Формирование и свойства полупроводниковых пленок и структур для приемников УФ излучения
Диссертация
Тонкопленочные структуры на основе пленок a-SirH обладают высокой фоточувствительностью в обл’асти видимого излучения, а за счет проявления в a-Si:H эффекта ударной ионизации, также высокой чувствительностью в области ближнего УФ излучения. Кроме того, высокая технологичность получения пленок a-Si:H, связанная с низкими температурами осаждения, возможностью легирования в процессе осаждения… Читать ещё >
Содержание
- Перечень условных обозначений и сокращений
- Глава 1. Материалы и структуры для детектирования УФ излучения: состояние вопроса
- 1. 1. Детектирование УФ излучения
- 1. 1. 1. Актуальность проблемы детектирования УФ излучения
- 1. 1. 2. Полупроводниковые фотоприемники УФ излучения
- 1. 2. Свойства и получение пленок аморфного гидрогенизированного кремния
- 1. 2. 2. Свойства пленок a-Si:H
- 1. 2. 2. Получение аморфных и микрокристаллических пленок гидрогенизированного кремния
- 1. 3. Пленки нитрида алюм^зк^г Свойства и получение
- 1. 3. 1. Свойства пленок A1N .л*
- 1. 3. 2. Получение пленок A1N
- 1. 1. Детектирование УФ излучения
Список литературы
- Анисимова И.Д., Викулин И. М., Заитов Ф. А., Курмашев М. Д. Полупроводниковые фотоприемники: УФ, видимый и ближний ИК диапазон спектра. — М. Радио и Связь, 1984.
- Аморфные полупроводники и приборы на их основе: Пер. с англ./ Под ред. Хамакавы Й. М.: Металлургия, 1986.
- Меден А., Шо М. Физика и применение аморфных полупроводников: Пер. с англ. М.: Мир, 1991.
- Айвазов А.А., Будогян Б. Г., Вихров С. П., Попов Л. И. Неупорядоченные полупроводники:'Учебное пособие/ Под ред. А. А. Айвазова. М.: Издательство МЭИ, 1995.
- Стриха В.И., Кйльчицкая С. С. Солнечные элементы на основе контакта металл -полупроводник. СПб.: Энергоатомиздат, 1991.
- Атаев Ж., Васильев В. А., Волков А. С., Мездрогина М. М., Теруков Е. И. Фоточувствительность p-i-n структур и структур с барьером Шоттки на основе а-Si:H в области УФ излучения. ЖТФ, том 16, вып. 1, 1990, с. 47−50.
- Sheng S., Liabo X., Ma Z., Yue С., Wang Y., Kong G. Hydrogenated amorphous silicon films with significantly improved stability // Solar Energy Materials & Solar Cells. -2001.-v. 68. pp. 123−133.
- Hazar S. Ray S. Nanocrystalline silicon as intrinsic layer in thin film solar cells // Solid State Comunications. -1998. Vol. 109.- pp. 125−128.
- Roca i Caboracas P., Нащта S., Sharma S.N., Viera G., Bertran E., Costa J. Nanoparticle formation in low-pressure silane plasmas: bridging the gap between a-Si:H and pc-Si films-//. J. Non-Cryst. Solids. 1998. Vol. 227−230, — pp. 871−875.
- He Y., Yin C., Cheng G., Wang L., Liu X. The structure and properties of nanosize crystallne silicon films // J.Appl.Phys.-1994.- Vol. 75, — pp. 797−803.
- Голикова O.A., Казанин M.M., Куознецов A.H., Богданова Е. В. Наноструктурированные пленки a-Si:H, полученные методом разложения силана в магнетронной камере// ФТП.- 2000.- том. 34, № 9. с.1125−1128.
- Matsuda A. Growth mechanism of microcrystalline silicon obtained from reactive plasmas // Thin Solid Films.- 1999.- 337, — p. 1−6.
- Otobe M., Oda S. Preparation of microcrystalline silicon films by very-high-frequency digital chemical vapor deposition. Jpn. J. Appl. Phys. 1992. — Vol. 31, No 6 В, — pp. 1948−1952.
- Vetterl O. et al. Connection between hydrogen plasma treatment and etching of amorphous phase in layer-by-layer technique with very high frequency plasma excitation. J. Appl. Phys. 1999. — Vol. 85.-pp. 2439−2444.
- Asano A. Effects of hydrogen atoms on the network structure of hydrogenated amorphous and microcrystalline silicon thin films. Appl. Phys.- Letters. 1990. Vol. -56.-pp. 533- 535/
- Шретер Ю.Г., Ребане Ю. Т., Зыков B.A., Сидоров В. Г. Широкозонные полупроводники. С-Пб. «Наука», 2001.
- Yamashita Н., Fukui К., Misawa S., Yoshida S. Optical properties of A1N epitaxial thin films in the vacuum ultraviolet region // J. Appl. Phys. 1979. Vol. 50.- pp. 896 898.
- Belyanin A.F., Bouilov L.L., Zhirnov V.V., et al. Application of aluminum nitride films for electronic devices // Diamond and Related Materials.- 1999.- Vol. 8.- pp. 369 372.
- Белянин А.Ф., Бульенков H.A. и др. Строение и применение пленок A1N, полученных методом ВЧ магнетронного распыления// Техника средств связи-1990. сер. ТПО, вып. 3.- с. 4−24.
- Kim J.W., Kim Н.К. Low Temperature Epitaxial Growth of A1N Thin Films on A1203 (0001) by Reactive dc Faced Magnetron Sputtering // Journal of Korean Physical Society.- 1998. Vol. 32. — pp. S1664-S1666.
- Schwarz R., Niehus M., Koynov S., Melo L., Wang J., Cardoso S., Freitas P.P. Pulsed Subbandgap Photoexcitation of A1N // Diamond and Related Materials. 2001. -Vol. 10.-pp. 1326−1330.
- Okano H., Tanaka N., Takahashi Y., Tanaka Т., Shibata K. Preporation of aluminum nitride thin films by ractive sputtering and their applications to GHz-band surface acoustic devices //Appl. Phys. Lett.- 1994. Vol. 64. — pp.166−168.
- Белянин А.Ф., Бульенков H.A., и др. Структурные особенности пленок A1N, полученных высокочастотным магнетронным распылением// Техника средств связи, 1983, сер. ТПО, вып. 1, с. 41−45.
- Fujiki М., Takahashi М., Kikkawa S., Kanamaru F. Microstructure and preferred orientation in rf sputter deposition A1N thin films // J. Materials Science letters.- 2000. -Vol.19.-pp. 1625−1627.
- Средин В.Г., Укроженко B.M. Полупроводниковые приемники ультрафиолетового излучения. ЗЭТ, 3(261), 1983, с. 96−114.
- Фогель Ф., Мотульски А. «Генетика человека», том 2, М., Мир, 1990, стр. 223 224.
- Проспект фирмы SafeSun, 1998.
- Massen F., Harpes N., Breuskin P. A comparison of three portable UV sensors// A meteo LCD report, January 1998.
- Каталог цветного стекла. -M.,"Машиностроение", 1967.
- Березин А.С., Мочалкина' О.Р. Технология и конструирование интегральных микросхем. М. Радио и Связь, 1983.
- Каталог фирмы EG and G Electro-Optics, 2001.35. Каталог фирму UDT, 2000.
- Каталог фирмы Silicon Sensors GmbH, 2002.
- Каталог фирмы Hamamatsu, 2002.
- Каталог фирмы Laser Components GmbH, 2001.
- Веренчикова Р. Г,. Санкин В. И. Поверхностно барьерный диод Cr-SiC -фотодетектор УФ-излучения. — Письма в ЖТФ, том 14, вып. 19, с. — 1742−1745.
- Лосев В.В., Лубегин Г. В. и др. Серия инжекционных структур на основе2 6монокристаллов, А В // Сборник научных трудов/ Физические основы микроэлектроники, МИЭТД989, с. 80−83.
- Гуткин А.А. «Седов В.Е. Спектры фоточувительности барьера Шоттки Au-n-GaPA при высоком коэффициенте поглощения света в полупроводниках // ФТП. -1979. Т. 9.-С. 1761−1765.
- Анисимова И. Д. Головин Ю.М. и до. УФ фотоприемник на фосфиде галия для астрономичеких исследолоний. ОМП, 1983, № 12, с. 34−35.
- Moustakas T.D., Vaudo R.P., Singh R., Misra M., Sampath A., Goepfert I.D. Growth of III-V nitrides by ECR-assisted MBE and fabrication of opto-electronic devices// Inst. Phys. Conf. Ser. Nol42: Chapter 5, (1996) IOP Publishing Ltd., pp. 833- 838.
- Omnes F., Marenco N., Beaumont В., et al. Metalorganic vapor-phase epitaxy-grown AlGaN materials for visible-blind ultraviolet photodetector applications // J. Appl. Phys. 1999.-Vol. 86.-pp. 5286−5292.
- Mutze F., Seibel, B. Schneider K., Hillebrand M., Lule Т., Keller H» Rieve P., Wagner M., Bohm M. UV Imager in TFA technology // Material Research Society Spring Meeting, San Francisco, April 5−9, 1999.
- Гаценко И. С., Головнер Т. М., Горшкова Г.Н. Au-Si поверхностно-барьерные детекторы с повышенной чувствительностью в ближней ультрафиолетовой области. — ПТЭ, 1976, № 2, с. 272, 273.
- Зозуля Ю. И., Мамачан И. М., Масиян А. Р. Фотопремник для фотометрии. -ОМП, 1981, № 11, с. 54, 55.
- Kosyachenko L.A., Sklyachuck V.M., Sklyachuck Ye. F. Electrical and photoelectriciproperties of Au-SiC Schottky barrier diodes // Solid-State Electronics. 1998. — Vol. 42, No. 1,-pp. 145−151,
- Peng Т., Piper J. Band gap bowing and refractive index spectra of polycrystalline AlxIni. xN films deposited by sputtering. Appl. Phys. Lett. 1997. -Vol. 71, — pp. 2439.
- Peng Т., Piper J. Refractive index of AlGalnN alloys. Electronics letters. 1996. -Vol. 32, № 24. — pp. 2285−2286.
- Hochedez J.-F., Bergonzo P., Castex M.-C., Dhez P., et. al. Diamond UV detectors for future solar physics missions // Diamond and Related Materials. 2001. — Vol. 10. -pp. 673−680.
- Зи С. Физика полупроводниковых приборов. -М.: Мир, 1984.
- Физика гидрогенизированного кремния. под ред. Дж. Джонуполоса и Дж. Люковски. Вып. II, Мир. 1988.
- Nakamura К., Yoshino К., et al. Roles of atomic hydrogen in chemical annealing. Jpn. J. Appl. Phys. 1995. — Vol. 34, No 2A, pp. 442−449.
- Аморфный кремний и родственные материалы: Пер. с англ./ Под ред. X. Фридше.-М.: Мир, 1991.
- Okamoto S., Hishikawa Y., Tsuge S. et al High-quality wide-gap hydrogenated amorphous silicon fabricated jusing hydrogen plasma post-treatment. Jpn. J. of Appl. Phys. 1994. — Vol. 33, No 4A. — pp. 1773−1777.
- Stutzmann M., Jackson W.B., Tsai C.C. MRS Proc. (D. Adler, A. Madan, M.J. Thompson, eds), Vol. 49, 1985, p.301.
- Street R.A. Hydrogen diffusion and electronic metastability in amorphous silicon// PhysicaB. 1991. — Vol. 170. — pp. 69−81
- Stutzmann M., Jackson W.B., Tsai C.C., AIP Conf. Proc. No. 20, 1985, p. 213.
- Шкловский Б. И., Эфрос A. Jl. Электронные свойства легированных полупроводников. М.: Наука, 1979.
- Longeaud С., Kleider J.P., Gauthier М., Kaplan R., Butte R., Meaudre R., Roca i Cabarrocas P. A new type of material for photovoltaic devices: hydrogenated polymorphous silicon// Proc. of the 2nd Wold Conference on Photovoltaic Solar Energy Conversion.
- Longeaud C., Kleider J.P., Roca i Cabarrocas P., Hamma S., Meaudre R., Meaudre M. Properties of a new a-Si:H-like material: hydrogenated polymorphous silicon // J. Non-Crystalline Solids. 1998. — Vol. 227−230. — p. 96.
- Foncuberta i Morral A., I^renot R., Hamera E.A.G., Vanderhaghen R., Roca i Cabarrocas P. In situ investigation of polymorphous silicon deposition // J. Non-Crystalline Solids. 2000. — Vol. 266−269. — pp. 48−53.
- Nelson B. P., Crandall R.S., Iwaniczko E. et al. Low hydrogen content, high quality hydrogenated amorphous silicon grown by Hot-Wire CVD// Mat. Res. Soc. Symp. Proc. 1999,-Vol. 557,-pp. 97−102.
- Tsuda S., Takahama Т., Isomura M., et al. Preparation and properties of high-quality a-Si films with a super chamber (separated ultra-high vacuum reaction chamber)// Jpn. J. Appl. Phys. 1987.- Vol. 26.-pp.33−38.
- Chaudhuri P., Das U.K. Control of microstructure and optoelectronic properties of Si: H films by argon dilution in plasma-enhanced chemical vapor deposition from silane// Jpn. J. Appl. Phys.- 1995.- Vol. 34.- pp.3467−3473.
- Koh J., Ferlauto A. S, Rovira P.I., Koval R.J., Wronski C.R., Collins R.W. Evolutionary phase diagrams for the deposition of silicon films from hydrogen-diluted silane// J. Non-Crystalline Solids.- 2000, — Vol. 266−269, — pp. 43−47.
- Itoh Т., Yamamoto K., Ushikoshi K., Nonomura S., Nitta S. Characterization and role of hydrogen in nc-Si:H // J. Non-Crystalline Solids.- 2000, — 'Vol. 266−269, — pp. 201 205.
- Godet C., Layadi N., Roca i Cabarrocas P. Role of mobile hydrogen in the amorphous silicon recrystallization. Appl. Phys. Letters. 1995. -Vol 66 (23). — pp. 3146−3148.
- W.G.J.H.M van Sark, Bezemer J., et al. Chemical annealing of hydrogenated amorphous silicon. 12th European photovoltaic solar energy conf. 11−15 April 1994// Mat. Res. Proc., pp. 335 -338, Amsterdam (1994).
- Asano A., Ichimura Т., Sakai H. Preparation of highly photoconductive hydrogenated amorphous silicon carbide films with a multiplasma-zone apparatus. J. Appl. Phys.-1989. -Vol. 65 (6). pp. 2439−2444.
- Hong J. P., Kim С. O., et al. Structural and electrical characterezation of microcrystalline silicon films prepared by layer-by-layer technique with a plasma-enhanced chemical-vapor deposition system. J. Appl. Phys. 2000. — Vol. 87 (4), pp. 1676−1680.
- Shirai H., Drevillon В., Shimizu I. Role of hydrogen plasma during growth of hydrogenated microcrystalline silicon: in situ UV-Visible and infrared ellipsometry study. Jpn. J. Appl. Phys.- 1994. Vol. 33, No 10, pp.5590−5598.
- Matsuda A. J. //Non-Ciyst. Solids.- 1983. Vol.- 59&60, p. 767.
- Robertson J. Deposition mechanism of hydrogenated amorphous silicon // J. Appl. Phys. -2000. Vol. 87. pp. 2608−2617.
- Tsai C. J. Non-Cryst. Solids.- 1989.- Vol.114.-p. 151
- Shirai H., Hanna J., Shimizu I. Very stable a-Si:H prepared by «chemical annealing». Jpn. J. Appl. Phys. 1991. — Vol. 30, No 5B, pp. L881-L884.
- Roca i Cabarrocas P., Layadi N., Heitz Т., Drevillon В., Solomon I. Substrate selectivity in the formation of microcrystalline silicon: Mechanisms and technological consequences // Appl. Phys. Lett. Vol. -1995. Vol. 66 (№ 26), pp. 3609−3611.
- Santos P.V., Jackson W.B. Trap-limited hydrogen diffusion in a-Si:H // Phys. Rev. B. 1992. -Vol. 46, pp. 4595−4606.
- Nevin A.W., Yamagishi H., Tawada Y. Improvement of the stability of hydrogenated amorphous siliconby plasma treatment. Jpn. J. Appl. Phys. 1994. — Vol. 33, P. l, No 9A, pp. 4829−4832.
- Perry P. B, Rutz R.F. The optical absorption edge of single-crystal A1N prepared by a close-spaced vapor process //Appl. Phys. Lett. 1978.- Vol. 33.- pp. 319−321.
- Scozzie C.J., Leis A.J., McLean F.B., Vispute R.D., Patel A., Enck R., Sharma R.P., Venkatesan T. High-Temperature Characterization of Pulsed-Laser Deposited A1N on 6H-SiC from 25- to 450 °C // Abstracts of ICSCRM'99 (October 10−15) (276).
- Колесник O.B., Сидоров В. Г., Соколов Е. Б., Соловьев Ю. П. Электрофизические свойства твердых растворов GaN-AIN // Эл. техн., сер. 3, Микроэлектроника, вып. 2, 1979, С. 358−359.
- Gadenne М., Plon J., Gadenne P. Optical propreties of A1N thin films correlated with sputtering conditions // Thin Solid Films. 1998. Vol. 333, pp. 251−255.
- Yaji Т., Tsukamoto H., Nakagawa Y., et al. Preparation of A1N and GaN thin films by reactive ion beam sputtering and optical properties // Inst. Phys. Conf. Ser. 1995. Vol. 142, pp. 911−914.
- Talyansky V., Vispute R.D., Ramesh R., et al. Fabrication and characterization of epitaxial AIN/TiN bilayers on sapphire // Thin Solid Films. 1998. — Vol. 323, pp. 37−41.
- Aita C. R, Kubiak, C.J.G., Shih, F.Y.H. Optical behavior near the fundamental absorption edge of sputter-deposited microcrystalline aluminum nitride// J. Appl. Phys.-1989.- Vol. 66.-pp. 4360−4367.
- Zarwasch R., Rille E., Pulker H.K. Fundamental optical absorption edge of reactively direct current magnetron sputter-deposited A1N thin films // J. Appl. Phys.- 1992, — Vol. 71,-pp. 5275−5277.
- Pasternak J., RoscocovaL. Phys. Stat. Sol. 1966. — Vol. 14, p. K5.
- Takeda F., Hata T. Low temperature deposition og oriented C-axis A1N films on glass1. ¦ isubstrates by reactive magnetrom sputtering // Jpn. J. Appl. Phys.- 1980. Vol. 19, N 5, pp. 1001−1002.
- Gerova E.V., Ivanov N.A., Kirov K.I. Deposition of thin films by magnetron reactive sputtering // Thin Solid Films. 1981. — Vol. 81, N3, pp. 201−206.
- Chin V.W.L., Tansley, T.L., Osotchan, T. Electron mobilities in gallium, indium, and aluminum nitrides // J. Appl. Phys.- 1994, — Vol. 75.-pp. 7365−7372.
- Edwards J., Kawabe K., Stevens G., Tredgold R.H., Sol. State Commun. 1965. — Vol. 3, pp. 99−100.
- Tansley T.L., Egan RJ. Point-defect energies in the nitrides of aluminum, gallium, and indium//Phys. Rev. B.-Vol. 45.-No 19.-pp. 10 942−10 950.
- Веселов В.Ф., Добрынин A.B., Найда Г. А. Оптические свойства эпитаксиальных слоев нитрида алюминия, легированного кислородом // Неорганические материалы. '1989. — Том 25, № 9, с. 1477−1481.
- Khan М.А., Yang J., Adivarahan V. and G. Simin. Low Temperature Deposited Layers of AlxGabxN for Device Applications // Abstracts of ICSCRM'99 (October 1015) (160).
- Shalish I. et al. Au metallization of A1N // Thin Solid Films. 1996. — Vol. 289, pp. 166−169.
- Savrun E., Toy С. An Aluminum Nitride Package for 600 °C and Beyond // Proceedings of the 4 Int. High Temperature Electronic Conference (June 14−18, 1998), Albuquerque, New Mexico, USA, P. 265−268.
- Баровский H.B., Добрынин A.B., Найда Г. А., Соколов Е. Б. Осаждение эиитаксиальных слоев A1N и его свойства // Техника средств связи, 1987, сер. ТПО, вып. 1, С. 45−55.
- Chu T.L., Ing D.W., Noreika A.J. Epitaxial growth of aluminum nitride // Solid-State Electronics. 1967. — Vol. 10, pp. 1023−1027.
- Callaghan M.P., Patterson E., Richards B. P., Wallace C.A. The growth, crystallographic and eletrical assessment of epitaxial layers of aluminum nitride on corundum substrates // J. Cryst. Growth. 1974. — Vol. 22, pp. 85−98.
- Morita M., Uesugi N., Isogai S., Tsubouchi K., Mikoshiba N. Epitaxial Growth of aluminum nitride on sapphire using metalorganic chemical vapor deposition // Jpn. J. Appl. Phys.- 1981. Vol. 20. N1'pp.17−23.
- Tanaka S., Kern R.S., Davis R.F. Initial stage of aluminum nitride film growth on 6H-silicon carbide by plasma-assisted, gas source molecular beam epitaxy // Appl. Phys. Lett., 1995. — Vol. 66 (1), pp.37−39.
- Kotula P.G., Carter C.B., Norton M.G. Surface morphology of pulsed laser deposited aluminum nitride thin films // Journ. Of Mater. Sci. Let. 1994. — Vol. 13, pp. 1275−1277.
- Six S., Gerlach J. W., Rauschenbach B. Epitaxial aluminum nitride films on sapphire formed by pulsed laser deposition // Thin Solid Films. 2000. — Vol. 370, pp. 14.
- Белянин А.Ф., Семенов А. П., Халтанов B.M. Выращивание тонких пленок A1N реактивным распылением ионным пучком // Материалы 7-го Международного симпозиума тонкие пленки в электронике (Йошкар-Ола, 1−5 июля 1996 г.). -Москва Йошкар-Ола, 1996, С. 222−225.
- Dumiru V., Morosanu С., Sandu S., Stoica A. Optical and structural differences between RF and DC AIN magnetron sputtered films // Thin Solid Films. 2000. — Vol. 359, pp. 17−20.
- Белянин А.Ф., Тер-Макарян А.А., и др. Сильнотекстурированные пленки AIN, выращенные методом ВЧ магнетронного распыления// Техника средств связи, 1987, сер. ТПО, с. 35−43.
- Белянин А.Ф. Получение пленок A1N // Материалы 7-го Международного симпозиума тонкие пленки в электронике (Йошкар-Ола, 1−5 июля 1996 г.). -Москва-Йошкар-Ола, 1996, С. 167−212.
- Сушенцов Н.И., С.П. Филонов, B.JI. Хорошавин. Особенности строения и получения пленок A1N // Материалы 10-го Международного симпозиума «Тонкие пленки в электронике» (Ярославль, 20−25 сентября 1999 г.), С. 156−163.
- Афанасьев В.П., Лянгузов A.A., Сазанов А. П. Формирование фотопреобразовательных структур на основе a-Si:H. // Петербургский журнал электроники, 1995. N 2. — С.7 — 16.
- Афанасьев В.П., Гудовских А. С., Сазанов А. П., Сонг Я. В., Таиров Ю. М. Аморфные пленки a-Si:H, полученные методом циклического осаждения // Известия высших учебных заведений. Материалы электронной техники. 1999. — № 4. — С. 29−32.
- Афанасьев В.П., Гудовских А. С., Коньков О. И., Коугия К. В., Сазанов А. П., Трапезникова И. Н., Теруков Е. И. Влияние термообработки на структуру и свойства пленок a-Si:H, полученных методом циклического осажденйя // ФТП. -2002. Т. 36, № 2 — С. 238−243.
- Афанасьев В.П., Гудовских А. С., Коньков О. И., Казанин М. М., Коугия К. В., Сазанов А. П., Трапезникова И. Н., Теруков Е. И. Структурные особенности и свойства пленок a-Si:H, полученных методом циклического осаждения // ФТП. -2000.-Т. 34,№ 4-С. 495−498.
- Swanepoel R. Determination of the thickness and optical constants of amorphous silicon // J. Phys. E: Sci.Instrum. 1983. — V.16. — P.1214−1222.
- Курова И.А., Ормонт H.A., Теруков Е. И., Трапезникова И. Н., Афанасьев В. П., Гудовских А. С. Электрические и фотоэлектрические свойства слоистых пленок а-Si:H и влияние на них термического отжига// ФТП. 2001. — Т. 35, № 3 — С. 367−370.
- Jackson W.B. and Tsai С.С. Hydrogen transport in amorphous silicon II Phys. Rev. В.- 1992, — Vol. 45, — pp. 6564−6579.
- Afanasjev V.P., Gudovskikh A.S., Kleider J.P., Sazanov A.P., Terukov E.I. Fabrication of a-Si:H/nc-Si multilayer films using Layer by Layer technique and their properties //Journal ofNon-Ciystalline Solids, 2002, Vol. 299−302, pp. 1070−1074.
- Longeaud C., Kleider J.P. Phys. Rev. В.- 1993.-Vol. 48,-p. 8715.
- Joint Committee of Powder (Diffraction Standards. Powder Diffraction File. 1998.
- Китайгородский А.И. Рентгеноструктурный анализ мелкокристаллических и аморфных тел. М.: Гос. изд. технико-теоретической литер, 1952.
- Guo Q., Yoshida A. Jpn. J. Appl. Phys. В. 1993. — Vol.185, pp. 410−141.
- Афанасьев В.П., Гудовских А. С., Сазанов А. П., Селюженок Н. А., Теруков Е. И. Фотоприемные структуры на основе аморфного гидрогенизированного кремния с нанокристаллическими включениями // Оптический журнал. 2001. — Т. 68, № 12. — С. 101−105.
- Гудовских А.С. Анализ вольт-амперных характеристик тонкопленочных фотоприемных структур с барьером Шоттки на a-Si:H // Науч. молод, школа по твердотельным датчикам, С-Пб., 23−25 ноября 1998 г., Тез. докл. СПб.: СПбГЭТУ, 1998.-С. 13.
- Васильев A.M. Ландшман А. П. Полупроводниковые фотопреобразователи. -М., Советское Радио, 1971.