Физика высокочастотного разряда пониженного давления в процессах обработки капиллярно-пористых и волокнистых материалов

Неорганические и органические, синтетические и натуральные капиллярно-пористые и волокнистые материалы широко применяются в промышленности и в быту. Физические и механические свойства этих материалов не вполне удовлетворяют современным требованиям, в связи, с чем возникает необходимость их модификации. Возможности модификации свойств этих материалов традиционными методами практически исчерпаны. Поэтому в настоящее время интенсивно исследуются возможности применения новых технологий, в том числе с использованием неравновесной низкотемпературной плазмы.

Эффективным методом модификации материалов различной физической природы является обработка в плазме высокочастотного (ВЧ) струйного разряда при пониженном давлении в диапазоне от 13,3 до 133 Па. Этот вид разряда характеризуется следующими параметрами: в разряде концентрация электронов пс= 1017 — 1019 м" 3, температура электронов Те= 1−3 эВ, температура атомов и ионов до Т,= 0,25 — 0,35 эВ, в плазменной струе пе= 1016 — 1018 м" 3, Те — 1 — 2 эВ, температура атомов и ионов до Т (= 0,06 эВ. Плазма ВЧ разряда пониженного давления позволяет эффективно обрабатывать порошковые материалы, малогабаритные изделия, внутренние и наружные поверхности изделий сложной конфигурации. В последние десятилетия плазменные технологии стали применять для обработки тканей, нитей, полимерных материалов, обладающих капиллярно-пористой и волокнистой структурой [1].

Обработка в ВЧ разряде пониженного давления позволяет увеличить адгезию полимерных материалов к покрытию, изменить физические свойства натуральных, искусственных и синтетических капиллярно-пористых и волокнистых материалов [2]. Однако в настоящее время физика ВЧ разряда пониженного давления в процессах обработки капиллярно-пористых и волокнистых материалов не изучена, не установлена физическая сущность процесса взаимодействия ВЧ разряда пониженного давления с этими материалами. Все это сдерживает разработку плазменных установок и технологических процессов для модификации капиллярно-пористых и волокнистых тел и внедрение их в производство.

Диссертационная работа направлена на решение актуальной проблемы комплексного исследования высокочастотного разряда пониженного давления в процессах модификации капиллярно-пористых и волокнистых материалов, позволяющих существенно повысить технологические и эксплуатационные характеристики изделий из этих материалов за счет целенаправленного изменения их структуры, физических и механических свойств.

В диссертации изложены результаты работы автора в период 1998 -2006 г. г. по исследованию высокочастотного разряда пониженного давления с продувом газа в процессах обработки различных капиллярно-пористых и волокнистых материалов, а также материалов компактной структуры. Работа выполнялась в Казанском государственном технологическом университете в рамках программы Министерства образования РФ № 417 «Взаимодействие атомных частиц с поверхностью — новые методы и технологии», по теме «Взаимодействие низкотемпературной плазмы с поверхностью твердых тел» 1992 -2000 гг., Федеральной программы «Концепция развития мехового комплекса России на 1999;2005 г. г.», Федеральной программы «Экологическая безопасность России» (шифр 8.1.38), при поддержке грантов АН РТ № 06−6.4−113 и № 06−6.4−299 по теме «Высокочастотная плазменная струйная обработка твердых тел компактной и капиллярно-пористой структур» 2002 — 2005 г.

В первой главе дан обзор известных экспериментальных и теоретических результатов, методов исследований и применений ВЧ разрядов пониженного давления. Проведен анализ распространенных методов модификации капиллярно-пористых и волокнистых материалов и рассмотрены их возможности в формировании различных свойств изделий. Установлено, что наиболее перспективными методами обработки капиллярно-пористых и волокнистых материалов являются разряды, создаваемые за счет высокочастотного электромагнитного поля при пониженном давлении.

На основе анализа литературных данных по модификации капиллярно-пористых и волокнистых материалов сформулированы цель и основные задачи работы.

Во второй главе приведены результаты экспериментальных исследований ВЧ плазмы при пониженном давлении в процессах обработки капиллярно-пористых и волокнистых материалов в сравнении с обработкой материалов компактной структурой.

В качестве образцов для обработки взяты капиллярно-пористые и волокнистые материалы (силикагель, сорбенты, полученные из рисовой лузги и гречишной шелухи, полиэтилен в виде мононитей, натуральная кожа и мех и целлюлозные нити), проводящие и диэлектрические материалы компактной структуры (нержавеющие стали, твердые сплавы, полиэтилен в виде пластин).

Обработка проводилась на ВЧ плазменной установке, состоящей из стандартных блоков и элементов, включающих в себя генератор, ВЧ индуктор и ВЧ — электроды, вакуумную систему, систему подачи плазмообразующего газа и диагностической аппаратуры.

Разработан исследовательский комплекс для проведения измерений параметров ВЧ разрядов при обработке материалов различной внутренней структуры.

Изучены энергетические, газодинамические и электрические параметры ВЧ разрядов пониженного давления в присутствии материалов различной внутренней структуры: мощность разряда, скорость потока плазмы, концентрация электронов, плотность ВЧ тока, напряженность магнитного поля, и положительный потенциал плазменного столба, плотность ионного тока на поверхность образца и энергия ионов бомбардирующих поверхность материалов, толщина слоя положительного заряда в окрестности обрабатываемых тел, ток утечки разряда внутри пористой системы.

Выполненные экспериментальные исследования позволили установить, что основными воздействующими факторами, способными модифицировать поверхность тела, являются низкоэнергетичная ионная бомбардировка, влияние энергии рекомбинации ионов и термическое воздействие на внешнюю геометрическую поверхность образца. Внутренняя поверхность материала модифицируется под воздействием энергии рекомбинации ионов, возникающих при зажигании в поровом объеме несамостоятельного разряда без положительного столба.

В третьей главе, с целью выяснения причин зажигания в поровом объеме несамостоятельного разряда без положительного столба, разработана математическая модель взаимодействия высокочастотных разрядов пониженного давления с диэлектрическими капиллярно-пористыми и волокнистыми материалами.

Модель построена в предположении, что рабочий газ является инертным и плазма состоит из частиц трех сортов: нейтральные атомы, электроны и положительные однозарядные ионы. В диапазоне давлений 13,3 — 133 Па и частот 1,76 — 13,56 МГц плазму высокочастотных разрядов пониженного давления можно считать сплошной средой, функцию распределения электронов по энергиям — максвелловской.

Плоский образец, помещенный в ВЧ плазму пониженного давления, рассекает ее на 2 части, в каждой из которых электроны продолжают совершать «качания» в своих промежутках. Поэтому рассмотрена модель, которая описывает свойства слоя положительного заряда (СПЗ) с обеих сторон образца.

Система, описывающая свойства СПЗ, включает в себя:

1) уравнение Пуассона для мгновенного значения потенциала <�рц (^х) электрического поля относительно плазмы;

2) уравнения неразрывности электронного и ионного газов;

3) задачу Коши для уравнения динамики плотности поверхностного заряда ц5 (Г) тела;

4) уравнение Пуассона для потенциала электрического поля в капиллярно-пористом теле.

В результате расчетов установлено, что в соответствии с динамикой поступления ионов и электронов на поверхность образца, плотности поверхностного заряда противоположных сторон образца и потенциал, создаваемый этими зарядами увеличиваются и уменьшаются в противофазе друг с другом.

Напряженности электрического поля, создаваемой в порах и капиллярах капиллярно-пористого и волокнистого материала в процессе обработки ВЧ плазмой пониженного давления достаточно для их пробоя. Пробой газа в порах и капиллярах происходит в моменты наибольшей напряженности электрического поля (Eint ~ (0,2 — 17,6)-104 В/м) с частотой 2со.

Таким образом, отличительной особенностью воздействия ВЧ разряда пониженного давления является то, что за счет разности потенциалов с противоположных сторон образца капиллярно-пористого и волокнистого материала в пористом объеме создается периодическое электрическое поле, напряженности которого достаточно для зажигания несамостоятельного ВЧ разряда.

Четвертая глава содержит результаты экспериментальных исследований ВЧ плазменной модификации капиллярно-пористых и волокнистых материалов при пониженных давлениях.

В главе описаны комплекс методик исследования свойств капиллярно-пористых и волокнистых материалов, а также материалов компактной структуры, методик проведения экспериментальных исследований по взаимодействию ВЧ разряда пониженного давления с капиллярно-пористыми и волокнистыми материалами и телами компактной структуры. Представлены результаты исследований изменения состава, структуры, физико-механических и физико-химических свойств в результате обработки ВЧ разрядом пониженного давления. На основании анализа результатов ВЧ плазменной обработки всего комплекса материалов (силикагеля, сорбентов, синтетических нитей, полиэтилена в виде пластин, натуральных высокомолекулярных материалов, нержавеющих и конструкционных сталей, твердых сплавов) определены значения обобщенных параметров обработки, обеспечивающие оптимальные изменения свойств модифицируемых материалов.

В пятой главе рассмотрены физические процессы, происходящие в капиллярно-пористых и волокнистых материалах при обработке в плазме ВЧ разряда пониженного давления.

Воздействие ВЧ плазмы пониженного давления на капиллярно-пористые и волокнистые материалы является комплексным: происходит одновременно обработка внешней поверхности материалов и внутренней поверхности пор и капилляров, что дает возможность объемной модификации капиллярно-пористых и волокнистых материалов.

В результате возникновения разряда внутри полимера и рекомбинации ионов на стенках пор происходит разрыв Ван-дер-ваальсовых и водородных связей в надмолекулярной структуре, что приводит к изменению аморфных и кристаллических фаз, релаксации внутренних напряженных состояний элементов надмолекулярной структуры, расщеплению пучков волокон, изменению соотношения размеров пор и их усреднение. При этом не происходит разрушения первичной, вторичной и третичной структуры полимера.

Следствием этого является релаксация внутреннего напряженного состояния, разрыхление и упорядочивание волокнистой структуры, изменение пористости материала, что в свою очередь приводит к изменению физических свойств.

В материалах компактной структуры ионы проникают в приповерхностный слой образца на глубину до 2 нм. В результате внутри кристаллической решетки создается дефектные структуры, которые диффундируют вглубь материала до глубины 20 нм, одновременно с этим происходит процесс диффузии имплантированных ионов плазмообразующего газа, который связывается с образованием твердых растворов или химических соединений.

Шестая глава посвящена разработке технологических процессов обработки капиллярно-пористых и волокнистых материалов, а также материалов компактной структуры.

Установлено, что наиболее целесообразным являются применения ВЧ разрядов пониженного давления для увеличения износостойкости металлов, выравнивания поверхностных свойств материалов, регулирования характеристик капиллярно-пористых и волокнистых материалов. Полученные результаты позволили разработать спектр процессов модификации изделий из капиллярно-пористых и волокнистых материалов и материалов компактной структуры.

Созданный комплекс оборудования и технологических процессов позволил повысить качество, надежность и долговечность изделий легкой и химической промышленности. Экономический эффект от внедрения составил 15 000 тыс. руб.

Таким образом, диссертационная работа представляет собой научно обоснованную технологическую разработку, обеспечивающую решение ряда важнейших прикладных задач, имеющих большое народнохозяйственное и социальное значение и заключающуюся в создании комплекса новых процессов модификации капиллярно-пористых и волокнистых материалов для улучшения эксплуатационных, потребительских и технологических свойств изделий, с применением ВЧ разряда при пониженном давлении.

На защиту выносятся следующие научные положения и выводы.

1. Результаты экспериментальных исследований характеристик ВЧ разряда пониженного давления с продувом газа в присутствии капиллярно-пористого и волокнистого материала, характеристик СПЗ, возникающего в окрестности обрабатываемого тела, и характеристик несамостоятельного разряда в пористом объеме материала.

2. Математическая модель СПЗ, описывающая взаимодействие ВЧ разряда пониженного давления с поверхностью в процессе обработки капиллярно-пористых и волокнистых материалов различной физической природы.

3. Закономерности изменения свойств капиллярно-пористых и волокнистых материалов неорганической и органической природы, а также материалов компактной структуры в результате воздействия ВЧ разряда пониженного давления.

4. Физическая модель ВЧ плазменной обработки капиллярно-пористых и волокнистых материалов, описывающая механизм возникновения несамостоятельного разряда в капиллярах и порах изделия.

5. Технологии модификации капиллярно-пористых и волокнистых материалов с применением ВЧ разрядов пониженного давления, позволяющие за счет объемной обработки регулировать эксплуатационные свойства материалов.

Большую консультационную помощь при выполнении данной работы оказал профессор д.т.н. Кудинов Владимир Владимирович, за что я ему искренне признателен.

1. Абдуллин, И. Ш. Современные методы модификации материалов из кожи и меха/ И. Ш. Абдуллин, B.C. Желтухин, И. В. Красина, М. Ф. Шаехов. / Учебноепособие. Гриф УМО. — Казань: — 2004. — 110 с — 100 экз.

2. Рыкалин, Н. Н. Металлургические ВЧ нлазмотроны. Электрои газодинамика./ П. Н. Рыкалин, Л. М. Сорокин — М.: Наука, 1987. -164 с.

3. Reed, Т. В. Induction-Coupled plasma torch. J. Appl. Phys., 1961, V. 32, .№ 5, p. 821−824.

4. Moroner, A. Radio frequency heating of a dense moving plasma./ A. Moroner, F. Hushfar A. J Electric Propulsion Conference in Colorado Springs. ColoradoSprings, 1963, March, p. 11−13.285.

5. Гольдфарб, В. М. Оптическое исследование распределения температуры и электронной концентрации в аргоновой плазме, /В.М. Гольдфарб, СВ. ДресвинТеплофиз. вые. температур, 1965, т. З, вып. З, с. 333 — 339.

6. Вурзелъ, Ф. Б. Высокочастотный безэлектродный плазмотрон при атмосферном давлении. / Ф. Б. Вурзель, Н. Н. Долгополов, А. И. Максимов, Л. С. Полак, В. И. Фридман.- В кн.: Низкотемпературная плазма. М., 1967, с. 419- 431.

7. Ровинский, Р. Е. Геометрия безэлектродного разряда, индуцируемого в инертных газах Р. Е. Ровинский, Л. Е. Белоусова, В. А. Груздев.- Теплофиз. вы-сок, температур, 1966, т.4, вып. З, с. 328 — 335.

8. Ровинский, Р. Е. Об энергетическом балансе стационарного индуцированного разряда./ Р. Е. Ровинский, В. А. Груздев, И. П. Широкова Теплофиз. высок, тем-ператур, 1966, т.4, ВЫП.1, 35- 39.

9. Jonston, P.D. Temperature and electron density measuremenis in an RF discharge in argon. Phys. Letters, 1966, V. 20, X" 5, p. 499 — 500.

10. Ровинский, Р. Е. Определение температуры в стационарном высокочастотном индукционном разряде. / Р. Е. Ровинский, В. А. Груздев, Т. М. Гутенмахер, А. П. Соболев. Теплофиз. высок, температур, 1967, т.5, вып.4, с. 557−561.

11. Кулагин, И. Д. Определение электрических параметров индукционного разряда в газе при атмосферном давлении/ И. Д. Кулагин, Л. М. Сорокин. — Физ. ихим. обр. матер., 1969, JV2 5, с. 3 — 12.

12. Кулагин, И. Д. Подобие индукционных разрядов при нагреве газа/ И. Д. Кулагин, Н. Н. Рыкалин, Л. М. Сорокин.- Физ. и хим. обр. матер., 1970, № 5, с. 137−139.

13. Кулагин, И. Д. Экспериментальное исследование индукционного плазмотрона/ И. Д. Кулагин, Л. М. Сорокин. — Физ. и хим. обр. матер., 1979, Jf^ 1, с. 3 — 8.

14. Кулагин, И. Д. Электромагнитные поля в реальном ненагруженном индукторе/ И. Д. Кулагин, Л. М. Сорокин, В. В. Шевченко.- Физ. и хим. обр. матер., 1976, № - I. e. 41−47.

15. Рыкалин, Н. Н. Плазменные процессы в металлургии и обработке материалов.- Физ. и хим. обр. матер., 1967, № 2, с. 317.

16. Гугняк, А. Б. Плазменные процессы в получении сферических порошков тугоплавких материалов. / А. Б. Гугняк, Е. Б. Королева, И. Д. Кулагин, В. И. Михалев, В. А. Петрунчев, Л. М. Сорокин .- Физ. и хим. обр. матер., 1967,№ 4, с. 40 — 45.

17. Краснов, АЛ. Низкотемпературная плазма в металлургии/ А. П. Краснов, В. Г. Зильберберг, Ю. Шарифкер.- М.: Металлургия, 1970. 216 с., ил.

18. Mapmi, К. Г. Применение низкотемпературной плазмы в микроэлектронике/ К. Г. Марин, В. К. Любимов.- Физ. и хим. обр. матер., 1978, № 2, с. 64 — 69.

19. Кулагин, И. Д. Плазменный процесс в получении моноокиси кремния. / И. Д. Кулагин, В. К. Любимов, К. Г. Марин, Б. А. Сахаров, Л. М. Сорокин. Физ. и хим.обр. матер., 1967, № 2, с. 36 — 41.

20. Вурзель, Ф. Б. Химические процессы в плазме и плазменной струе/ Ф. Б. Вурзель, Л. С. Полак.- В сб.: Кинетика и термодинамика химических реак-ций в низкотемпературной плазме. М., 1995, с. 100 — 117.

21. Коломыцев, П. Т. Жаростойкие диффузионные покрытия.- М.: Металлургия, 1979.-272 с.

22. Кудинов В. В. Плазменные покрытия.- М.: Наука, 1977.-184 с.

23. Никитин, МД. Теплозащитные и износостойкие покрытия деталей дизелей./ М. Д. Никитин, А. Я. Кулик, Н. И. Захаров.- Л.: Машиностроение, 1977. — 168с.

24. Усое, Л. П. Применение плазмы для получения высокотемпературных покрытий/ Л. П. Усов, А. И. Борисенко.- М.-Л.: Наука, 1965. 88 с.

25. Сыпоров, В. Ф. Получение пленок двуокиси кремния плазменным методом. / В. Ф. Сыноров, Э. В. Гончаров, В. М. Гольдфарб, А. В. Крячко. Электронная тех-ника. Сер. материалы, 1967, вып. З, с. 41 — 47.

26. Неса, М. Soures, а plasma pour la preparation de couches minces de silice/ M. Heca, J. Van. Cakenberghe.- Thin Solid Films, 1972, v. 11, № 2, p. 283 -288.

27. Донской, А. В. Применение низкотемпературной плазмы в электротермических процессах./ А. В. Донской, СВ. Дресвин, B.C. Клубникин.- В сб.: Генера-торы плазменных струй и сильноточные дуги. Л.: 1973, с. 39 -43.

28. Буевич, Ю. А. Некоторые особенности термического разрушения разлагающихся материалов./ Ю. А. Буевич, М. И. Якушин.- Журнал прикл. мех. и техн.физ., 1968, № 1, с. 56−65.

29. Аладьев, И. Г. Исследование безэлектродного кольцевого разряда в аргоне и воздухе. / И. Г. Аладьев, И. Г. Кулаков, О. Л. Магдасиев, А. П. Шатилов. В кн.:Низкотемнературная нлазма. М., 1967, с. 411 — 418.

30. Андреев, СИ. Исследование эффективности выделения энергии в нлазме безэлектродного высокочастотного разряда. / С И. Андреев, М. П. Ванюков, А. А. Егорова, Б. М. Соколов.- Ж. техн. физ., 1967, т.37, вып.7, с. 1252 -1257.

31. Дымшиц, Б. М. Исследование контрагированного индукционного разряда./ Б. М. Дымшиц, Я. П. Корецкий. — В кн.: Иизкотемнературная нлазма. М., 1967, с.425−431.

32. Бабат, Г. И. Безэлектродные разряды и некоторые связанные с ними вонросы. Вестник электронромышленности, 1942, № 2, — с. 112.

33. Бабат, Л Я Безэлектродные разряды и некоторые связанные с ними вонросы. Вестник электронромышленности, 1942, }к 3, — с. 18.

34. Плазменная технология в нроизводстве СБИС. / Под ред. П. А. Айнснрука и Д. Брауна.- М.: Мир, 1987. 469 с, ил.

35. Данилин, Б. С. Применение низкотемнературной нлазмы для травления и очистки материалов./ Б. С. Данилин, В. Ю. Киреев. — М.: Энергоиздат, 1987. 264с, ил.

36. Babat, G.I. Electrodeless discharges and some allied problems. Journal of the Inatitution of Electrical Engineers, 1947. V. 94. part III A, p. 27−37.

37. Morgan, G.D. High frequency discharges if gases. Science Progress, 1953, v. 41, №-161, p. 22−41.

38. Cabannes, F. Descharges dans les gaz. In. Etude de la decharge electrique par induction saus electrodes dans le neon. Paris, 1954, v. 238, Ш 20, p. 1979 — 1981.

39. Cabannes, F. Etude de la decharge electrique par induction dans les gas rares. Annales de Physique. 1955, v. 10, november december, p. 1026 -1078.

40. Desiongnieres, I. Pulsation d’une decharge H.F. par filament de zirconium. / I. Desiongnieres, R. Geller, F. Prevot, et R. Vienet. I. de Physique. 1956, v. 17, Щ 2, p. 166−167.

41. Бамберг, E.A. Определение некоторых параметров высокочастотного кольцевого разряда./ Е. А. Бамберг, С В. Дресвин Ж. техн. физ., 1963, т. ЗЗ, вып.1, с. 65 — 72.

42. Савичев, В. В. Измерение параметров плазмы импульсного вихревого разряда зондовыми методами./ В. В. Савичев, Е. С. Трехов, А. Ф. Фоменко. — В сб.: Физи-ка газоразрядной плазмы. М., 1968, вып.1, с. 27 — 38.

43. Eidmann, I. Gasaufhezung und energiebilanz einer stationuzen hochfrequenten Aingentladung in Edelgasen. Beitrage aus der Plasmaphysik. 1971, Bd. 11, №- 2, s.99−119.

44. Исрафтов, И. Х. Энергетические характеристики высокочастотной плазменной установки при низких давлениях. / И. X. Исрафилов, А. А. Самигуллин, Н. Шарифуллин, В. Д. Щербаков, Р. И. Яхин. Физ. и хим. обраб. матер., 1976, с.26−32.

45. Сысун, В. И. Источники плазмы высокой плотности на основе индукционносвязанного разряда. Материалы семинаров-школ молодых ученых, студентов иаспирантов / Петрозаводск, 2004. с. 147−177.

46. Lenz, В. Electron temperatures in low pressure R.F.-discharge./ B. Lenz, R.I. Walther. — Proc. 13-th Inem. Conf. Phenomena ionisated Gas, Berlin, 1977, p. 337−338.

47. Марков, Г. А. Фокусировка и канализация нижних гибридных волн и плазмы при ВЧ пробое газа. / Г. А. Марков, В. А. Миронов, В. Г. Савин, A.M. Сергеев.-Физика плазмы, 1980, т.6, вып. З, с. 670 — 675.

48. Schlz, P.D. Local thermodynamic equilibium in an R.F. argon plasma/ P.D. Schlz, T.P. Anderson.-1. Quant. Spectrosc. Ratiot. Transfer, 1968, v. 8, J^ o 7, p. 1411 1418.

49. KoHoneiiKo, В. И. Исследование параметров и микроволнового излучения плазмы безэлектродного индукционного разряда: Автореф. дисс. канд. физ.-мат. наук.- Харьков, 1970. 23 с.

50. Годяк, В.А. О зондовой диагностике ВЧ плазмы./ В. А. Годяк, О. А. Попов Ж. техн. физ., 1977, т.47, вып.4, с. 776 — 770.

51. Вагнер, Д. Распределение электронов по энергиям и контрагрование в высокочастотном разряде. / Д. Вагнер, В. А. Виролайнен, Ю. М. Коган, Г. Ю. Хрусталев. В кн.: Вопросы физики низкотемпературной плазмы. Минск, 1970, с. 182−184.

52. Кононенко, К. В. Детекторные свойства газоразрядной плазмы. М.: Атомиздат, 1980.-128С.

53. Geller, R. Production de plasmordes des de haut frequence stabflis a la frequencew stablis a la frequen de resonance du plasma. Comptes. Rendus hebdo-madaries des Sciences de l’Acudemie des sciences. 1959. v. 249, № 1, p. 2749 2751.291.

54. Лари, Э. Безэлектродный зонд для определения проводимости высокотемпературной плазмы/ Э. Лари, Д. Полк.- В кн.: Низкотемпературная плазма. М., 1967, с. 314−325.

55. Cabannes, F. Etude de 1 'amorcage de la decharge electrique dans le neon et xenon. Comptes Rendis. Hebdomadaires des sciences de l’Academie des Sciences, 1954, v.238,№ 14,-1482p.

56. Birkhoft, G. Messung der elektrischen Vorgange innerhalb einer Hochfregnenz Ringentladung. Zeitschrift fur ungewandte Physik, 1958, Bd. 10, Jfa- 5, s. 204 — 206.

57. Dippel, K. Magnetic field probes with high frequency responce. / K. Dippel, W. Tackenbarg. — Proceedings Amsterdam, 1960, v. 1, p. 533 — 536.

58. Преобраэ1сенскш, B.A. Измерение параметров плазмы высокочастотного импульсного разряда в N2 и СОг- / В. А. Преображенский, Е. С. Трехов, В. В. Савичев, А. П. Фоменко. В сб.: Физика газоразрядной плазмы. М., 1969, вып. 2, с. 139−147.

59. Жесткое, Б. Е. Некоторые вопросы диагностики гиперзвуковых свободномолекулярных потоков.- Труды ЦАГИ, 1977, вып. 1853, с. 32 -41.

60. Жесткое, Б. Е. Исследование ионизации и нагрева газа в высокочастотном индукционном разряде. / Б. Е. Жестков, Б. Г. Ефимов, З. Т. Орлова, A.M. Омелин, В. И. Ершов. Труды ЦАГИ, 1970, вып. 1232,15 с.

61. Исрафилое, И. Х. Энергетические характеристики высокочастотной плазменной установки при низких давлениях. / И. Х. Исрафилов, А. А. Самигуллин, СИ. Шарифуллин, В. Д. Щербаков, Р. И. Яхин. Труды КАИ: Физические науки, вып.193, 1975, с. 32−38.

62. Браун, Элементарные процессы в плазме газового разряда.- М.: Атомиздат, 1961.-323С.

63. Моделирование и методы расчета физикохимических процессов в низкотемпературной плазме. / отв. ред. Л. Полак.- М.: Паку, 1974. — 271 с.

64. Brasified Charles, I. High frequency discharges in mercure, helium and neon. / Physical Rewiew, 1931, v. 37, Jom, p. 82.292.

65. Левитский, СМ. Исследование потенциала зажигания высокочастотного разряда в газе в переходной области частот и давлений. // Журн. техн. физ.1957. Т.27, вып. 5. 970−977.

66. Разумовская, Л. П. Оптические и электрические свойства ВЧ «слабого» и «сильного» разрядов в неоне./ Л. П. Разумовская, О. П. Бочкова. // Оптика испектроскопия, 1960. Т.9. Вып.2. 271 — 273.

67. Яценко, Н. А. Сильноточный ВЧЕ разряд среднего давления. ЖТФ, 1980. Т.50. Вып.П. 2480 — 2482.

68. Яценко, Н. А. Связь постоянного потенциала плазмы с режимом горения высокочастотного емкостного разряда среднего давления. // Журн. техн. физ.1981. Т. 51, вып. 6. 1195−1204.

69. Мышенков, В. И. Влияние межэлектродного расстояния на максимальный поперечный размер пространственно-однородного плазменного стоба. /В.И. Мышенков, Н. А. Яценко. // ЖТФ, 1981. Т.51. № 10, с. 1195 — 1204.

70. Яценко, Н. А. Эффект нормальной плотности тока в емкостном ВЧ разряде среднего давления. // ЖТФ, 1982. Т.51, № 10, с. 2055 — 2060.

71. Ганна, А. Х. Исследование ВЧ разрядов в диффузионной области давления, а и у разряды: Автореф. диссМ., 1979.-14 с.

72. Кузовников, А. А. Пространственное распределение параметров стационарного ВЧ разряда./ А. А. Кузовников, В. П. Савинов. // Вестник МГУ. Сер.: Физика, астрономия, 1973, № 2. 215 — 233.

73. Кузовников, А. А. Исследование зависимости собственных постоянных электрических полей ВЧ разряда от его параметров./ А. А. Кузовников, В. Л. Ковалевский, В. П. Савинов // Вестник ЛГУ, Сер.: Физика. Астрономия, 1983, т.24,вып.4,с.28−32.

74. Александров, А. Ф. Электронный энергетический спектр приэлектродной плазмы асимметричного емкостного ВЧ разряда низкого давления.А. Ф. Александров, А. А. Рухадзе, В. П. Савинов, И. Ф. Сингаевский / Письма вЖТФ, 1999, т. 25. вып. 19, с. 32 — 39 293.

75. Popow, O.A. Power diss: pated in low-pressure radio-frequency discharge plasmas./ O.A. Popow, V.A. Jodyak. / J. Appl. Phys., vol. 57, № 1, 1985, p. 53 -58.

76. Левитский, CM. Потенциал пространства н распыление электродов в высокочастотном разряде. //Журн. техн. физ.-1957. Т.27, вып. 5. 1001 — 1009.

77. Джерпетов, Х. А. Исследование высокочастотного разряда методом зондов./ Х. А. Джерпетов, Г. М. Патеюк. // ЖЭТФ, 1955, т.28, вып. З, с. 343 — 351.

78. Застенкер, Г. Н. Процессы в высокочастотном разряде низкого давления низкого давления при изменении напряжения на электродах./ Г. Н. Застенкер, Г. С. Солнцев, Б. П. Швилкин. // Радиотехника и электроника, 1960. Ш 10, с.1709−1716.

79. Застенкер, Г. Н. О механизме формирования высокочастотного разряда низкого давления в воздухе./ Г. Н. Застенкер, Г. С. Солнцев, Б. Н. Швилкин. // Ра-диотехника и электроника, 1961, № 3, с. 387 — 394.

80. Кузовпиков, А. А. Экспериментальное исследование поглощения ВЧ поля плазмой положительного столба./ А. А. Кузовников, М. А. Хадир. // Радиотехни-ка и электроника, 1973, т. 18, вып.4, с. 875 — 877.

81. Грановский, В. Л. Электрический ток в газе. Установившийся ток / Под ред. Л. А. Сена и В. Е. Голанта. М.: Наука, 1971.-544 с, ил.

82. Рыкалин, Н. Н. Исследование энергетических параметров высокочастотного емкостного плазмотрона./ Н. Н. Рыкалин, И. Д. Кулагин, Л. М. Сорокин, А. Б. Гугняк. // Физ. и хим. обраб. матер., 1975. JSfe 4, — с. 3 6.

83. Рыкалин, Н. Н. Высокочастотный плазмотрон с внешними электродами и продольным продувом газа./ Н. Н. Рыкалин, И. Д. Кулагин, Л. М. Сорокин, А. Б. Гугняк. // ЖТФ, 1976, Т.46, .№ 4, с. 730 — 736.294.

84. Кононов, СВ. К определению интенсивности удельных тепловых потоков к поверхности в струях высокочастотного безэлектродного плазмотрона на воз-духе/ СВ. Кононов, М. И. Якушин. — Журнал прикл. мех. и техн. физ., 1966, № 6, с. 67- 68.

85. Подгорный, И. М. Лекции по диагностике плазмы.- М. Атомиздат, 1968. -219 с.

86. Колесниченко, Ю. Ф. Высокочастотный емкостной разряд при давлениях порядка атмосферного./ Ю. Ф. Колесниченко, В. Д. Матюхин, В. Ф. Муравьев, СИ. Смазнов. // ДАН СССР, 1979, т.246, с. 1091 -1094.

87. Тихомиров, И.А. О функции распределения электронов по энергиям в высокочастотном электродном разряде при пониженных давлениях./ И.А. Тихоми-ров, В. В. Тихомиров, В. И. Шишковский // Известия ВУЗов. Сер.: Физика, 1974,№ 4. С 34 — 37.

88. Бердичевский, М. Г. Неравновесность и механизм ионизации азотной плазмы безэлектродного ВЧ емкостного разряда при средних давлениях./М.Г. Бердичевский, В. В. Марусин. // Изв. Сиб. отд. АН СССР. Сер. техн. наук, 1979,№-8,вып.2,с.72−79.

89. Бердичевский, М. Г. Механизм нагрева азотной плазмы безэлектродного ВЧ емкостного разряда при средних давлениях./ М. Г. Бердичевский, В. В. Марусин. ТВТ, 1979. Т. 17, Х2 2, с. 246 — 249.

90. Полак, Л. С. Теоретическая и прикладная плазмохимия./ А. А. Овсянников, Д. И. Словецкий, Ф. Б. Вурзель. М.: Наука, 1975, — 304 с.

91. Босяков, М. Н Определение вращательной температуры молекул в плазме ВЧ разрядов низкого давления./ М. Н. Босяков, А. А. Лабуда // Докл. АН БССР, 1981. 25, ВЫП.9, с. 801−804.

92. Маркова, Т. Н. Структура нленок окиси алюминия, полученных в плазме ВЧ разряда./ Т. И. Маркова, А. Неустроев, Т. И. Павлиашвили, Е. Б. Соколов, В. В. Стрижков. Электронная техника. Сер. З, вып.1 (85), 1980. с. 112 — 113.

93. Максимов, А. И. Сравнительное исследование расныления некоторых металлов в тлеющем и ВЧ разрядах./ А. И. Максимов, В. И. Светцов. // Труды Ива-новского хим. техн. ин-та, 1973. Вып. З, с. 110 -115.

94. Светцов, В. И. Особенности распыления различных материалов при разряде в химически активных средах: Обзоры по электронной технике. Сер.4: Элек-тровакуумные и газоразрядные приборы. М.: ЦНИИ «Электроника», 1983, ВЫН.5 (979).- 39 с.

95. Савинов, В. П. Физические процессы в граничных областях емкостного высокочастотного разряда. /Тезисы докладов 11 конференции по физике газовогоразряда — Рязань. — 2002. т. 2. с. 17−19 296.

96. Gherbonowscki, N. Ring discharge./ N. Gherbonowscki, 0. lancu Analele Universitatu Bucuresti, Fizika, 1979, v. XXVIII, p. 3 9.

97. Звягинцев, A.В. Безэлектродные емкостные разряды дугового тина./ А. В. Звягинцев, Р. В. Митин, К. К. Прядкин. // ЖТФ, 1975. Т.45, вып.2, с. 278 -285.

98. Постников, А. О низкочастотной дрейфовой неустойчивости плазмы высокочастотного разряда в магнитном поле./ А. Постников, А. А Сковорода, Б. П. Швилкин //ЖТФ, 1975. Т.45, вып. З, с. 508 — 513.

99. Наумовец, ВТ. Влияние магнитного поля на высокочастотный разряд./ В. Г. Наумовец, Л. Л. Пасечник, В. В. Ягода // Физ. плазмы, 1979. Т.5, вып.1,с. 179−183.

100. Брагин, В.Е. О пространственной однородности объемного ВЧЕ разряда. В. Е. Брагин, В. Д. Матюхин // Труды Моск. физ.-техн. ин-та. Сер.: Общ. и моле-кулярн. физ., 1979, вып.11. с. 179 182.

101. Kapicha, V. Corona and high frequency discharges. Acta. Phys. Slow., 1979, v.29,.Nb2,p. 119−122.

102. Тринг, M.B. Плазменная технология. В кн.: Низкотемпературная плазма. М., 1967, с. 531 -545.

103. Lachamber, T.L. Tranzversely RF-excited CO2 Wavequide Laser. T.L. Lachamber, T. Mcfarlane, J. Otis, P.A. Lavigne / Appl. Phys. Lett., v.32, № 10,1978, p. 652−653.

104. Вурзель, Ф. Б. Плазмохимическая модификация поверхности стекла. Ф. Б. Вурзель, В. Ф. Назаров. В сб.: Плазмохимические процессы. М., 1979, с.172−203.

105. Гайнутдииов, И. С. Очистка и полировка поверхностей подложек высокочастотной индукционной плазмой низкого давления. / И. С. Гайнутдинов, Г. Ю. Даутов, А. А. Самигуллин, Н. Шарифуллин, В. Д. Щербаков. Физ. и хим. обр.матер., 1977, Хо 6, с. 150−152.

106. Василец, В. Н. Исследование действия ВЧ разряда на поверхность полиэтилена. В. Н. Василец, И. А. Тихомиров, А. Н. Нономарев. Тез. докл. II Всесоюзн. совещания по плазмохимии. М., 1979, т.2, с. 261 — 263.

107. Очерки физики и химии низкотемпературной плазмы. / Под ред. Л. С. Полака. — М.: Наука, 1977. — 436 с. 298.

108. Фолманис, Г. Э. Диэлектрические пленки из проникающей плазмы. -Физ. и хим. обр. матер., 1981, JV2 4, с. 156−157.

109. Гущин, Л. К. Термодиффузионное насыщение титановых сплавов азотом и кислородом при нагреве высокочастотной низкотемпературной плазмой. В сб.:Защитные покрытия. Киев, 1967, с. 87−91.

110. Зорин, Е. И. Осаждение карбиновых и алмазоподобных пленок в плазме газового ВЧ разряда./ Е. И. Зорин, В. В. Сухоруков, Д. И. Тетельбуам // ЖТФ, 1980.Т.50,вып.1, с. 175−177.

111. Велихов, Е. Л. Физические явления в газоразрядной плазме: Учеб. руководство./ Е. Л. Велихов, А. С. Ковалев, А. Т. Рахимов. — М.: Наука, 1987. -160 с, ил.

112. Васильева, А. Н. Несамостоятельный разряд в газе. А. Н. Васильева, И. А. Грищина, А. С. Ковалев, В. И. Ктиторов, А. Т. Рахимов, СБ. Розанов. Пись-ма в ЖТФ, 1980. Т.6, ВЫП.9, с. 551 -555.299.

113. Батманов, Г. М. Несамостоятельный СВЧ разряд и возможности его использования в лазерной технике./ Г. М. Батманов, И. А. Коссый, Г. С. Лукьянчи-ков // ЖТФ, 1980. Т.50, вып.2, с. 346 -349.

114. Patel, К. Ш^щоХг^юп of CU2 optical maser experiments. / Phys. Pev. Lett., V. I2, 1964, p. 588−590.

115. Patel, C.K. Selective excitation thouch vibrational energy transfer and optical maser action in N2 — CO2- / Phys. Rew. Lett., v. l3, 1964, p. 617 -619.

116. Crocker, A. Carbon-dioxide laser with high power per unit lenght./ A. Crocker, M.S. Wills. / Electr. lett., v.5, № 4, 1969, p. 52 — 53.

117. Comprehensive organometallic chemistry, V.3, Oxf., 1982, p. 783 — 1077.

118. Технология пластичных масс, под ред. В. В. Коршака, «Химия», М., 1985, с. 32−50.

119. Гроздова, Г. В. Тенденции в производстве и переработке полиэтилена низкой плотности, получаемого при низком давлении./ Г. В. Гроздова, Т. Смирнова, Ж. Хим. пром. за рубежом, 1982, Ш2, с. 1 — 15.

120. Kysajko, W. WAJ.- 1980. XXIX.- № 4. 81.

121. Кузнецов, Б. Н. Синтез и применение углеродных сорбентов Б. Н. Кузнецов //Соросовский образовательный журнал, 1999, № 12, с. 29 — 34.

122. Олонцев, В. Ф. Некоторые тенденции в производстве и применении активных углей в мировом хозяйстве. — Химическая промышленность. 2000. — № 5. -с.7−14.

123. Лихолобов, В. А. Каталитический синтез углеродных материалов и их применение в катализе/ В. А. Лихолобов // СОЖ, 1997, № 5, с. 35−42.

124. Роговил, З. А. Основы химии и технологии химического юлокна/З.А. Роговин: В 2-х т. — М.: Химия. — 1974. — Т. 1. —520 с.

125. Мельников, Б. Н. Современные способы заключительной отделки тканей из целлюлозных волокон. / Б. Н. Мельников, Т. Д. Захарова — М.: Мир. — 1975. -322 с.

126. Nelson, P.M. А model for БОфиоп of water vapor by cellulosic materials / P.M. Nelson // WoodFibr. Sd.- 1983. V.15. — № 1.-P. 8−22 .

127. Мельников, Б.Н. Физико-химические основы отделочного производства / Б. Н. Мельников, Т. Д. Захарова, М. Н. Кириллова. — М.: Химия, 1982. — 293 с.

128. Зазулина, З. А. Основы технологии химических волокон: Учебник для вузов/ З. А. Зазулина, Т. В. Дружинина, А. А. Конкин. — М.: Химия, 1985. 303 с.

129. Кундий, А. Оценка эффективности использования биопрепаратов для обработки льняных материалов / А. Кундий, А. В. Чешкова, В. И. Лебедева, Т. Б. Хан // Теория и практика: Сб. международной техн. конф. — Иваново: ИГ-ТА. — 1996. — 26−28.

130. Данилкович, А. Г. Нрактикум по химии и технологии кожи и меха. / А. Г. Данилкович, В.И. ЧурсинМ.: ЦНИИКН, — 2002. — 413с.

131. Артамонов, Б. А. Электрофизические и электрохимические методы обработки материалов. / Б. А. Артамонов, Ю. С. Волков, В. И. Дрожалова. — М.: Выс-шая школа, 1983. — Т. 1 — 247 с.

132. Артамонов, Б. А. Электрофизические и электрохимические методы обработки материалов. Т.2. / Б. А. Артамонов, Ю. С. Волков, В.И.Дрожалов^ - М.:Высшая школа, 1983. — 208 с.

133. Лопилов, Л. Я. Электрофизическая и электрохимическая обработка материалов: Справочник./ Л. Я. Лопилов — М.: Машиностроение. — 1982. — 399 с. 301.

134. Snoeys, R. The role — of nonconventional machining methods in mechanical manufacturing / R. Snoeys // Bull. Seanc. Acad. Sci. Outre Mer. Meded Zin, K, Acad. Oxerzeese Wet. — 1986.-№ 3. — V.3. — P. 503 — 505.

135. Генель, C.B. Стабильность полимерных материалов и изделий из них. / СВ. Генель, В. Н. Кестельман, Р. А. Рутто.- М.: МД, 1971. 200 с.

136. Болт, Р. Действие радиации на органические материалы./ Болт Р., Кэррол Дж. Пер. с англ./ Под. ред. В. Л. Карпова. -М.: Атомизадат, 1965. — 499 с.

137. Жиряков, Б. М. Нетрадиционные способы обработки материалов./ Б. М. Жиряков, А. К. Фаннибо А.К. — М.: ЦНИИПИ, 1976. — 24 с.

138. Кестельман, В. Н. Физические методы модификации полимерных материалов. / В. П. Кестельман — М.: Химия, 1980. — 222 с.

139. Князев 5./Г Радиационная стойкость материалов радиотехнических конструкций / В. К Князев.: Справочник. — М.: Советское радио, 1974. -40 с.

140. Махлис, Ф. А. Радиационная физика и химия полимеров./ Ф. А. Махлис — М.: Атомиздат, 1972. — 256 с.

141. Бовей, Ф. Действие ионизирующих излучений на природные и синтетические полимеры. Пер с англ./ Под ред Ю. С. Лазуркина. — М.: Изатинлит, 1959. -296 с.

142. Берлянт, СМ. Наполненные радиационно-модифицированные композиции на основе полиэтилена./ А. А. Гавловский, В. Г. Данилов, В. П. Перепелкин //Пластические массы. -1976. — № 7. -С.36 -38.

143. Гусев, Г. В. Влияние облучения на электропроводимость поликапроамидных нитей/ Г. В. Гусев, В. М. Поленичкин, Б. И. Буркерт, Б. М. Тараканов // Химиче-ские волокна. -1999. -JN" 3. -С. 40−41.

144. Пьянков, Г. Н. Радиационная модификация полимерных материалов. -Киев: Техника., 1969.-229 с.

145. Жиряков, Б. М. Нетрадиционные способы обработки материалов/ Жиряков Б. М., Фаннибо А. К. — М.: ЦНИИПИ, 1976. — 24 с. 302.

146. Инфракрасные снектры ноглощения нолимеров и всномогательных веществ / под. ред. В. М. Чулановского.- М.: Химия, 1969. -50 с.

147. Козельцев, Л. И. Термообработка изделий из реактонластов токами высокой частоты. //Пластические массы. — 1974. — № 3. -С. 43−41.

148. Бартенев, Г. М. Курс физики нолимеров./ Бартенев Г. М., Зеленев Ю. В. Л.: Химия, 1967.-288 с.

149. Бах, Н. А. Электропроводность и парамагнетизм полимерных полупроводников./ Бах Н. А., Ванников А. В., Гришина А. Д. -М.: Наука, 1971. -287 с.

150. Лобанов, М.Ю. Конвективно-микроволновая фиксация активных красителей хлончатобумажной тканью/ М. Ю. Лобанов, А. П. Морыганов, Б. Н. Мельников, B.C. Побединский// Технология текстильной промышленно-сти.-1991.-№ 5.-С. 51.

151. Лобанов, М. Ю. Влияние СВЧ излучения на диффузию активных красителей в целлюлозный субстрат / М. Ю. Лобанов, B.C. Побединский //Текстильная хи-мия.-1995.-^2 2.-С. 101−106.

152. Hudis, М. Plasma treatment of solid materials // Techn. and Appl. of Plasma Chem. Ch. 3. — 1974. — P. 113 — 147.

153. Pavlath, A.E. Plasma treatment of natural materials. Ch. 4 // Ibid. — 1974. — P. 149−175.

154. Kirk, R. W. Application of Plasma Technology to fabrication of semiconductor devices. Ch. 9. // Ibid. — 1974. — P. 347 — 377.

155. Thomas, R.S. Use of Chemically Reactive Gaseous Plasmas in preparation of specimens for microscopy. Ch. 8. // Ibid. — 1974. — P. 255 — 346.303.

156. Friedrich, I. Untersuchungen zur Plasmaatzung von Polimeren, I. Structuranderungen von Polimeren nach Plasmaatzung/ I. Friedrich, G. Kuhn, I. Gahde // Acta Polimerica. — 1979. — Bd. 30. — .№ 8. — S. 470 — 477.

157. Максгшов, A.M. Окислительные процессы в неравновесной плазме низкого давления/ А. И. Максимов, В. И. Светцов. // Изв. вузов. Химия и хим. технол. -1979.-Т. 22,}(о 10.-С. 1167−1185.

158. Горберг, Б. Л. Модификация текстильных материалов в низкотемпературной плазме тлеющего разряда: Автореф. дис. канд. техн. наук.- Иваново, 1985.

159. Квач, КМ. Плазмохимическая обработка льняных тканей/ Н. М. Квач, Т. В. Тюркина, Ф. Садова // Текст, пром-ть. — 1995. — № 1 — 2. — 33 — 35.

160. Ingals, R.B. ESR spectra of free radical intermediates formed by reaction of polyestyrene with atoms of hydrogen and deuterium/ R.B. Ingals, L.M. Woll. // J.Chem.Phys.-1971.-}{235.-P. 370−371.

161. Шарнина, JJ.B. Разработка эффективных методов плазменной активации текстильных материалов: Автореф. дис. канд. техн. наук.- Иваново, 1991.

162. Lee, K.S. The effects of afterglow, ultraviolet radiation, and heat on wool in an electric glow discharge/ Lee K.S., Pavlath A.E. // Textile Res.J.-1975.-V.45, K⁸.-P. 625−629.

163. Ihorsen, W.I. Temporary and permanent fiber-friction increases induced by corona treatment//Textile Res. J. — 1971. -V. 41, № 4. — P. 331 -336.304.

164. Gregorsci, К. Fabric modification using the plasmas/ K. Gregorsci, A. Pavlath. // Textile Res. J. — 1980. — V. 50, J^ 2 1. — P. 42 — 46.

165. Pavlath, A. Plasma Treatment of natural materials A. Pavlath, E. Attila // Techn. and Appl. of Plasma Chem.: N.Y. — London — Sydney — Toronto: Intersd. Publ., 1984.-P. 149−175.

166. Афанасьев, B.K. Обработка шерстяных материалов в низкотемпературной плазме В. К. Афанасьев, Г. М. Александрова, М. Н. Серебренникова. // Текст, пром-сть. — 1992. — Я" 5. — 26 — 27.

167. Садова, Б. Л. Придание шерстяным тканям эффекта малосвойлачиваемости/ Б. Л. Садова, Н. Н. Баева. // Текст, пром-сть. — 1991. -Х" 11 — 12. — 43 — 44. 168. Баева, Н. Н. Разработка технологии придания малосвойлачиваемости шерстяным материалам с использованием низкотемпературной плазмы: Автореф.дис. канд. техн. наук. -М., 1989.

169. Александров, КБ. Закономерности взаимодействия электронно-пучковой неравновесной плазмы с целлюлозой/ И. Б. Александров, М. Н. Васильев, Ю. В. Гаврилов. // Журн. прикл. хим. — 1996. — Т. 69, вып. 12.

170. Николаева, К. А. Исследование процесса крашения шерстяной ткани, обработанной в низкотемпературной плазме при пониженной температуреИ.А. Николаева, Ф. Садова. //Тез.докл.Всерос. науч.-техн.конф. Иваново: ИГ-ТА, 1990.-С.55−58.305.

171. Шаповалов, СВ. Особенности модификации поликапроамидных волокон в низкотемпературной плазме СВ. Шаповалов, Т. П. Лебедева, А. А. Калачов. //Высокомолекул. соединения. — 1993. — Т. 35, № 5. — 520 — 527.

172. Герасимова, Н. А. Совершенствование физико-химических способов повышения прочности адгезионных соединений/ Н. А. Герасимова, В. Е. Кузьмичев, В. В. Веселов. / Ивановский текст, ин-т. — Иваново, 1966. — Рукоп. деп. вЦНИИТЭИлегпром 08.09.86, № 1755-ЛП.

173. Yasuda, Н. ESCA study of polymer surface treated by plasma/ H. Yasuda, H.S. Marsh, S. Brandt.// Journal of Polymer Science: Polymer Chemistry Eddition. -1977.-V. 15.-P. 991−1019.

174. Реиби, Б. Кинетика фотолиза полиэтилена вакуумным ультрафиолетовым излучением./ Б. Ренби, Я. Рабек. // Химия высоких энергий. -1979. — Т.13. -№ 3.-С. 225−231.

175. Hollahan, J.R. Techniques and Applications of Plasma Chemistry. J.R. Hollahan, T.B. Alexis — New York: WileyInterscience Publication, 1974. -399 p.

176. Bell, A.T. Introduction to plasma processing. // Solid State Technology. -1978. — V. 21.-.№ 4.-P. 89−94.

177. Чистяков, Ю. Д. Физикохимические основы технологии микроэлектроники./ Ю. Д. Чистяков, Ю. П. Райнова. -М.: Металлургия, 1979. -408 с.

178. Муранова, ГА. Ионная полировка оптических поверхностей./ Г. А. Муранова, B.C. Терпугов, П. П. Егоров, Г. П. Тихомиров, А. Ф. Первеев. //Оптико-механическая промышленность. -1979. — № 5. -С. 33 -35.306.

179. Craighead, KG. Textured thin film. Si solar absorbers using reactive ion etching. H.G. Craighead, R.F. Howard // Journal of Applied Physics Lett. -1980. -V. 37. -№ 7. — P. 653 — 655.

180. Boundur, J.A. Dry process techcology (RIE). // Journal of Vac. Science Technology. -1976. -V. 13. -№ 5. -P. 1023 — 1029.

181. Schwartz, G.C. Reactive ion etching of silicon. G.C. Schwartz, R.M. Schaible // Journal of Vac. Science Technjolgy. -1979. -V. 16. № 2. -P. 410 -412.

182. Прутская, M.A. Эффективность модификации полимерных диэлектриков в тлеющем и барьерном разряде: Тезисы докл. третьего всесоюзн. симп. по плаз-мохимии. -Москва, 1979. -С. 328 -330.

183. Абдрашитов, Э. Ф. Поверхностная плазмохимическая модификация эластомеров/ Э. Ф. Абдрашитов, А. Н. Пономарев. / Тезисы докл. 4-го Всесоюзн.симп. по плазмохимии. — Днепропетровск, 1984. — 96−97.

184. Романкевич, М. Л. Обработка полиэтиленовой пленки коронным разрядом/ М. Л. Романкевич, И. П. Гирко // Механика полимеров. — 1973. -№ 2. — 367.

185. Берлин, А. А. Основы адгезии полимеров. А. А. Берлин, В. Е. Басип. -М.: Химия, 1969.-130 с.

186. Сажин, Б. И. Электрические свойства полимеров. — Л.: Химия, 1970. -220 с.

187. Тобакарев, ВТ. Исследование плазменной модификации поверхностей полимерных материалов / В. Г. Тобакарев, В. И. Гриневич, А. И. Максимов, В.ВРыбкин. //Химия и химическая технология. -1979. -Т. 12. -С. 184 -187.

188. Egitto, F.D. Mettalized Plastics F.D. Egitto, L.J. Matienzo. Fundamental and Applied aspects: Contributed Papers of 189 th Meeting of the Electrochemical Soci-ety. -Los Angeles, 1996. -P. 283 -301.

189. Arefi, F. Metallized Plastics./ F. Arefi, M. Tatoulian, V. Andre, J. Amouroux, G. 1. orang: Fundamental and Applied AspectNew York: Plenum Press, 1992. -V. 3. -340 p.

190. Arefi, F. Metallized Plastics./ F. Arefi, M. Tatoulian, V. Andre, J. Amouroux, G. 1. orang Fundamental and Applied Aspect. -New York: Plenum Press, 1992. -V. 2. -340 p.

191. McCracken, G.M. The behaviour of surface under ion bombardment. // Rep. Progress Physics. -1975. -V. 38. -.№ 2. — P. 241 -327.

192. Hall, J.R. Activated Gas Plasma Surface Treatment of Polymers for Adhesive Donding, Part 2. J.R. Hall, C.A. Westerdahl, M.J.Bodnar // Journal of Applied Poly-mer Science. -1969. -V. 13. P. 1085 -2096.

193. Reitz, U. Barrierententladungen zur plasmagestutzten Oberflachenbehandlung: Contributed Papers of International Conference on PhD. — Technical UniversityBraunschweig, 1995. -P. 344 -346.

194. Schwatz, R. Uber die Beschichtung von Oberfiachen mit Barrierenentladungen bei Atmospharendruck: Contributed Papers of International Conference on PhD. -Technical University Braunschweig, 1995. -P. 360 -365.308.

195. Gheorghiu, М. Treatment of polyethersulphone films in argon RF discharge M, Gheorghiu, J. Sullivan, S.O. Saied, G. Popa: Contributed Papers of 14 th Interna-tional Symposium on Plasma Chemistry. -Prague, 1999. -P. 1837 — 1842.

196. Ricard, A. Plasma-Surface Interactions and Processing of Materials./ A. Ricard,.

197. Auciello. -Kluwer: Dordrecht, 1990. -300 p.

198. McDaniel, E.W. Collision Phenomena in Ionized Gases. -New York: Willey, 1976.-231p.

199. Горберг, Б. Л. Модификация поверхностных свойств текстильных материалов в низкотемпературной плазме тлеющего разряда/ Б. Л. Горберг, Ю. Р. Зельдин, А. И. Максимов: Тезисы докл. 4-го Всесоюзн. симп. по плазмо-химии. — Днепропетровск, 1984. — 178 -180.

200. Farmer, A.J.D. Dielectric barrier discharge treatment of textiles/ AJ.D. Farmer, P. S. Turner, XJ, Dai.: 14 th international symposium on plasma chemistry — Prague, Czech Republic, 1999.-V.3.-P. 1131−1135.

201. Creatore, M. Plasma treatments of polyethylen in modulated NH 3 RH glow discharges/ M. Creatore, P. Favia, G. Cicala, R. Lamendola, R. d’Agostino.: 14 thinternational symposium on plasma chemistry — Pragye, Czech Republic, 1999. -V. 3.-P. 1203−1207.

202. Переверзев, B.H. Интенсификация технологических процессов обработки меха/ B.H. Переверзев, А. Н. Беседин, В. Г. Зуева. //Кожевенно-обувная про-мышленность. -Ш 4. -С. 5−6.

203. Dai, X.J. Reactive plasma spesies in the modification of wool fibre./ X.J. Dai, S.M. Hamberger, R.A. Bean //Australian journal physics. -1995.-V. 48.P.939−951.

204. Brooks, J.H. Surface Energy of Wool./ J.H. Brooks, M.S. Rahman // Textile research Journal.-1986.-V. 56.-P. 164−171.

205. Bateup, B.E. Wettability of Wool Fibers./ B.E. Bateup, J.R. Cook, H.D. Feldman, B.E. Fleischfresser. // Textile research Journal. -1976. -V. 46. -P. llQ-lli.

206. Byrn, KM The Critical Surface Tension of Wool. K.M. Bym, M.W. Roberts, J.R.H. Ross // Textile research Journal. — 1979. -V. 49. -P. 34−40.

207. Feldman, H.D. The Spreading and Adhesion of the Polymer on Wool. H.D. Feldman, J.R. McPhee //Textile research Journal. -1964. -V. 34. -P. 634 -642.

208. Owens, D.K. Estimation of the Critical Surface Free Energy of Polymer. D.K. Owens, R.C. Wendt // Journal of Applied Polymer Science. -1969. -V. 13.P. 1741 -1747.

209. Wells, R.K. Modeling of non — isothermal glow discharge modification of PTFE using low energy ion beams./ R.K. Wells, M.E. Ruan, J.P.S. Badual // Journal physicschemistry. — 1993. -№ 9. -P. 12 879 -12 881.

210. Yasuda, H. Plasma Polymerization. -London: Academic Press, 1985.-300 p.

211. Садова, Ф. Совершенствование подготовки и печати шерстяных тканей, обработанных низкотемпературной плазмой / Ф. Садова, СМ. Журавлева, О. В. Пырсикова // Текстильная промышленность. — 1999. — Jsr2 11- 12. -С. 37 -38.

212. Иванов, А. Н. Некоторые эффекты плазмообработанных льняных тканей / А. Н. Иванов, СВ. Мальцева, А. И. Максимов // Текстильная химия. — 1993. -№ 1(3).-С76.

213. Квач, Н. М. Плазмохимическая обработка льняных тканей / Н. М. Квач, Т. В. Тюркина, Ф. Садова и др. // Текстильная промышленность. — 1995. — № 1−2. -СЗЗ.

214. Панкратова, Е. В. Воздействие тлеющего разряда на отбеленную и суровую льняную ткань / Е. В. Панкратова, Ф. Садова, А. Б. Гильман //Текстильнаяпромышленность. -1996. -№ 5. — С 32 -34.

215. Бычков, В.Л. Электронно-пучковая плазма: генерация, свойства, применение./ В. Л. Бычков, М. Н. Васильев, А. С КоротеевМ.: Издво МГОУ, 1993. -167 с.

216. Бердичевский, М. Г. Нанесение покрытий, травление и модифицирование полимеров с использованием низкоэнтальпийной неравновесной плазмы./М.Г. Бердичевский, В.В. МарусинНовосибирск: Институт теплофизики СОРАН, 1993.-109 с.

217. Данилин, Б. С. Применение для травления и очистки материалов/ Данилин Б. С, Киреев В. Ю.- Данилин Б. С, Киреев В. Ю. М.: Наука, 1987. -592 с. 311.

218. Дашкевич, И. П. Высокочастотные разряды в электротермии, -Л: Машиностроение, 1980. -56 с.

219. Абдрашитов, Э. Ф. Фундаментальные науки — народному хозяйству,/ Абдрашитов Э. Ф, Тихомиров Л, А, Пономарев А, Н, — М: Наука, 1990, -120 с,.

220. Кузнецов, ЮЛ. Синтетические полимеры медицинского назначения/ Ю, П, Кузнецов, А, К, Петров, В, А, Багрянский: Тез. докл, 8 -го Всесоюзн, на-учн, симп, но плазмохимии, — Киев, 1989. -С, 103 -104,.

221. Арбатский, А. Е. Получение, исследование и иснользование нлазмы в СВЧполях/ А, Е. Арбатский, А, К. Вакар, А. В. Голубев, Е. Г. Крашенинников: Тез. докл, 3 -й сессии науч,-техн, совещания по плазмохимии, -Иркутск, 1989, -С, 113−119.

222. Шалкаускак, М. И. Химическая металлизация пластмасс/ М. И. Шалкаускак, А. Вашкялис, -Л: Химия, 1985, -144 с.

223. Рэнби, Б. Фотоокисление, фотостабилизация, фотодеструкция полимеров/ Б, Рэнби, Я, Рабек, -М.: Мир, 1978. -65 с.

224. Багиров, М. А. Влияние ионизирующего излучения на диэлектрические материалы, включая нолимеры. -Душанбе: Дониш, 1979, -234 с,.

225. Collart, E.J.H. On the role of atomic oxygen in the etching of organic polymers in a radio — frequency oxygen discharge,/ E, J, H. Collart, J.A.G. Baggerman, R, J, Vis-ser//Journal application physics, -1995. — V. 78 (1). -P. 47 -54.

226. Zeuner, M. Reaction kinetics of plasma etching of polimethylmetarylate (PMMA):/ M. Zeuner, J, Meichsner, H. Poll. Twelfth European Sectional Conferenceon the Atomic and Molecular Physics of Ionized Gases, — Noordwijkerhout, 1994, -P, 400−401.

227. Rossnagel, S.M. Handbook of plasma processing technology: fundamentals, etching, deposition, and surface interactions. S.M. Rossnagel, J.J. Cuomo, W.D. West-wood. — Park Ridge: Noyes NJ, 1990. -523 p.

228. Cuomo, J.J. Handbook of ion beam processing technology: fundamentals, principles, deposition, film modification and synthesis/ J. J, Cuomo, S.M. Rossnagel, H.R.Kaufman. — Park Ridge: Noyes N1, 1989. -362 p.

229. Eberius, M. Electric propulsion engines and their technical applications: Contributed Papers of 2 nd German — Russian Conference: Moscow, 1993. — P.200 -203.

230. Connen, E. Plasma surface modification of polymer powders with application to thermal energy storage. In — Houng Loh./ E. Connen, R.F. Baddour // Journal of ap-plied polymer science. -1986. -V. 31. -P.901−910.

231. Sun, M. W. Immobilized protein on polypropylene non — woven fabric initiated by microwave plasma/ M.W.Sun, J.D. Liao, M.C. Wang.: Contributed Papers of 14'h In-ternational Symposium on Plasma Chemistry.-Prague, 1999.-V.4. -P. 1779−1784.

232. Muller, M. Plasma surface modification of polyvinylidene microfiltration membranes with primary amine groups/ M. Muller, С Oehr.: Contributed Papers of H**^International Symposium on Plasma Chemistry. -Prague, 1999.-V.4.-P.1791 -1796.

233. Muller, W.T. A strategy for the chemical synthesis of nanostructures. -Stuttgart: Science 268, 1995.-300 р.

234. Горберг, Б. Л. Модификация текстильных материалов в низкотемпературной плазме тлеющего разряда: Дис. канд. техн. наук. — Иваново, 1985. — 220 с.

235. Strobel, М. Surface modification of polypropylen with CF, CF H, CF Cl, CF Br./ M. Strobel, S. Com, C.S. Lions // Journal Polymer Science: Polymer Chemistry Eddi-tion -1985. -V. 23. -№ 4. -P. 1125 -1137.

236. Dorn, L Hochfeste PE — Klebverbindungen durch Vorbehandeln Niederdruckplasma. L. Dorn, J. Gartner, M. Rache. // Kunsrstoffe. -1986. -V. 76. — p.249 -253.

237. BogoevaGaseva, G. Polyester and polyamide fiber modification by plasma activation./ G. BogoevaGaseva, D. Losinski, G. Petrov //Polymer. -1986. -V. 7. -№ 4 -5.-P. 103−104.314.

238. Osada, Y. Plasma initiated graft polymerization of water — soluble vinil monomers onto hydrophobic films and its application to metal ion adsorbing films.Y. Osada, Y. Ieiyama//Thin Solid Films. -1984. -V.I 18 -122. -P. 197 -202.

239. Садова, О некоторых свойствах шерсти, обработанной в условиях низкотемпературной плазмы / Садова, Л. Лапчик, О. Пайгрт // Изв. вузов. Техно-логия текстильной промышленности. -1983. -JSfQ 5. -С. 53 -56.

240. Садова, Действие низкотемпературной плазмы на поверхность шерсти / Садова, Л. Лапчик, О. Пайфт, К. Калаускова // Изв. вузов. Технология тек-стильной промышленности. -198О.-№ 6. -С. 64 -68.

241. Линии, Ю. В. Иодготовка поверхности полимерных пленок вакуумной металлизацией: Обзор / Ю. В. Липин, Л. Меерсон, Л. С. Мякишева и др.- Рига: Лат. НИИНТИ, 1990.-40С.

242. Анищенко, Л. М. Эффективность обработки поверхности полиимидной пленки в различных зонах тлеющего разряда / Л. М. Анищенко, С Б. Кузнецов, Лавренюк Ю.// Физика и химия обработки материалов. -1985. -№ 6. -С. 124.

243. Wrobel, А. Effect of plasma treatment on structure and properties of polyester fabric / A. Wrobel, M. Krisrewsky, W. Kakowsky. // Polymer. -1978. -V.30.-№ 3.-P.25−28.

244. Strobel, М. Plasma reactions of hexafiuoreceton / M. Strobel, C. Lions, P. Thomas, M. Morgen, S, Com, G. Korba // Journal Applied Science: Applied PolymerSymp. -1988. -V.42.-№ 1.-P.73 -96.

245. Kagoma, M. Wettability control of a plastic surface by CF -0 plasma and its etching effects / M. Kagoma, H. Kasal, K. Takahashi, T. Moriwaki, S. Okazaki //Journal Physics D.: Applied Physics — 1987. -V.20. -№ 1. -P. 147 -149.

246. Максимов, А. И. Возможности и проблемы плазменной обработки тканей и полимерных материалов / А. И. Максимов, Б. Л. Горберг, В. А. Титов // Кожевен-но-обувная промышленность. -1991. -№ 4. -С. 101 -117.

247. Поверхностная обработка пластмасс / Под ред. А. Н. Лельчука. -М.: Химия, 1972.-55 с.

248. Багиров, М. А. Воздействие электрических разрядов на полимерные диэлектрики/ М. А. Багиров, В. П. Малин, А. Абасов. -Баку: Элм, 1975. -60 с.

249. Багиров, М. Ф. Матирование поверхности полимерной пленки воздействием электрических разрядов/ М. Ф. Багиров, Е. Я. Волченков, В. П. Малин, А. А. Алиев: Тез. докл. третьего Всесоюзн. симп. по плазмохимии. -Москва, 1979.-С. 250−251.

250. Малунов, В. В. Повышение стойкости к старению ПВХ-пластикатов обработкой их в плазме тлеющего разряда/ В. В. Малунов, А. А. Силин, Б.М. Кри-вицкий.: Тез. докл. четвертого Всесоюзн. симп. по плазмохимии. -Днепропертровск, 1984. -С. 118 -119.

251. Kogelschatz, U. Dielectric — Barrier Discharge, Principle and Applications U. Kogelschatz, B. Eliasson, W. Egli.: Contributed Papers of 23 rd International Con-ference on Phenomena in Ionized Gases. -Toulouse, 1997. — P.47 -66.316.

252. Tamida, Т. Characteristics and modeling of discharge in ac plasma display panels/ T. Tamida, A. Iwata, M. Tanaka: Contributed Papers of International Conferenceof Gas Discharge and their Applications. -Greifswald, 1997. -P. 551 -554.

253. Eliasson, D. The silent discharge: numerical simulation of microdischarge formation./ D. Eliasson, W. Egli.: Contributed Papers of 8 th International Conference onPhenomena in Ionized Gases. -Belgrade, 1989. -P. 1024 -1025.

254. Kogelschatz, U. Ozone synthesis on gas discharge: Contributed Papers of 2''' International Conference on Phenomena in Ionized Gases. — Dusserldorf, 1983. -P.240 -250.

255. Kogelschatz, U. Excitation of excimer radiation in silent discharges: Contributed Papers of T^ International Conference on Phenomena in Ionized Gases. — Barga, 1991.-P. 218−227.

256. Urakabe, T. A flat fluorescent lamp with dielectric barrier discharge/ T. Urakabe, S. Harada, T. Saikatsu, M. Karino.: Contributed Paper of International Conference onScience and Technology of Light Sources. — Kyoto, 1995. — P. 159 -160.

257. Tanaka, M. High frequency silent discharge and its application to cw CO2 laser applications/ M. Tanaka, S. Yagi, N. Tabata.: Contributed Papers of InternationalConference on Gas Discharge and their Applications. — Oxford, 1985. -P. 551 -554.

258. Rosocha, L Processing of hazardous chemicals using silent — discharge plasmas in Plasma Science and the Enviroment./ L. Rosocha, W. Manheimer, L. Sugiyama, T.Stix. — New York: Woodbury, 1997. — 300р.

259. Linsley Hood, J. L The corona treatment of plastic films: Contributed Papers of International Conference on Gas Discharges and Their Applications. -Edinburg, 1980.-P. 86−90.

260. Donohoe, K. G. Plasma polymerisation of ethylen in an atmospheric pressure discharge/ K.G. Donohoe, T. Wydeven.: Contributed Papers of 4 th International Sym-posium on Plasma Chemistry. -Zurich, 1979. -P. 765 -771.

261. Zhang, J.Y. Modification of polymers with UV eximer radiation from lasers and lamps in Polymer Surfaces Modification/ J.Y. Zhang, H. Esrom, G. Emig, U. Kogelschatz.: Relevance to Adhesion. -Utrecht: VSP International Science Pub-lishers, 1996.-200 p.

262. Багиров, М. А. Исследование травления новерхности нолимеров активированным кислородом./ М. А. Багиров, В. А. Осколонов, Е. Я. Волченков, В. П. Малин, Р. Х, Абрамов.: Тез. докл. 3 Всесоюзн. симн. по плазмохимии. -М., 1997.-С. 252−255.

263. Крицка, я Д. А. Плазмоинициированная газофазная постполимеризация Д. А. Крицкая, А. Н. Пономарев, А. Д. Помогайло, Ф. С. Дьячковский.: Тез. докл.

264. Всесоюзн. симп. по плазмохимии. -М., 1975. — 308 -310.

265. Использование тлеющего разряда для модификации поверхности пористого полимерного сорбента в кипящем слое: Тез. докл. 3 Всесоюзн. симп. по плаз-мохимии.-М., 1975. -С.285−286.

266. Малунов, Б. В. Снижение трения в парах резина-сталь обработкой уплотнений в плазме тлеющего разряда./ Б. В. Малунов, Е. А. Духовской, В. М. Скок.:Тез. докл. 4 Всесоюзн. симп. по плазмохимии.-Дненропетровск, 1984.-C.120−121.

267. Hudis, M. Techniques and Applications of Plasma Chemistry./ M. Hudis, J.R. Hollahan, A.T. Bell. -New York: Wiley, 1974. -240 p.319.

268. Chang, CM. Polymer Surface Modification and Characterization. -Hanser: Gardner Publications, 1994. -300 p.

269. Briggs, D. Practical Surface Analisis./ D. Briggs, M.P. Seach. -New York: John Willey & Sons. -1990. -V, 1. -560 p.

270. Аброян, И. Л. Физические основы электронной и ионной технологии: Учеб. пособие для спец. электрон, техн. вузов./ И. Л. Аброян, А. Н. Андропов, А.И. Ти-тов. — М.: Высш. шк., 1984. — 320 с.

271. Войценя, B.C. Воздействие низкотемпературной плазмы электромагнитного излучения на материалы./ B.C. Войценя, К. Гужова, В. И. Титов. — М.: Энерго-атомиздат, 1991. 224 с.

272. Ионная имплантация / Под ред. Дж.К.Хирвонена. — М.: Металлургия, 1985. -392 с.

273. Цветков, Ю. В. Низкотемпературная плазма в процессах восстановления. / Ю. В. Цветков, А. ПанфиловМ.: Наука, 1980. — 360 с.

274. Абдуллии, И. Ш. Высокочастотная плазменно-струйная обработка материалов при пониженных давлениях. Теория и практика применения / И.Ш. Абдул-320ЛИН, B.C. Желтухин, Н. Ф. Кашапов. — Казань: Изд-во Казанского ун-та. 2000.348 с.

275. Абдуллин, И. Ш. Особенности процессов взаимодействия ВЧ разряда с ВМС в динамическом вакууме Абдуллин И. Ш., Шаехов М. Ф. / Научная сессияКГТУ. — Казань: — 4−7 февраля. — 2003. — 133.

276. Абдуллин, И. Ш. Особенности процессов взаимодействия высокочастотного разряда с пористо-волокнистыми материалами/ И. Ш. Абдуллин, М. Ф. Шаехов /Научная сессия КГТУ. — 2004. — 305.

277. Шаехов, М. Ф. Диагностика высокочастотного разряда пониженного давления в процессах обработки пористых тел / Вестник Казанского технологическо-го университета. — Казань.: «Отечество». — 2003. — 154 — 158.

278. Абдуллин, И. Ш. Поверхностные явления при взаимодействии неравновесной низкотемпературной плазмы с поверхностями твердых тел/ И.Ш. Абдул-лин, B.C. Желтухин, М. Ф. Шаехов / Научная сессия КГТУ. — Казань: — 4−7 фев-раля. — 2003. — 24.

279. Абдуллин, И. Ш. Изменение характеристик высокочастотного разряда в зависимости от давления в вакуумной камере / И. Ш. Абдуллин, М. Ф. Шаехов /Научная сессия КГТУ, 2005 г. с. 284.

280. Абдуллин, И. Ш. Модификация материалов на основе ВМС с помощью неравновесной низкотемпературной плазмы./ И. Ш. Абдуллин, Л. Р. Джанбекова, М. Ф. Шаехов Научная сессия КГТУ. — Казань. -1999. — 210.

281. Абдуллин, И. Ш. Современные методы обработки кожи и меха. Абдуллин И. Ш., Шаехов М. Ф. /: Методические указания к лабораторному практику-му. — Казань. — изд. КГТУ. — 2002. — 26 с. — 100 экз.

282. Абдуллин, И. Ш. Высокочастотный разряд пониженного давления в процессах обработки кожевенного материала/ И. Ш. Абдуллин, М. Ф. Шаехов / XXXЗвенигородская конференция по физике плазмы и УТС. — Звенигород. — М.: -24−28 февраля 2003. — 180.

283. Абдуллин, И. Ш. Толщина слоя пространственного заряда в высокочастотном индукционном разряде пониженного давления. Абдуллин И. Ш., Шае-хов М.Ф. /Научная сессия КГТУ. — Казань. -2000. — 200.

284. Абдуллин, И. Ш. Высокочастотный разряд пониженного давления в процессах обработки пористых тел/ И. Ш. Абдуллин, М. Ф. Шаехов /Вестник Казанско-го технологического университета.- Казань.- «Отечество» .- 2002. № 1−2.-С.75−78.

285. Красина, И. В. Исследование процесса управления пористостью с помощью неравновесной низкотемпературной плазмой/ И. В. Красина, М. Ф. Шаехов /Вестник Казанского технологического университета.- Казань.- «Отечество» .-2002.-MJ1−2.-с. 110−114.

286. Абдуллин, И. Ш. Активация сорбентов на основе рисовой лузги и шелухи гречихи высокочастотным разрядом пониженного давления/ И. Ш. Абдуллин, В. В. Кудинов, М. Ф. Шаехов / Материаловедение JV23. — 2005. — 51.

287. Абдуллин, И. Ш. Высокочастотный разряд пониженного давления в процессах обработки натуральной кожи Абдуллин И. Ш., Кудинов В. В., Шаехов М. Ф. /Материаловедение. — 2004. — >f26(87). — 52−56.

288. Abdullin, I. Using, а radio-frequency plasma in leather-footwear production./ I. Abdullin, M. Bulatova, M. Shaekhov /Тез. докл. Ill International Conference" Plasma physics and plasma technology", Minsk, Belarus, September 18−22, 2000, -c.680−682.

289. Абдуллин, И. Ш. Модификация натуральной кожи высокочастотным разрядом пониженного давления/ И. Ш. Абдуллин, И. В. Красина, В. П. Тихонова, М. Ф. Шаехов / 3 Всероссийская конференция ФЭ-2003. — Махачкала: — (23−26)сентября. — 2003. — 80−83.

290. Абдуллин И. Ш. Применение плазменной модификации в технологии производства обуви./ И. Ш. Абдуллин, М. И. Булатова, Л. Ю. Махоткина, М.Ф. Шаехов/Кожевенно обувная промышленность.- 2001. }к6. 35 -36.

291. Абдуллин, И. Ш. Влияние высокочастотного емкостного разряда пониженного давления на свойства текстильных материалов/ И. Ш. Абдуллин, И. В. Красина, Ф. С. Шарифуллин, М. Ф. Шаехов / Прикладная физика. — 2004. -№ 6. — С. 59−63.

292. Шаехое, М. Ф. Обработка натуральных волокнисто-пористых материалов высокочастотным разрядом пониженного давления /Инновации в машино-строении — 2001: Сборник статей Всероссийской научно-практической конфе-ренции.- Пенза.- Ч. 1. 2001. 84−85.

293. Абдуллин, И. Ш. Обработка натуральных пористо-волокнистых материалов высокочастотным разрядом пониженного давления Абдуллин И. Ш., Уразмано-ва Е.М., Шаехов М. Ф. / XI конференция по физике газового разряда. — Рязань. -2002.-С. 9−10.

294. Лебедев, Ю.А.

Введение

в зондовую диагностику плазмы пониженного давления: Учебное пособие. М.: МИФИ, 2003. — 56 с. (Серия «Учебная книга подиагностике плазмы»).

295. Смирнов, В. М. Атомные и молекулярные столкновения в плазме. — М.: Атомиздат, 1968, 364 с.

296. Голант, В. Е. Сверхвысокочастотные методы исследования плазмы.- М.: Наука, 1968.-327 с.

297. Дзюба, В. Л. Электродуговые и высокочастотные плазмотроны в химикотехнологических процессах./ Дзюба В. Л., Даутов Г. Ю., Абдуллин И. Ш. — Киев: Вища школа, 1991.-170 с.

298. Сорокин, Л. М. Расчет электромагнитных полей в индукцион}юм разряде / Сорокин Л. М., Шевченко В. З. II Физ. и хим. обработки материлов.- 1975.-Я" 6.-С. 145−147.

299. Гуляев, М. А. Измерение вакуума (измерение малых абсолютных давлений)./ М. А. Гуляев, А. В. Ерюхин М. -Издательство стандартов, 1967. 148 с.

300. Диагностика плазмы. Вып.5 / Под ред. М. И, Пергамента.- М.: Энергоиздат, 1986.-303 с.

301. Лафрамбауз, Дж. Теория цилиндрического и сферического зонда в бесстолкновительной и неподвижной плазме / БНТИ ЦАГИ. Рефераты.- № 268. 1968.

302. Заварин, Ф.Г. СВЧ-интерферометр с пространственным разрешением О, IX, // Диагностика низкотемпературной плазмы. / Ф. Г. Заварин, В.В. Рождествен-ский, Г. К. Тумакаев. Под ред. Е. М. Шелкова.-М.: Паука, 1979. 154 — 158.326.

303. A.C. 1 149 122 (СССР) Голограммный анализатор / Л. Т. Мустафина, А. А. Белобородов, А. Ф. Белозеров.-Заявл. 26.10.81, онубл. 8.12.84.

304. Райзер, Ю. П. Высокочастотный емкостный разряд: Физика. Техника эксперимента. Приложения:/ Ю. П. Райзер, М. Н. Шнейдер, Н. А. Яценко. — М.:Изд-во Моск. физ.-техн. ин-та.- Паука. Физматлит. 1995. 320 с.

305. Ковалев, А. С. Высокочастотный несамостоятельный разряд в газах / А. С. Ковалев, А. Т. Рахимов, В. А. Феоктистов. // Физика плазмы. — 1981. — т. 7.вып. 6.-С. 1411 -1418.

306. Смирнов, А. С. Приэлектродные слои в емкостном ВЧ разряде // Журн. техн. физ. -1984. — Т. 54, вып. 1. — 61 — 65.

307. Райзер, Ю. П. Структура приэлектродных слоев высокочастотного разряда и переход между двумя его формами / Ю. П. Райзер, М. П. Шнейдер. // Физикаплазмы. — 1987. — т. 13, вып. 4. с. 471 — 4/79.

308. Райзер, Ю. П. Высокочастотный разряд среднего давления между изолированными и оголенными электродами / Ю. П. Райзер, М. Н. Шнейдер. // Физикаплазмы. -1988. — Т. 14, вып. 2. — 226 — 232.

309. Турин, А. А. Ускорение ионов в приэлектродном слое и энергобаланс ВЧ разряда в магнитном поле // Тез. докл. Ill Всесоюз. конф. по физике газовогоразряда. — Киев, 1986. — 92 — 94.

310. Graves, D.B. Fluid models simulations of a 13.56 MHz RF-discharge: Time and space dependence of rate of electron excitation // J. Appl. Phys. 1987. — V. 62. — M. -P. 88 — 94.

311. Belenguer, Ph. Modelization des decharges radiofrequence./ Ph. Belenguer, J.P. Bouef. // Rom. Rep. Phys. -1992. — Vol. 44. — No. 9−10. — P. 807−847.327.

312. Митчнер, М. Частично ионизированные газы/ М. Митчнер, Ч. Крюгер. — М.:Мир, 1976.-496 с, ил.

313. Brown, S.C. Limited for the diffusion theorie of a high frequency gas discharge breakdown / S.C. Brown, A.D. Donald // Phys.Rev. 1949. -v. 76. — № 11. P. 16 291 633.

314. Райзер, Ю. П. Физика газового разряда / Ю. П. Райзер: Учеб. Руководство. // М.: Наука. — 1987. — 592 с, ил.

315. Wrobel, А. Effect of Plasma Treatment on Structure and Properties of Polimer Fabric/ A. Wrobel, M. Kryszewski, W.Rakowski. // Polimer. — 1988. — v. 19, № 8. -p. 2205−2214.

316. Груздьев, B.A. Приближенное решение задачи о стационарном индуцированном высокочастотном разряде в замкнутом объеме / В. А. Груздьев, Р.Е. Ро-винский, А. П. Соболев // Журнал прикладной механики и технической физики-1968. — № 3. — С. 197−199.

317. Абдуллин, И. Ш. Применение низкотемпературной плазмы в технологии изготовления обувного картона/ И. Ш. Абдуллин, Л. Н. Абуталипова, Р.Г. Ибраги-мов, М. Ф. Шаехов / Кожевенно-обувная пром-ть,№ 3. — 2004. — 38−39.

318. Азанова, А. А. Влияние плазменной обработки на бактериальность кожевенно-мехового сырья/ А. А. Азанова, М. Ф. Шаехов / Международная студенческаяконференция «Фундаментальные науки специалисту нового века» 24−26 апре-ля.-Иваново.-2002.-с. 176−177.

319. Абдуллин, И. Ш. Обработка высокочастотным емкостным разрядом сорбента из гречневой шелухи/ И. Ш. Абдуллин, И. Г. Гафаров, И. Х. Исрафилов, М. Ф. Шаехов / Научная сессия КГТУ. — 2002. — 225.

320. Абдуллин, И. Ш. Применение потока плазмы ВЧЕ разряда в производстве кожи и меха/ И. Ш. Абдуллин, А. А. Азанова, И. Х. Исрафилов, М. Ф. Шаехов /.

321. Abdullin, I.Sh. Low pressure RF Plasma affect on sheepson/ LSh. Abdullin, A.A. Azanova, M. F. Shaekhov / IV International Conference «Plasma Physics and PlasmaTechnology». — Minsk. — Belarus. — September 15−19. — 2003. — P. 772 — 774.

322. Абдуллин, И. Ш. Упрочнение твердых сплавов высокочастотным емкостным разрядом пониженного давления/ И. Ш. Абдуллин, Р. Ф. Рахимов, О. Д. Юсупов, М. Ф. Шаехов / Сб. «Актуальные проблемы высшей школы: теория и практика" — Казань: — КГТУ. — 2004. — 54−58.

323. Абдуллин, И. Ш. Активация высокодисперсного силикагеля в высокочастотном разряде пониженного давления/ И. Ш. Абдуллин, М. Ф. Шаехов /XXXI Звенигородская конференция по физике плазмы и УТС. — Звенигород. -М.: — 16 — 20 февраль. — 2004. — 200.

324. Абдуллин, И. Ш. Влияние низкотемпературной плазмы на процессы алюмосинтанового дубления кожи для низа обуви/ И. Ш. Абдуллин, В. П. Тихонова, Р. З. Валиев, М. Ф. Шаехов / Иаучная сессия КГТУ.- 2002. 225.

326. Абдуллин, И. Ш. Исследование защитных свойств олигомерных составляющих целлюлозосодержащих композиционных материалов/ И, Ш, Абдуллин, Л, Р, Джанбекова, П, П, Суханов, М, Ф, Шаехов // препринт, — КГТУ, -Казань, — 2003,-23с,-100экз,.

327. Абдуллин, И. Ш. Плазменная модификация целлюлозосодержащих материалов/ И, Ш, Абдуллин, Л, Р, Джанбекова, М, Ф, Шаехов / Научная сессия КГТУ, -Казань: — 4−7 февраля, — 2003 , — С, 255,.

328. Абдуллин, И. Ш. Плазменная обработка как способ снижения степени бактериальной зараженности кожевенно-мехового сырья/ И, Ш, Абдуллин, А. А, Азанова, М, Ф, Шаехов / Научная сессия КГТУ, — Казань: — 4−7 февраля, -2003 , — С, 257.

329. Красина, ИВ. Влияние ВЧ плазмы на физические и химические свойства кератина /И, В, Красина, Ф, С, Шарифуллин, М, Ф, Шаехов / Вестник ДИТУД, -Дмитровград: — Изд, Дмитровградского института технологии, управления идизайна, — 2004,-^22 (20), — С, 13−18,.

330. Абдуллин, И. Ш. Применение плазменной модификации в технологии производства обувного картона/ И. Ш. Абдуллин, Р. Г. Ибрагимов, М.Ф. Шаехов/XXXI Звенигородская конференция по физике плазмы и УТС. Звенигород, 16 -20 февраль 2004 г 251.

331. Кайдриков, Р.А. ВЧ плазменная активация катализатора (носителя) полимеризации этилена/ Р. А. Кайдриков, И. Ш. Абдуллин, В. И. Гаврилов, Ф. Р. Гариева, А. И. Зильберг, М. Ф. Шаехов / Научная сессия КГТУ. — Казань: -2004.-С. 32.

332. Абдуллин, И. Ш. Обработка древесины в высокочастотном разряде при пониженном давлении/ И. Ш. Абдуллин, Л. И. Аминов Г. Г.Лутфуллина, М. Ф. Шаехов / Научная сессия КГТУ. — 2004. — ЗЗО.

333. Абдуллин, И. Ш. Обработка поверхности твердых тел с помощью неравновесной низкотемпературной плазмы/ И. Ш. Абдуллин, B.C. Желтухин, М. Ф. Шаехов / Научная сессия КГТУ. — 2004. — 305.

334. Абдуллин, И. Ш. Экспериментальные исследования влияния обработки потоком плазмы ВЧЕ разряда пониженного давления на физико-механическиехарактеристики обувного картона/ И. Ш. Абдуллин, Р. Г. Ибрагимов, М. Ф. Шаехов / Научная сессия КГТУ. — 2004. — 312.

335. Кайдриков, Р.А. ВЧ плазменная активация дисперсного SiO2 в технологии получения хромсодержащих катализаторов /Р.А. Кайдриков, И. Ш. Абдуллин, В. И. Гаврилов, М. Ф. Шаехов, Ф. Р. Гариева, А. И. Зильберг, Э. М. Мустафина /Паучная сессия КГТУ, 2005 г. с. 26.

336. Петров, В. А. Свойства хлопковой целлюлозы, модифицированной плазмой пониженного давления и нитраты целлюлозы на её основе /В.А. Петров, А. В. Косточко, И. Ш. Абдуллин, М. Ф. Шаехов, М. Р. Габидуллин / Научная сессияКГТУ, 2005 г. с. 207 335.

337. Бурдикова, Т. В. Влияние обработки порошкового железа плазмой низкого давления на их коррозионную стойкость в агрессивных средах/ Т. В. Бурдикова, И. Ш. Абдуллин, М. Ф. Шаехов, О. В. Евсюкова / Научная сессия КГТУ, 2005 г. с. 224.

338. Бурдикова, Т. В. Повышение коррозионной стойкости спеченных материалов на основе порошкового железа /Т.В. Бурдикова, И. Ш. Абдуллин, М. Ф. Шаехов, О. В. Евсюкова / Научная сессия КГТУ, 2005 г. с. 225.

339. Бурдикова, Т. В. Повышение стойкости к окислению спеченных материалов на основе порошков железа/ Т. В. Бурдикова, И. Ш. Абдуллин, М. Ф. Шаехов, О. В. Евсюкова / Научная сессия КГТУ, 2005 г. с. 225.

340. Бурдикова, Т. В. Влияние высокочастотной плазменной обработки порошков циркония на характеристики пиротехничеких источников тока /Т.В. Бурди-кова, М. Ф. Шаехов, О. В. Евсюкова, В. В. Просянюк, И. С. Суворов / Научнаясессия КГТУ, 2005 г. с. 226.

341. Абдуллин, И. Ш. Обработка велюра разрядом пониженного давления для увеличения гидрофобности/ И. Ш. Абдуллин, М. Н. Сагдеев, М. Ф. Шаехов / На-учная сессия КГТУ, 2005 г. с. 269.

342. Бурдикова, Т. В. Влияние плазменной обработки порошков железа и титана на ихактивность в кислых средах/ Т. В. Бурдикова, И. Ш. Абдуллин, О.В. Евсю-кова, М. Ф. Шаехов, А. Р. Халикова / Научная сессия КГТУ, 2006 г. с. 234.

343. Бурдикова, Т. В. Влияние плазменной обработки порошков железа и титана на их активность в щелочной среде/ Т. В. Бурдикова, И. Ш. Абдуллин, О.В. Ев-сюкова, М. Ф. Шаехов, Э. Х. Арсланова / Научная сессия КГТУ, 2006. с. 235.

344. Сорокин, В. Г. Марочник сталей и сплавов /В.Г. Сорокин, А. В. Волосникова, А. Вяткин и др.- Нод общ. ред. В. Г. Сорокина. — М.: Машиностроение, 1989. -640 с.

345. Каталог спектров фирмы «Неркин-Эльмер» «Ап infrared spectroscopy atlas for the coating industry», CTp. 513, спектр № 800.

346. Abdullin, I.Sth. Sorbents from agricultural waste for oil-ptodnets removal from hydrosphere/ I.Sth. Abdullin, I.G. Gafarov., I.H. Isravilov. — Dubai.: Gold MedalWorld Exhibition «East-west euro intellect», 1999 г., 5 p.

347. Кудинов, В. В. Плазменные покрытия. М.: Наука, 1977, с. 154.

348. Браутман, Л. Композиционные материалы. Том 6. Поверхности раздела в полимерных композитах./ Л. Браутман, Р. Крок. Под ред. Э. Плюдемана. М.:Мир, 1978, с.54−55.337.

349. Митченко, Ю.И. Физико-химические основы действия низкотемиературной плазмы на синтетические волокна/ Ю. И. Митченко, В. А. Фенин, С. А. Кукушкина // Материалы междунар. симпозиума по хим. волокнам. — Ка-линин, 1986. — Т.6. — 71 — 76.

350. Grzegofz, Р.Т. Eiflub von Neidertemperatur Plasma auf Fin Sturtur und Anfarblarkeit von Polyesterfasem/ P.T. Grzegofz, G.W. Uibsnczyk, B.H. Lipp-Symonwicz// Melliand. Texstilber. — 1983. — V.64, № 11. — S. 838 — 840.

351. Авгонов, A.A. Влияние низкотемпературной плазмы на качество хлопкового волокна/ А. А. Авгонов, A.M. Кузнецова, А. П. Захарчук // Тез. докл. XI Всесоюз.науч. конф. по текстильному материаловедению. — Киев, 1988. — Т. 1. — 16−17.

352. Wakida, Т. Changes in Bull Property of Polyethelene — rephtalate Treated with 1. ow Temperature Plasma/ T. Wakida, I. Hau, T. Goto // Chem. Express. — 1986. -V.I, №.2.-P. 133−136.

353. Виноградов, Г. К. 0 методах диагностики плазмы пониженного давления./ Г. К. Виноградов, Ю. А. Иванов, Ю. А. Лебедев. — 3 кн.: Плазмохимические реак-ции и процессы. М., 1977, с. 108−134.

354. Павлов, А. З. Структурные превращения в dпереходных металлах при ионной бомбардировке, Автореф. дис. канд.физ.-мат. наук, — Горький, 1975, — 22 с.

355. Васильев, Д. М. Методика рентгенографического измерения напряженностей. — Заводская лабор., 1967, T. XXXI, № 8, с. 972−978,.

356. Инструкция по определению качества сырья меховой овчины мокросоленого метода консервирования. — М.: ЦНИИМП, 1974. — 16с.

357. Бабакина, В. Г. Микробиология кожевенного сырья./ В. Г. Бабакина, К. С. Кутукова, Ш. Д. МашковскийМ.: Гизлегпром, 1936. — 318с.

358. Каспарьянц, А. Кожевенное сырье./ А. Каспарьянц, К. Д. Хлудеев. — М.: Легкая и пищевая промышленность, 1983. — 126с.

359. Михайлов, А. Н. Коллаген кожного покрова и основы его переработки. — М.: Легкая индустрия, 1971. -525с.338.

360. Расиыление твердых тел ионной бомбардировкой. Ч. 1. Физическое распыление одноэлементных твердых тел. — М.: Мир, 1984. — 336 с, ил.

361. Данилин, Б. С. Применение низкотемпературной плазмы для нанесения тонких пленок. — М.: Энергоатомиздат, 1989. — 328 с.

362. Щур, A.M. Высокомолекулярные соединения: Учебник для университетов. -М.: Высшая школа, 1981. -656с.

363. Барамбойм, Н. К. Механохимия высокомолекулярных материалов. — М. — Химия.-1978.-384 с.

364. Смирнов, Б. М. Возбужденные атомы. — М.: Энергоиздат, 1982. — 232 с.

365. Белеуш, Дэк:. Радиационные процессы в плазме. — М.: Мир, 1971. 438с.

366. Слухоцкий, А. Е. Установки индукционного нагрева: Учеб. пособие для вузов / А. Е. Слухоцкий, B.C. Немков, Н. А. Павлов Под ред. А. Е. Слухоцкого. — Л.:Энергоиздат. Ленингр. отд-ние, 1981. 328 с, ил.

367. Гиппиус, А. А. Диагностика низкотемпературной плазмы по спектрам ее собственного излучения в СВЧ и субмиллиметровом диапазонах./ А.А. Гиппи-ус, Л. С. Павлова, В. М. Поляков /- М.: Энергоиздат, 1981. — 135 с.

368. Абдуллин, И. Ш. Высокочастотная плазменно-струйная обработка материалов при пониженных давлениях. Теория и практика применения /АбдуллинИ.Ш., Желтухин B.C., Кашапов Н.Ф./ - Казань: Изд-во Казанского ун-та. 2000.348 с.

369. Смирнов, Б. М. Комплексные ионы. М.: Наука, 1983. 152 с.