов /1,0./ для создания потоков атошв для обработки поверхности в задачах микроэлектроники. Остановился более подробно… Читать ещё >
Содержание
- Глава I. Экспериментальная установка, методики измерений
- 1. 1. Экспериментальная установка. Типы газоразрядных систем
- 1. 2. Измерение электрических полей, токов и ВЧ потенциалов в плазме
- 1. 3. Измерение температуры в разряде
- 1−4. Измерение продуктов плазмохимических реакций
- Глава II. Объемный разряд при средних давлениях
- 2. 1. Основные характеристики объемного разряда
- 2. 2. Структура электрического поля в объемном разряде
- 2. 3. Влияние толщины диэлектрических покрытий на параметры разряда
- 2. 4. Переход объемной формы ВЧЕ разряда в состояние с пространственно-неоднородной структурой
- 2. 5. Роль структуры электрического и теплового поля в поведении ВЧЕ разряда
- 2. 5. 1. Модель свободной границы ВЧЕ разряда
- 2. 5. 2. Профили электрического поля в объемной форме разряда
- 2. 5. 3. Профили температуры в объемной форме
- 3. 1. Контрагиро ванный разряд на молекулярных и инертных газах
- 3. 2. Механизм развития канала
- 3. 3. Анализ нелинейных уравнений, описывающих поведение контрагированного разряда
- 4. 1. Особенности плазмохимического реактора на основе ВЧЕ разряда
- 4. 2. Реаятор с поперечным продувом контрагированного разряда
- 4. 3. Модель канала разряда как генератора продуктов реакции
- 4. 4. Реактор с продувом объемного разряда вдоль электрического поля
Список литературы
- Иванов A.A., Соболева Т. К., Юпманов П. Н. Перспектиш использовг нияпл аз менно-пучкового разряда~в плазмохимии. — Физика плазмы, 1977, т. 3, — вып. 1. с. 152−162.
- Иванов A.A., Никифоров В. А. Применение плазменно-пучкового разряда в плазмохимии. В кн.: Химия плазмы / Под ред. Б. М. Смирне ва. М.: Атомиздат, I97O, вып. 5, с. 148−175.
- Колесниченко Ю.Ф., Матюхин В. Д., Муравьев В. Ф., Смазнов С. И. Высокочастотный емкостный разряд прибавлениях порядка атмосфер ного. Доклады АН СССР, 1979, т. 246, № 5, с. I09I-I094.
- Легасов В.А., Животов В. К., Крашенинников Е. Г. и др. Неравновес ный плазмохимический процесс разложения COg в ВЧ и СВЧ-разрядах Доклады АН СССР, 1978, т. 238, № I, с. 66−69.
- Жуков М.Ф., Смоляков.В.Я., Уроков Б. А. Электродугоше нагревате ли газа (плазмотроны). М.: Наука, 1973. — 256 с.
- Гриненко A.A., Иванов Ю. А., Штова Н. М. и др. Исследование диссоциации двуокиси углерода в электрических разрядах. М.: ИНХС АН СССР, 1977.
- Левицкий A.A. Исследование кинетики и механизмов некоторых хими ческих реакций методами математического моделирования.: Автор©- дис. канд. хим. наук. М.: 1978. — 24 с. — В надзаг.: ИНХС АН СССР.
- Солнцев Г. С., Дмитриева М. М. Двухэлектродный высокочастотный разряд при давлении от IOO мм рт.ст. до атмосферного. Журнал эксперим.теорет.физики, 1955, т. 29, вып. 5 (П), с. 651−657.
- Крашенинников Е.Г. Экспериментальные исследования неравновесныхплазмэхимических процессов в СВЧ-разряде повышенного давления. ¦ Дюс.канд. физ.-мат.наук. М., 1981. — 210 с. — В надзаг.: Институт атомной энергии им. И. В. Курчатова.
- Братин Б.Е., Матюхин Б. Д., Муравьев В. Ф. Диссоциация СО^ в плазме высокочастотного емкостного разряда. В кн.: У1 Всесоюзная конференция по физике низкотемпературной плазш: Тез. док Ленинград: Наука, 1983, т. П, с. 375−377.
- Асиновский Э.И., Марковец В. В., Самойлов И. С. Структура ударно электромагнитной волны в слабоионизованной плазме. В кн. У1 Всесоюзная конференция по физике низкотемпературной плазмы: Тез.докл. Ленинград: Наука, 1983, т. I, с. 372−374.
- Братин В.Е., Матюхин В. Д. Об управлении параметрами объемного ВЧЕ разряда. В кн. УШ Всесоюзная конференция по генераторам низкотемпературной плазш: Тез.докл. Новосибирск: Наука, 1980, т. 3, с. 128−130.
- Мак-Таггарт Ф. Диссоциация СО^. В кн.: Плазмохимические реакции в электрических разрядах. — М.: Атомиздат, 1972, с. 221 231.
- Григорович Р., Кристеску Д. К теории шсокочастотного факельно го разряда. Оптика и спектроскопия, 1959, т. У1, вып. 2, с. 129−136.
- Иванов Ю.А., Полак Л. С., Словецкий Д. И. О кинетике разложения углекислого газа в тлеющем разряде. Химия высоких энергий, 1971, т. 5, № 5, с. 382−387.
- Мальцев А.Н., Еремин Е.Н.?Ивантер В. Л. Диссоциация С0£ в тлеющем разряде. й^грнал физ. химии, 1967, т. 41, с. 1190−1193.
- Велихов Е.П., Голубев В. С., Пашкин С. В. Тлеющий разряд в поток газа. Успехи физических наук, 1982, т. 137, вып. I, с. 117−15
- Налартович А.П., Старостин А. Н. Механизш неустойчивости тлеющего разряда повышенного давления. В кн.: Химия плазмы /Под ред. Б. М. Смирнова. М.: Атомиздат, 1979, вып. 6, с. 153−208.
- Русанов В.Д., Фридман A.A., Шолин Г. В. Физика химически активной плазмы с неравновесным колебательным возбуждением молекул. Успехи физических наук, 1981, т. 134, с. 185
- Тихомиров И.А., Тоболкин A.C., Ткаченко А. Г. Исследование характеристик и режимов горения ВЧ факельного разряда. Журнал техн. физики, 1983, т. 53, № 6, с. II79-TI8I.
- Тихомиров И.А., Теплоухов В. Л., ВерзЦев В.А. и др. Некоторое электрофизические характеристики шсокочастотного факельного разряда. Изв. Томского политехнического института, 1976, т. 276, с. 60−65.
- Тихомиров И.А., Тихомиров В. В., Соловьев A.A. и др. Определение параметров воздушной высокочастотной плазш микроволновыми методами. Изв. Томского политехнического института, 1976, т.276, с. 26−29.
- Митин Р.В., Звягинцев A.B., Прядкин К. К. Безэлектродный УВЧ разряд шсокого давления. Теплофизика высоких температур, 1У73, т. II, № 3, с. 4УЗ-497.
- Митин Р.В., Гончар Н. И., Звягинцев A.B. Возможности и некоторые новые конструкции высокочастотных емкостных плазмотронов. -Теплофизика высоких температур, 1982, т. 20, № 2, с. 342−346.
- Митин Р.В., Шамраев В. Т., Яременко В. И. Емкостный ВЧ-разрядв углекислом газе при атмосферном давлении. Теплофизика высоких температур, 1983, т. 21, № 3, с. 595−596.
- Акиртава О.С., Джекия Б. Л., Квития З. А., Шенгелия H.A. Применение стационарного ВЧЕ-разряда для возбуждения быстропроточного Cu2 лазера. Письма в ЖГФ, 1981, т. 7, вып. 20, с. I23I-I235.
- Мышенков В.И., Яценко H.A. Влияние межэлектродного расстояния на максимальный поперечный размер пространственно-однородного плазменного столба. Журнал техн. физики, 1982, т. 51, № 10, с. 2055−2060.
- Мышенков В.И., Яценко H.A. Исследование устойчивости комбинированного разряда, поддерживаемого постоянным и высокочастотным электрическими полями. Физика плазмы, 1982, т. 8, № 4, с. 704 711.
- Яценко H.A. Исследование структуры неограниченного стенками ста ционарного газового разряда типа тлеющего. В кн. Шестая Всесо юзная конференция по физике низкотемпературной плазмы: Тез. докл Ленинград: Наука, 1983, т. П, с. 51−53.
- Brourri О.С. Davis Ц-.W. СLosed-cycLe perj-ormanse of higk-pou/er eiectrfk- clTschaгде iouer,
- QppL. Ph^S. Lett, mi vZI A/10 p. Li&O-bBi
- Генералов H.A., Зимаков В. П., Косынкин В. Д. и др. Метод существенного повышения предела стабильности разряда в быстропроточ-ных лазерах большого объема. Письма в ЖТШ, 1975, т. I, шп.9, с. 431−435.
- Колесниченко Ю.Ф. Теоретическое исследование высокочастотного емкостного разряда различной геометрии на молекулярных газах. -Дисс.канд.физ.-мат.наук. М., 1979, — 117 с. — В надзаг.: МВД
- Матюхин В.Д., Яценко H.A., Установка для исследования плазмохи-мических процессов. В кн.: Труды ШТИ, Сер.: Общая и молекулярная физика. М.: ШТИ, 1У71, с. 72−76.
- Андронов’А.А, Витт A.A., Хайкин С. Э. Теория колебаний. М.: Наука. — 568 с.
- Быканов А.Н., Матюхин В. Д., Муравьев В. Ф., Смазнов С. И. Исследование энергетических характеристик электродного высокочастотного разряда в азоте при средних давлениях. Известия СО АН СССР, серия техн. наук, 1980, в. 3, с. 70−72.
- Диагностика плазмы: Пер. с англ./Под ред. Р. Хаддлстоуна, П. Леонарда/. М.: Мир, 1967. — 515 с.
- Никольский В.В. Теория электромагнитного поля. М.: йюшая школа. — 384 с.
- Яценко H.A. Связь высокого постоянного потенциала, плазмы с режимом горения высокочастотного-емкостного разряда среднего давления. Журнал техн. физики, 1981, т. 51, № 6, с. 1195−1204.
- Ю. Филькенбург В., Меккер Г. Электрические дуги и термическая плазма.: Пер. с нем. М.: Изд. иностр. лит., 1961. — 369 с.
- J. Лохте-Хольтгревен В. Определение параметров плазмы. В кн.: Методы исследования плазмы. Под ред. В. Лохте-Хольтгревена. М.: Мир., 197I, с. 108−166.
- Брицка М.Э., Игнатко В. П., Сукач Ю. С. Исследование малошпрого высокочастотного разряда в аргоне при атмосферном давлении. -Теплофизика высоких температур, 1972, т. 10, № 2, с. 265−272.
- Гейдон А. Спектроскопия пламен: Пер. с англ. М.: Изд.иностр. лит., 1959, 382 с.
- Хохлов М.З. К вопросу о возможности измерения температуры канала факельного разряда по полосе гидроксила 3064 А0. Журнал эксп. и теор. физики, 1955, т. 29, вып. 5(11), с. 645−650.
- Оптическая пирометрия плазмы. Сб.статей. Пер. с англ./Под ред. Н.Н.Соболева/. М.: Мир, i960 — 438 с.
- Кудрявцев Е.М. Экспериментальное определение матричного элемента дипольного момента электронного перехода фиолетовой системы полос циана. В кн.: Труды ®-Н. М.: Наука, 1966, т. ХХХУ, с. 74−149.
- Хохлов М.З. Ротационная температура гидроксила и азота. Оптика и спектроскопия, 1958, т^ЗУ, вып. 4, с. 438−447.
- Очкин В.Н., Савинов С. Ю., Соболев H.H. Распределение интенсивности во вращательной-структуре 2+ системы N ^ в газовом разряде. М., 1977. — 54 с. (Препринт № 150 ФИАН СССР).
- ТрубачеевЭ.А. Изучение физико-химических свойств плазш СО-лазера. В кн.: Труды ФИАН. М., Наука, 1977, т. 102, с. 3−57.
- Рчкин В.Н., Савинов С. Ю., Соболев H.H., Трубачеев Э. А. Концен-^ трация радикалов С N в плазме лазера на окиси углерода. Квантовая электроника, 1974, № 3, с. 573−578.
- Фриш О.Э. Определение концентраций нормальных и возбужденныхатошв и сил осцилляторов методами испускания и поглощения света. В кн.: Спектроскопия газоразрядной плазмы. Ленинград: Наука, 1970, с. 7−62.
- Грим Г. Уширение спектральных линий в плазме: Пер. с англ. М.: Мир, 1978. — 491 с.
- Калитиевский Н.И., Чайка М. П. Интерферометр Фабри-Перо и некоторые его приложения в спектроскопии. В кн.: Спектроскопия газоразрядной плазмы. Ленинград: Наука, 1970, с. 160−200.
- Биберман Л.М., Норман Г. Э. Непрерывные спектры атомарных газов и плазмы. Успехи физических наук, 1967, т. 91, в. 2, с. 194 223.
- Шитиков Г. Т. Стабильные диапазонные автогенераторы. М.: Советское радио, 1965. — 614 с.
- Мак-Нейр -Г., Бонелли Э. Введение в газовую хроматографию: Пер. с англ. М.: Мир, 1970. — 277 с.
- Киселев A.B., Яшин Я. И. Газо-адсорбционная хроматография. М.: Наука. — 256 с.
- Велихов Е.П., Письменный В. Д., Рахишв А. Т. Несамостоятельный газовый разряд, возбуждающий непрерывные СО^-лазерч. Успехи физ. наук, 1977, т. 122, в. 3, с. 419−447.
- Велихов Е.П., Голубев С. А., Ковалев A.C. и др. Стационарный несамостоятельный газовый разряд в молекулярных смесях пошшенно-го давления. Физика плазмы, 1975, т. I, в. 5, с. 847−853.
- Чеботарев В.П. Неконтрагированный типа тлеющего, продольный разряд постоянного тока при атмосферных давлениях. Доклады АН СССР, сер.техн.физика, 1972, т. 206, Р 2, с. 334−336.
- Шмелев В.М., Марголин А. Д. К теории вихревого тлеющего разряда. -Журнал техн. физики, 1980, т. 50, № 4, с. 745−748.
- Брагйн В.Е., Колесниченко Ю. Ф., Матюхин В. Д., Муравьев В. Ф., Смазнов С. И. Об устойчивости высокочастотного емкостного разряда. В кн.: У Всесоюзная конференция по физике низкотемпературной плазш: Тез.докл. Киев, 197Э, т. I, с. 107.
- Братин В.Е., Матюхин В. Д. Пространственное распределение джоу-левой энергии в объемном высокочастотном емкостном разряде. -В кн.: Ш Всесоюзный симпозиум по плазмэхимии: Тез.докл. Звенигород: Наука, 1979, т. 2, с. 184−186.
- Грановский В.М. Электрический ток в газе. М.: Гостехиздат, 1952, т. L- 430 с.
- Варгафтик Н.Б. Справочник по теплофизическим свойствам газов и жидкостей. М.: Наука, 1972. — 720 с.
- Новгородов М.З. Экспериментальное исследование электрических и оптических характеристик положительного столба тлеющего разрядав молекулярных газах. В кн.: Труцы ФИАН. М.- Наука, 1974, т. 78, с. 60−116.
- Хаксли JI., Кромптон Р. Диффузия и дрейф электронов в газах: Пер. с англ. М.: Мир, 1977. — 672 с.
- Колесниченко Ю.Ф., Матюхин В. Д., Муравьев В. Ф., Смазнов С. И. О механизмах ионизации в высокочастотном емкостном разряде на молекулярных газах. В кн.: Ш Всесоюзный симпозиум по плазмэ-химии: Тез.докл. Звенигород: Наука, 1979, т. I, с. 84−88.
- Оришич A.M., Пономаренко А. Г., Солоухин Р. И. Энергетические характеристики и устойчивость двойного поперечного разряда при накачке лазера на COg. Доклады АН СССР, 1973, т. 212, № 5,с. I099-II02. -ч
- Баранов В.Ю., Ульянов К. Н. Контракция положительного столба. I.- Журнал техн. физики, 1969, т. XXXIX, № 2, с. 249−258.
- Баранов В.Ю., Ульянов К. Н. Контракция положительного столба. П.- Журнал техн. физики, 1969, т. XXXIX, № 2, с. 259−268.
- Kenty К. Votume Recom brnatjon, ConStr-jctTon and Vott-Qmptre Charact&rTStrc? of Po$Ttrv СоСитп. The PhySTcaL Review 1962 v 12.6 NH p 1235-/23 873.
- ALbrecht icKer Qy and MULLer K.G. Theorje der Kontratjon der positron $anle.- Is. A/atnrforsh ?962 p. 154-MO.
- EcKer Q, KroUWand loLLtrO. IhermaL IngtQblLTty of the PLazma Cotumn.- The Phyg7c$ of j-LuTdf V? N12 p. W0i-W06
- Матюхин В.Д., Смазнов С. И. Динамические характеристики контра-гированного разряда. В кн.: Труды МФТИ. Сер, — Общая й молекулярная физика. М.: ШТИ, 1979, вып. П, с. 152−156.
- Михалев Л.А., Селин Л. Н. Контракция положительного столба тлеющего разряда, обусловленная наличием отрицательных ионов. -Журнал техн. физики, 1974, X 1У, в. 5, с. 1095−1097.
- Герасимов Г. Н. О контракции электрического разряда в инертных газах при средних давлениях. Оптика и спектроскопия, 1977, т. 42, № 2, с. 362−354.
- Ульянов К.Н., Менахин Л. П. Неустойчивость тока в газе при средних давлениях. Журнал техн. физики, 1971, т. X I, в. 12, с. 2545−2551.
- Козлов Ю.Г. О контракции положительного столба разряда. Оптика и спектроскопия, 1970, т. ХХУШ, в. 4, с. 654−658.
- Ульянов К.Н. Контракция положительного столба разряда в газах с диссоциативным механизмом рекомбинации. Журнал техн. физики, 1973, т. ХШ, в. 3, с. 570−578.
- Голубовский Ю.Б., Зонненбург Р. О контракции разряда в инертных газах. I. Журнал техн. физики, 1979, т. 49, в. 2, с. 295−301.
- Голубовский Ю.Б., Зонненбург Р. О контракции разряда в инертных газах. 1У. Журнал техн. физики, 1980, т. 50, в. 10, с. 20 942 098.
- Баранов ВЛ)., Ульянов К. Н. Контракция положительного столба. -Письма в ЖЭТФ, 1967, т. 6, с. 622−626.
- Дыхне A.M. Теория одномерной контракции дуг. В кн.: Некоторые вопросы исследования газоразрядной плазш и создания сильных магнитных полей. Л.: Наука, 1970, с. 84−94.
- Елецкий A.B., Рахимов А. Т. Неустойчивости в плазме газового разряда. В кн.: Химия плазш /Под ред. Б.М.Смирнова/ М.: Атомиз-дат, 1977, в. 4, с. 123−167. .
- Витшас А.Ф., Голубев B.C., Маликов М. М. О величине нормальной плотности тока в контрагированной плазме. В кн.: Некоторыевопросы исследования газоразрядной плазмы и создания сильных магнитных полей. Л.: Наука, IVJ70, с. У5−105.
- Смирнов Б.М. Физика слабоионизованного газа. М.: Наука, 1978.- 416 с.
- Смайт В. Электростатика и электродинамика: Пер. с англ. М.: Изд.иностр.лит., 1954. — 604 с.
- Тихонов А.Н., Самарский А. А. Уравнения математической физики.1. М.: Наука, 1977. 735 с.до. Нааё A.R. Plasma stability of? lectrfc
- DTsharqe Tti ITIoCtcuLar &ases. Physical Review A, №b}V&, N11 p. WI*-№Z.
- Л. flLghon W.l. ?Lectron Energy Distributionfand CoLLWon. Rateg In iiectrlcaily Excite?
- CO and C02 Phy$JcaL Review A} 4910 VZ N5 p. ?9&Q- 2000.
- Полак Л.С., Соловецкий Д. И. Механизм ионизации азота. Теплофизика высоких температур, 1977, т. 15, № I, с. 15−21.
- Кондратьев В.Н. Константы скорости газофазных реакций: Справочник. М.: Наука, 1971. — 352 с.
- Райзер Ю.П., Основы современной физики газоразрядных процессов.- М.: Наука, 1980. 415 с.
- Голубовский Ю.Б., Некучаев В. О. Волны сжатия в контрагированномразряде.' В кн.: Шестая Всесоюзная конференция по физике низкотемпературной плазмы: Тез.докл. Ленинград, I98o, т. I, с. 4^:2−424.
- Галечян Г. А. Плазменный столб в потоке газа.—В кн.: Химия плазш /Под ред. Б.М.Смирнова/." М.: Атомиздат, 1983, в. 10, с. 73−108.
- Голубовский Ю.Б., Лягущенко Р. И. О существовании предельного тока и нескольких состояний стационарного разряда в диффузион-но-рекомбинационном режиме. Журнал техн. физики, 1977, т. 47, в. 9, с. 1852−1859.
- Каган Ю.М., Лягущенко Р. И. О возбуждении инертных газов в положительном столбе разряда при средних давлениях. ТУ. Оптика и спектроскопия, 1964, т. ХУ11, в. 2, с. 168−175.
- Матюхин В.Д., Франк-Каменецкий Д.А. Ширина и устойчивость зоны прогрева в индукционном плазмотроне. В кн.: 1У Всесоюзная конференция по физике и генераторам низкотемпературной плазмы: Тез.докл. Алма-Ата, 1970, т. I, с. 729−731.
- Белоусов И.Г., Легасов В. А., Русанов В. Д. О двухстадийном плаз-мохимическом цикле восстановления водорода из воды. В кн.: Вопросы атомной науки и техники. Сер.: Атомно-водородная энергетика. М.: МЭ, 1977, в 2(3), с. 158−163.
- Животов В.К., FycaHOB В.Д., Фрццман A.A. Диссоциация углекислого газа в неравновесной плазме. В кн.: Химия плазмы /Под ред. Б.М.Смирнова/. М.: Атомиздат, 1982, в. 9, с. 206−236.
- Андреев Ю.П., Семиохин И. А., Панченков Г. М. и др. Исследование диссоциации углекислого газа в тихом электрическом разряде. -Журнал физ. химии, 1964, т. 38, с. 794−797.
- Фридман A.A. Физическая кинетика неравновесных плазмохимичес-ких процессов. Дисс.канд.физ .-мат.наук. — М., 1979. — 129 с.-197 В надзаг.: МФТИ.
- Братин в.Е., Быков В. Н., Лубневский в.И., Матюхин в.Д. Энергетические характеристики В4Е разряда с продольным продувом.
- В кн.: Элементарные процессы в химически реагирующих средах: Межведомственный сборник. М.: №Ш, 1983, с. 18−22.
- Братин В.Е., Лубневский В. И., Матюхин В. Д. Энергетические характеристики ВЧЕ разряда с пространственной периодичностью. -В кн.: Элементарные процессы в химически реагирующих средах: Междуведомственный сборник. М.: МШ, 1983, с. 23−27.
- Братин В.Е., Матюхин В. Л. О пространственной однородности объемного ВЧЕ разряда. В кн.: Труды М®ГИ. Сер.: Общая и молекулярная физика. М.: МФТИ, 1979, в. П, с. 179−182.1 Ч
- Taylor R. L, ?rtterman. g, Survey of vTbratTonaL Refcaxcrtjort Data 4or Proce$$e$ Important jn the С0Z'N% Later fysttm-tevTtW of modern PhysTcg Ш MUI Ni p.
- НО. Матюхин В. Д., Муравьев В. Ф. Некоторые особенности высокочастотных разрядов в газах. В кн.: Труды ШТЙ. Сер.: Радиотехника и электроника. М.: МФТИ, 1971, с. 167−169.
- I. Лужнов В. Г., Матюхин В. Д., Смазнов С. И. Степень разложения С02, в контрагированном разряде. В кн.: Труда МФТИ. Сер.: Общая и молекулярная физика. М.: МФТИ, 1979, в. П, с. 187−190.
- EI2. Братин В. Е., Матюхин В. Д., Муравьев В. Ф. Диссоциация С02 в высокочастотном емкостном разряде пространственно-периодической структуры. Письма в ЗШ, 1983, т. 9, в. 21, с. 1284−1286.