ΠΡΠ΅Π½ΠΊΠ° ΠΊΠΎΠ½ΡΡΡΡΠΊΡΠΎΡΡΠΊΠΈΡ ΠΈ ΡΠ΅Ρ Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΡ ΠΏΠ°ΡΠ°ΠΌΠ΅ΡΡΠΎΠ² ΡΠΈΡΡΠ΅ΠΌΡ ΠΌΠ½ΠΎΠ³ΠΎΡΠ»ΠΎΠΉΠ½ΡΡ ΠΌΠ΅ΡΠ°Π»Π»ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΡ ΠΌΠ΅ΠΆΡΠΎΠ΅Π΄ΠΈΠ½Π΅Π½ΠΈΠΉ ΠΏΡΠΈ ΡΠ°Π·ΡΠ°Π±ΠΎΡΠΊΠ΅ ΠΠΠ‘
Π‘Π΅ΡΡΠ΅Π·Π½ΠΎΠΉ ΠΏΡΠΎΠ±Π»Π΅ΠΌΠΎΠΉ ΡΠ²Π»ΡΠ΅ΡΡΡ ΠΈ ΠΏΠΎΠ»ΡΡΠ΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΏΡΠΈΠ±ΡΠ»ΠΈ Π½Π° ΠΈΠ½Π²Π΅ΡΡΠΈΡΠΎΠ²Π°Π½Π½ΡΠΉ ΠΊΠ°ΠΏΠΈΡΠ°Π». Π‘ΡΠΈΡΠ°Π΅ΡΡΡ, ΡΡΠΎ ΠΏΠΎΠ»ΡΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ²ΠΎΠΉ ΠΏΡΠΎΠΌΡΡΠ»Π΅Π½Π½ΠΎΡΡΠΈ ΠΏΠΎΡΡΠ΅Π±ΡΠ΅ΡΡΡ 30 Π»Π΅Ρ Π΄Π»Ρ ΡΠΎΠ³ΠΎ, ΡΡΠΎΠ±Ρ ΠΎΠΊΡΠΏΠΈΡΡ ΠΊΠΎΠ»ΠΎΡΡΠ°Π»ΡΠ½ΡΠ΅ ΠΈΠ½Π²Π΅ΡΡΠΈΡΠΈΠΈ Π² ΠΎΡΠ²ΠΎΠ΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΏΡΠΎΠΈΠ·Π²ΠΎΠ΄ΡΡΠ²Π° ΠΌΠΈΠΊΡΠΎΡΡ Π΅ΠΌ Π½Π° 300-ΠΌΠΌ ΠΏΠ»Π°ΡΡΠΈΠ½Π°Ρ . ΠΠΎ ΠΌΠ½Π΅Π½ΠΈΡ ΡΠΏΠ΅ΡΠΈΠ°Π»ΠΈΡΡΠΎΠ² ΠΊΠΎΠΌΠΏΠ°Π½ΠΈΠΈ Applied Materials, ΡΡΠΎΠΊ ΠΎΠΊΡΠΏΠ°Π΅ΠΌΠΎΡΡΠΈ 450-ΠΌΠΌ ΡΠ΅Ρ Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΠΈ ΠΌΠΎΠΆΠ΅Ρ ΠΏΡΠ΅Π²ΡΡΠΈΡΡ ΡΡΠΎΠΊ ΠΆΠΈΠ·Π½ΠΈ ΠΏΡΠ΅Π΄ΠΏΡΠΈΡΡΠΈΡ. ΠΠΎΡΡΠΎΠΌΡ ΠΎΡΠ½ΠΎΡΠ΅Π½ΠΈΠ΅… Π§ΠΈΡΠ°ΡΡ Π΅ΡΡ >
ΠΡΠ΅Π½ΠΊΠ° ΠΊΠΎΠ½ΡΡΡΡΠΊΡΠΎΡΡΠΊΠΈΡ ΠΈ ΡΠ΅Ρ Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΡ ΠΏΠ°ΡΠ°ΠΌΠ΅ΡΡΠΎΠ² ΡΠΈΡΡΠ΅ΠΌΡ ΠΌΠ½ΠΎΠ³ΠΎΡΠ»ΠΎΠΉΠ½ΡΡ ΠΌΠ΅ΡΠ°Π»Π»ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΡ ΠΌΠ΅ΠΆΡΠΎΠ΅Π΄ΠΈΠ½Π΅Π½ΠΈΠΉ ΠΏΡΠΈ ΡΠ°Π·ΡΠ°Π±ΠΎΡΠΊΠ΅ ΠΠΠ‘ (ΡΠ΅ΡΠ΅ΡΠ°Ρ, ΠΊΡΡΡΠΎΠ²Π°Ρ, Π΄ΠΈΠΏΠ»ΠΎΠΌ, ΠΊΠΎΠ½ΡΡΠΎΠ»ΡΠ½Π°Ρ)
1.
ΠΠ²Π΅Π΄Π΅Π½ΠΈΠ΅
.
2. ΠΡΡ ΠΎΠ΄Π½ΡΠ΅ Π΄Π°Π½Π½ΡΠ΅.
3. Π Π°ΡΡΠ΅ΡΠ½Π°Ρ ΡΠ°ΡΡΡ.
4. Π’Π΅Ρ Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠ°Ρ ΡΠ°ΡΡΡ.
5. ΠΠ½Π°Π»ΠΈΠ· Π²ΡΠΏΠΎΠ»Π½Π΅Π½Π½ΡΡ ΡΠ°ΡΡΠ΅ΡΠΎΠ².
6.
ΠΠ°ΠΊΠ»ΡΡΠ΅Π½ΠΈΠ΅
.
1.
ΠΠ²Π΅Π΄Π΅Π½ΠΈΠ΅
Π’ΡΠ°Π½Π·ΠΈΡΡΠΎΡ — ΠΎΠ΄Π½ΠΎ ΠΈΠ· Π²Π°ΠΆΠ½Π΅ΠΉΡΠΈΡ ΠΈΠ·ΠΎΠ±ΡΠ΅ΡΠ΅Π½ΠΈΠΉ Π₯Π₯ ΡΡΠΎΠ»Π΅ΡΠΈΡ, ΠΏΠΎΠ²Π»Π΅ΠΊΡΠ΅Π΅ Π·Π° ΡΠΎΠ±ΠΎΠΉ ΠΏΠΎΡΠ²Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΏΠΎΠ»ΡΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ²ΡΡ ΠΏΡΠΈΠ±ΠΎΡΠΎΠ² ΠΈ ΠΌΠΈΠΊΡΠΎΡΡ Π΅ΠΌ. ΠΡΠΈ ΡΡΡΡΠΎΠΉΡΡΠ²Π° ΡΡΠ°Π»ΠΈ ΠΎΡΠ½ΠΎΠ²ΠΎΠΉ ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ½Π½ΡΡ ΡΠΈΡΡΠ΅ΠΌ ΠΈ ΠΏΡΠΈΠ²Π΅Π»ΠΈ ΠΊ ΠΏΡΠΎΠ½ΠΈΠΊΠ½ΠΎΠ²Π΅Π½ΠΈΡ ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ½ΠΈΠΊΠΈ Π²ΠΎ Π²ΡΠ΅ Π²Π°ΠΆΠ½Π΅ΠΉΡΠΈΠ΅ Π΄Π»Ρ ΠΆΠΈΠ·Π½Π΅Π΄Π΅ΡΡΠ΅Π»ΡΠ½ΠΎΡΡΠΈ ΡΠ΅Π»ΠΎΠ²Π΅ΠΊΠ° ΠΎΡΡΠ°ΡΠ»ΠΈ — ΡΠ½Π΅ΡΠ³Π΅ΡΠΈΠΊΡ, ΡΡΠ°Π½ΡΠΏΠΎΡΡ, ΡΠ²ΡΠ·Ρ, Π·Π΄ΡΠ°Π²ΠΎΠΎΡ ΡΠ°Π½Π΅Π½ΠΈΠ΅. Π Π°Π·Π²ΠΈΡΠΈΠ΅ ΠΌΠΈΠΊΡΠΎΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ½ΠΈΠΊΠΈ Π½Π΅Π²ΠΎΠ·ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎ Π±Π΅Π· ΠΏΠΎΡΡΠΎΡΠ½Π½ΠΎΠ³ΠΎ ΡΠΎΠ²Π΅ΡΡΠ΅Π½ΡΡΠ²ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΡ Π½Π°ΡΡΠ½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΏΠΎΠ½ΠΈΠΌΠ°Π½ΠΈΡ ΡΠ²ΠΎΠΉΡΡΠ² ΠΏΠΎΠ»ΡΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ²ΡΡ ΠΌΠ°ΡΠ΅ΡΠΈΠ°Π»ΠΎΠ² ΠΈ ΠΏΡΠΈΠ±ΠΎΡΠΎΠ², Π° ΡΠ°ΠΊΠΆΠ΅ ΡΠ΅Ρ Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΡ ΠΏΡΠΎΡΠ΅ΡΡΠΎΠ², Π½Π΅ΠΎΠ±Ρ ΠΎΠ΄ΠΈΠΌΡΡ Π΄Π»Ρ ΠΈΠ·Π³ΠΎΡΠΎΠ²Π»Π΅Π½ΠΈΡ ΡΠΎΠ²ΡΠ΅ΠΌΠ΅Π½Π½ΡΡ ΠΈΠ·Π΄Π΅Π»ΠΈΠΉ. Π Π΄Π°ΠΆΠ΅ Π½Π΅ΠΈΡΠΊΡΡΠ΅Π½Π½ΡΠΉ ΠΏΠΎΡΡΠ΅Π±ΠΈΡΠ΅Π»Ρ Π½Π΅ ΠΌΠΎΠΆΠ΅Ρ Π½Π΅ ΠΎΡΠ΅Π½ΠΈΡΡ «ΠΈΠ·ΠΎΠ±ΡΠ΅ΡΠ°ΡΠ΅Π»ΡΠ½ΠΎΡΡΡ» ΠΏΠΎΠ»ΡΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ²ΠΎΠΉ ΠΏΡΠΎΠΌΡΡΠ»Π΅Π½Π½ΠΎΡΡΠΈ. ΠΠΎΠ·Π½ΠΈΠΊΠ°ΡΡ Π»ΠΈ Π·Π°Π΄Π°ΡΠΈ ΠΌΠ°ΡΡΡΠ°Π±ΠΈΡΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΡ ΠΏΡΠΈΠ±ΠΎΡΠΎΠ² ΠΈ ΠΌΠΈΠΊΡΠΎΡΡ Π΅ΠΌ Π²ΠΏΠ»ΠΎΡΡ Π΄ΠΎ Π½Π°Π½ΠΎΠΌΠ΅ΡΡΠΎΠ²ΡΡ ΡΠ°Π·ΠΌΠ΅ΡΠΎΠ², ΠΈΠ»ΠΈ ΡΠ²Π΅Π»ΠΈΡΠ΅Π½ΠΈΡ ΠΏΡΠΎΠΈΠ·Π²ΠΎΠ΄ΠΈΡΠ΅Π»ΡΠ½ΠΎΡΡΠΈ ΡΠ΅Ρ Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΡ ΠΎΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΠΈΠΉ, ΠΈΠ»ΠΈ Π²Π²ΠΎΠ΄Π° Π±ΠΈΠ·Π½Π΅Ρ-ΠΌΠΎΠ΄Π΅Π»ΠΈ ΠΏΡΠ΅Π΄ΠΏΡΠΈΡΡΠΈΡ, ΠΏΠΎΠ·Π²ΠΎΠ»ΡΡΡΠ΅ΠΉ ΡΡΠΏΠ΅ΡΠ½ΠΎ ΠΊΠΎΠΌΠΏΠ΅Π½ΡΠΈΡΠΎΠ²Π°ΡΡ Π²ΡΡΠΎΠΊΠΈΠ΅ Π·Π°ΡΡΠ°ΡΡ Π½Π° Π½Π°ΡΡΠ½ΠΎ-ΠΈΡΡΠ»Π΅Π΄ΠΎΠ²Π°ΡΠ΅Π»ΡΡΠΊΠΈΠ΅ ΠΈ ΠΎΠΏΡΡΠ½ΠΎ-ΠΊΠΎΠ½ΡΡΡΡΠΊΡΠΎΡΡΠΊΠΈΠ΅ ΡΠ°Π±ΠΎΡΡ, ΠΏΠΎΠ»ΡΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ²Π°Ρ ΠΏΡΠΎΠΌΡΡΠ»Π΅Π½Π½ΠΎΡΡΡ ΠΈΠ· Π³ΠΎΠ΄Π° Π² Π³ΠΎΠ΄ ΡΡΠΏΠ΅ΡΠ½ΠΎ Π½Π°Ρ ΠΎΠ΄ΠΈΡ ΠΈΡ ΡΠ΅ΡΠ΅Π½ΠΈΠ΅.
ΠΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ½Π½Π°Ρ ΠΏΡΠΎΠΌΡΡΠ»Π΅Π½Π½ΠΎΡΡΡ — ΡΡΡΠ°ΡΠ΅Π³ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈ Π²Π°ΠΆΠ½Π΅ΠΉΡΠ°Ρ ΡΠΎΠ²ΡΠ΅ΠΌΠ΅Π½Π½Π°Ρ ΠΎΡΡΠ°ΡΠ»Ρ Π²ΠΎ Π²ΡΠ΅Ρ ΡΡΡΠ°Π½Π°Ρ ΠΌΠΈΡΠ°. ΠΠ° Π΅Π΅ Π΄ΠΎΠ»Ρ ΠΏΡΠΈΡ ΠΎΠ΄ΠΈΡΡΡ ~3,5% ΠΌΠΈΡΠΎΠ²ΠΎΠ³ΠΎ ΠΠΠ. Π Π°Π·Π²ΠΈΡΠΈΠ΅ ΡΡΠΎΠΉ ΠΎΡΡΠ°ΡΠ»ΠΈ Π½Π΅Π²ΠΎΠ·ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎ Π±Π΅Π· ΡΠΎΠ²Π΅ΡΡΠ΅Π½ΡΡΠ²ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΡ Π΅Π΅ ΡΠ»Π΅ΠΌΠ΅Π½ΡΠ½ΠΎΠΉ Π±Π°Π·Ρ, ΠΎΡΠ½ΠΎΠ²Π° ΠΊΠΎΡΠΎΡΠΎΠΉ — ΡΠΎΠ²ΡΠ΅ΠΌΠ΅Π½Π½ΡΠ΅ ΠΏΠΎΠ»ΡΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ²ΡΠ΅ ΠΈΠ·Π΄Π΅Π»ΠΈΡ. ΠΡΠΎΠΈΠ·Π²ΠΎΠ΄ΠΈΡΠ΅Π»ΠΈ ΠΏΠΎΠ»ΡΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ²ΡΡ ΠΏΡΠΈΠ±ΠΎΡΠΎΠ² ΠΏΠΎΡΡΠΎΡΠ½Π½ΠΎ ΡΠ²Π΅Π»ΠΈΡΠΈΠ²Π°ΡΡ ΠΊΠ°ΠΏΠΈΡΠ°Π»ΡΠ½ΡΠ΅ Π·Π°ΡΡΠ°ΡΡ Π½Π° ΡΠ°Π·Π²ΠΈΡΠΈΠ΅ ΠΏΠΎΠ»ΡΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ²ΠΎΠΉ ΠΏΡΠΎΠΌΡΡΠ»Π΅Π½Π½ΠΎΡΡΠΈ, ΡΠΎΠ²Π΅ΡΡΠ΅Π½ΡΡΠ²ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ ΡΠ΅Ρ Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΠΈ ΠΈ ΠΎΠ±ΠΎΡΡΠ΄ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΡ, ΡΡΠ΅Π±ΡΠ΅ΠΌΡΡ Π΄Π»Ρ ΠΏΡΠΎΠΈΠ·Π²ΠΎΠ΄ΡΡΠ²Π° Π±ΡΠ΄ΡΡΠΈΡ ΠΏΠΎΠΊΠΎΠ»Π΅Π½ΠΈΠΉ ΠΏΡΠΈΠ±ΠΎΡΠΎΠ². Π ΠΊΠ°ΡΠ΅ΡΡΠ²Π΅ ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅ΡΠ° ΡΠ°Π·Π²ΠΈΡΠΈΡ ΡΠ΅Ρ Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΠΈ ΠΈ ΡΠ΅ΠΌΠΏΠΎΠ² ΠΎΠ±Π½ΠΎΠ²Π»Π΅Π½ΠΈΡ ΠΎΠ±ΠΎΡΡΠ΄ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΡ ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎ ΠΏΡΠΈΠ²Π΅ΡΡΠΈ Π·Π°Π²ΠΎΠ΄ Building 323 ΡΠΈΡΠΌΡ IBM Π² ΠΡΡ-Π€ΠΈΡΠΊΠΈΠ»Π»Π΅, ΠΊΠΎΡΠΎΡΡΠΉ Π±ΡΠ» ΠΎΡΠΌΠ΅ΡΠ΅Π½ ΡΡΠ°Π΄ΠΈΡΠΈΠΎΠ½Π½ΠΎΠΉ Π΅ΠΆΠ΅Π³ΠΎΠ΄Π½ΠΎΠΉ ΠΏΡΠ΅ΠΌΠΈΠ΅ΠΉ ΠΆΡΡΠ½Π°Π»Π° Semiconductor International ΠΊΠ°ΠΊ Π»ΡΡΡΠΈΠΉ Π·Π°Π²ΠΎΠ΄ 2005 Π³ΠΎΠ΄Π°. ΠΠ»Π°Π³ΠΎΠ΄Π°ΡΡ ΡΡΠΎΠ²Π΅ΡΡΠ΅Π½ΡΡΠ²ΠΎΠ²Π°Π½Π½ΠΎΠΉ ΠΠ‘Π£Π ΠΏΡΠΎΠΈΠ·Π²ΠΎΠ΄ΡΡΠ²ΠΎ ΠΌΠΈΠΊΡΠΎΡΡ Π΅ΠΌ Π½Π° Π·Π°Π²ΠΎΠ΄Π΅ Π½Π΅ Π·Π°Π²ΠΈΡΠΈΡ ΠΎΡ ΡΠ΅Π»ΠΎΠ²Π΅ΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠ³ΠΎ ΡΠ°ΠΊΡΠΎΡΠ°. ΠΠ° Π·Π°Π²ΠΎΠ΄Π΅ ΡΡΠ½ΠΊΡΠΈΠΎΠ½ΠΈΡΡΡΡ 12 ΠΌΠ΅ΠΆΠ΄ΠΈΡΡΠΈΠΏΠ»ΠΈΠ½Π°ΡΠ½ΡΡ ΡΠ°Π±ΠΎΡΠΈΡ Π³ΡΡΠΏΠΏ, ΠΊΠ°ΠΆΠ΄Π°Ρ ΠΈΠ· ΠΊΠΎΡΠΎΡΡΡ ΠΎΡΠ²Π΅ΡΠ°Π΅Ρ Π·Π° ΠΎΠ΄Π½Ρ ΠΈΠ· ΠΊΠ»ΡΡΠ΅Π²ΡΡ ΠΏΠ»Π°ΡΡΠΎΡΠΌ ΡΠ΅Ρ Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΡ/ΠΎΠ±ΠΎΡΡΠ΄ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅. ΠΠ°ΠΆΠ΄Π°Ρ Π³ΡΡΠΏΠΏΠ° Π°Π½Π°Π»ΠΈΠ·ΠΈΡΡΠ΅Ρ Π²ΡΠ΅ ΡΠΎΡΡΠ°Π²Π»ΡΡΡΠΈΠ΅ ΠΏΠΎΡΠ΅ΡΡ ΠΊΡΡΠΈΡΡΠ΅ΠΌΠΎΠΉ ΠΏΠ»Π°ΡΡΠΎΡΠΌΡ ΠΈ ΡΠ°Π·ΡΠ°Π±Π°ΡΡΠ²Π°Π΅Ρ ΠΏΠ»Π°Π½Ρ ΠΏΠΎΠ²ΡΡΠ΅Π½ΠΈΡ ΠΏΡΠΎΠΈΠ·Π²ΠΎΠ΄ΠΈΡΠ΅Π»ΡΠ½ΠΎΡΡΠΈ. Π ΡΠ΅Π·ΡΠ»ΡΡΠ°ΡΠ΅ Π΄Π΅ΡΡΠ΅Π»ΡΠ½ΠΎΡΡΠΈ ΡΡΠΈΡ Π³ΡΡΠΏΠΏ ΠΈ ΡΡΡΠ΅ΠΊΡΠΈΠ²Π½ΡΡ ΠΌΠ΅ΡΠΎΠ΄ΠΎΠ² ΡΠΏΡΠ°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΡ ΡΠ΅Ρ Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠΌΠΈ ΠΏΡΠΎΡΠ΅ΡΡΠ°ΠΌΠΈ Π²ΡΠ΅ΠΌΡ ΡΠΈΠΊΠ»Π° ΠΎΠ±ΡΠ°Π±ΠΎΡΠΊΠΈ ΡΠΎΠΊΡΠ°ΡΠ΅Π½ΠΎ Π±ΠΎΠ»Π΅Π΅ ΡΠ΅ΠΌ Π½Π° 50% ΠΏΡΠΈ ΡΠ²Π΅Π»ΠΈΡΠ΅Π½ΠΈΠΈ ΠΏΡΠΎΠΈΠ·Π²ΠΎΠ΄ΠΈΡΠ΅Π»ΡΠ½ΠΎΡΡΠΈ Π½Π° 59%. Π‘ΠΏΠ΅ΡΠΈΠ°Π»ΠΈΡΡΡ ΠΏΡΠ΅Π΄ΠΏΡΠΈΡΡΠΈΡ ΠΎΡΠ²ΠΎΠΈΠ»ΠΈ, Π°ΡΡΠ΅ΡΡΠΎΠ²Π°Π»ΠΈ ΠΈ Π½Π°ΡΠ°ΡΡΠΈΠ»ΠΈ ΠΏΡΠΎΠΈΠ·Π²ΠΎΠ΄ΡΡΠ²ΠΎ ΡΠ°Π·Π½ΠΎΠΎΠ±ΡΠ°Π·Π½ΡΡ ΠΈΠ·Π΄Π΅Π»ΠΈΠΉ Ρ ΠΏΡΠΎΠ΅ΠΊΡΠ½ΡΠΌΠΈ Π½ΠΎΡΠΌΠ°ΠΌΠΈ 180, 130, 90 ΠΈ 65 Π½ΠΌ.
Π£ΠΏΡΠΎΡΠ΅Π½ΠΈΠ΅ ΡΠ»ΠΎΠΆΠ½ΠΎΡΡΠΈ Π½ΠΎΠ²ΡΡ ΠΏΡΠΎΠΈΠ·Π²ΠΎΠ΄ΡΡΠ²Π΅Π½Π½ΡΡ ΠΏΡΠΎΡΠ΅ΡΡΠΎΠ² ΠΈΠ³ΡΠ°Π΅Ρ ΡΠ΅ΡΠ°ΡΡΡΡ ΡΠΎΠ»Ρ Π² ΠΎΠ±Π΅ΡΠΏΠ΅ΡΠ΅Π½ΠΈΠΈ ΠΆΠΈΠ·Π½Π΅ΡΠΏΠΎΡΠΎΠ±Π½ΠΎΡΡΠΈ Π±ΡΠ΄ΡΡΠΈΡ ΡΠ΅Ρ Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΠΉ ΠΌΠΈΠΊΡΠΎΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ½ΠΈΠΊΠΈ. ΠΠΎ ΠΈΠ·-Π·Π° ΡΠ΅Π·ΠΊΠΎΠ³ΠΎ ΡΠΎΡΡΠ° Π·Π°ΡΡΠ°Ρ Π½Π° ΠΎΡΠ²ΠΎΠ΅Π½ΠΈΠ΅ Π½ΠΎΠ²ΠΎΠΉ ΡΠ΅Ρ Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΠΈ ΠΌΠΈΠΊΡΠΎΡΡ Π΅ΠΌ ΠΏΠΎ ΠΌΠ΅ΡΠ΅ ΠΈΡ ΠΌΠ°ΡΡΡΠ°Π±ΠΈΡΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΡ ΡΠ΅ΡΠ΅Π½ΠΈΠ΅ Π²ΡΠ΅ Π½Π°ΡΠ°ΡΡΠ°ΡΡΠΈΡ ΠΏΡΠΎΠ±Π»Π΅ΠΌ ΠΏΠΎΠ»ΡΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ²ΠΎΠΉ ΠΏΡΠΎΠΌΡΡΠ»Π΅Π½Π½ΠΎΡΡΠΈ Π² ΠΏΠ΅ΡΠ²ΡΡ ΠΎΡΠ΅ΡΠ΅Π΄Ρ ΡΡΠ΅Π±ΡΠ΅Ρ ΠΎΠ±ΡΠ΅Π΄ΠΈΠ½Π΅Π½ΠΈΡ ΡΡΠΈΠ»ΠΈΠΉ ΠΈ ΡΠΈΠ½Π°Π½ΡΠΎΠ² ΡΠ°Π·Π»ΠΈΡΠ½ΡΡ ΠΏΡΠΎΠΈΠ·Π²ΠΎΠ΄ΠΈΡΠ΅Π»Π΅ΠΉ (Π² ΡΠΎΠΌ ΡΠΈΡΠ»Π΅ ΠΈ ΡΠ°Π·Π»ΠΈΡΠ½ΡΡ ΠΎΡΡΠ°ΡΠ»Π΅ΠΉ ΠΏΡΠΎΠΌΡΡΠ»Π΅Π½Π½ΠΎΡΡΠΈ). ΠΡΠΈΠΌΠ΅Ρ ΡΠ°ΠΊΠΎΠ³ΠΎ ΠΎΠ±ΡΠ΅Π΄ΠΈΠ½Π΅Π½ΠΈΡ — ΠΎΠ±ΡΠ°Π·ΠΎΠ²Π°Π½Π½ΡΠΉ ΠΊΠΎΠΌΠΏΠ°Π½ΠΈΠ΅ΠΉ IBM Π°Π»ΡΡΠ½Ρ Common Platform (ΡΠΎΠ²ΠΌΠ΅ΡΡΠ½Π°Ρ ΠΏΠ»Π°ΡΡΠΎΡΠΌΠ°). Π Π΅Π³ΠΎ ΡΠΎΡΡΠ°Π² Π²ΠΎΡΠ»ΠΈ ΠΊΠΎΠΌΠΏΠ°Π½ΠΈΠΈ IBM, Chartered Semiconductor Manufacturing ΠΈ Samsung Electronics, Π° ΡΠ°ΠΊΠΆΠ΅ ΠΏΠ°ΡΡΠ½Π΅ΡΡ ΠΏΠΎ Π°Π»ΡΡΠ½ΡΡ ΡΠΎΠ²ΠΌΠ΅ΡΡΠ½ΡΡ ΡΠ°Π·ΡΠ°Π±ΠΎΡΠΎΠΊ — Infineon Technologies ΠΈ Freescale Semiconductor. ΠΠ΅Π΄Π°Π²Π½ΠΎ ΠΊ Π°Π»ΡΡΠ½ΡΡ ΠΏΡΠΈΡΠΎΠ΅Π΄ΠΈΠ½ΠΈΠ»Π°ΡΡ ΡΠΈΡΠΌΠ° STMicroelectronics. Π¦Π΅Π»Ρ ΠΊΠΎΠΌΠΏΠ°Π½ΠΈΠΉ, Π²Ρ ΠΎΠ΄ΡΡΠΈΡ Π² ΠΏΠ»Π°ΡΡΠΎΡΠΌΡ, — ΠΎΡΠ²ΠΎΠΈΡΡ ΠΊ 2010 Π³ΠΎΠ΄Ρ 32-Π½ΠΌ ΠΠΠΠ-ΡΠ΅Ρ Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΡ Ρ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ΠΌ Π·Π°ΡΠ²ΠΎΡΠ½ΠΎΠ³ΠΎ Π΄ΠΈΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΈΠΊΠ° Ρ Π²ΡΡΠΎΠΊΠΎΠΉ Π΄ΠΈΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠΉ ΠΏΠΎΡΡΠΎΡΠ½Π½ΠΎΠΉ (Π²ΡΡΠΎΠΊΠΈΠΌ k), ΠΌΠ΅ΡΠ°Π»Π»ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠ³ΠΎ Π·Π°ΡΠ²ΠΎΡΠ°, Π½Π°ΠΏΡΡΠΆΠ΅Π½Π½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΡ ΠΈ Π΄ΠΈΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΈΠΊΠ° ΡΠΎ ΡΠ²Π΅ΡΡ Π½ΠΈΠ·ΠΊΠΈΠΌ k ΠΏΡΠΈ ΡΠΎΡΠΌΠΈΡΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠΈ ΠΌΠ΅ΠΆΡΠΎΠ΅Π΄ΠΈΠ½Π΅Π½ΠΈΠΉ. ΠΡΠΎΠΌΠ΅ ΡΠΎΠ³ΠΎ, ΠΏΠ»Π°Π½ΠΈΡΡΠ΅ΡΡΡ ΠΎΡΠ²ΠΎΠΈΡΡ Π²ΡΠΎΡΠΎΠ΅ ΠΏΠΎΠΊΠΎΠ»Π΅Π½ΠΈΠ΅ ΡΡΡΠ°Π½ΠΎΠ²ΠΎΠΊ ΠΈΠΌΠΌΠ΅ΡΡΠΈΠΎΠ½Π½ΠΎΠΉ Π»ΠΈΡΠΎΠ³ΡΠ°ΡΠΈΠΈ, ΡΠΎΠ·Π΄Π°ΡΡ Π²ΡΡΠΎΠΊΠΎΠΊΠ°ΡΠ΅ΡΡΠ²Π΅Π½Π½ΡΠ΅ Π°Π½Π°Π»ΠΎΠ³ΠΎΠ²ΡΠ΅ Π±Π»ΠΎΠΊΠΈ ΡΠΈΡΡΠΎΠ²ΡΡ ΡΡΠ΅Π΄ΡΡΠ² ΡΠ²ΡΠ·ΠΈ ΠΈ ΠΎΡΡΠ°Π±ΠΎΡΠ°ΡΡ ΡΠ΅Ρ Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΡ ΠΠ§ ΠΠΠΠ-ΡΡ Π΅ΠΌ ΠΈ Π²ΡΡΡΠΎΠ΅Π½Π½ΡΡ ΠΠΠΠ£.
ΠΠΎΠ½ΡΠ΅ΡΠ½ BASF ΡΠ°ΠΊΠΆΠ΅ ΠΏΡΠΈΡΠΎΠ΅Π΄ΠΈΠ½ΠΈΠ»ΡΡ ΠΊ ΠΏΡΠΎΠ³ΡΠ°ΠΌΠΌΠ΅ Π΅Π²ΡΠΎΠΏΠ΅ΠΉΡΠΊΠΎΠ³ΠΎ ΠΠ΅ΠΆΡΠ½ΠΈΠ²Π΅ΡΡΠΈΡΠ΅ΡΡΠΊΠΎΠ³ΠΎ Π¦Π΅Π½ΡΡΠ° ΠΠΈΠΊΡΠΎΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ½ΠΈΠΊΠΈ (Interuniversity Microectronics Center — IMEC), ΡΠ΅Π»Ρ ΠΊΠΎΡΠΎΡΠΎΠΉ — ΡΠ°Π·ΡΠ°Π±ΠΎΡΠΊΠ° ΠΈ Π²ΡΠΏΡΡΠΊ Π½Π° ΡΡΠ½ΠΎΠΊ ΠΊ 2010 Π³ΠΎΠ΄Ρ ΠΌΠΎΡΡΠΈΡ ΡΠ°ΡΡΠ²ΠΎΡΠΎΠ² ΠΈ ΡΡΠΎΠ²Π΅ΡΡΠ΅Π½ΡΡΠ²ΠΎΠ²Π°Π½Π½ΡΡ ΠΌΠ΅ΡΠ°Π»Π»ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΡ ΡΠ»ΠΎΠ΅Π² Π΄Π»Ρ ΠΏΠΎΠ»ΡΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ²ΠΎΠ³ΠΎ ΠΏΡΠΎΠΈΠ·Π²ΠΎΠ΄ΡΡΠ²Π° ΠΌΠΈΠΊΡΠΎΡΡ Π΅ΠΌ Ρ 32-Π½ΠΌ ΡΠΎΠΏΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠΌΠΈ Π½ΠΎΡΠΌΠ°ΠΌΠΈ.
Π 2003 Π³ΠΎΠ΄Ρ Π² Π½Π°ΡΠ°Π»Π΅ ΠΎΡΠ²ΠΎΠ΅Π½ΠΈΡ ΠΏΡΠΎΠΌΡΡΠ»Π΅Π½Π½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΏΡΠΎΠΈΠ·Π²ΠΎΠ΄ΡΡΠ²Π° ΠΌΠΈΠΊΡΠΎΡΡ Π΅ΠΌ Ρ ΠΏΡΠΎΠ΅ΠΊΡΠ½ΡΠΌΠΈ Π½ΠΎΡΠΌΠ°ΠΌΠΈ 90 Π½ΠΌ ΡΡΡΠ΅ΡΡΠ²ΠΎΠ²Π°Π»ΠΎ Π»ΠΈΡΡ Π½Π΅ΡΠΊΠΎΠ»ΡΠΊΠΎ ΠΏΡΠΎΠΈΠ·Π²ΠΎΠ΄ΡΡΠ²Π΅Π½Π½ΡΡ Π»ΠΈΠ½ΠΈΠΉ ΠΏΠΎ ΠΎΠ±ΡΠ°Π±ΠΎΡΠΊΠ΅ ΠΏΠ»Π°ΡΡΠΈΠ½ Π΄ΠΈΠ°ΠΌΠ΅ΡΡΠΎΠΌ 300 ΠΌΠΌ. ΠΠΎ ΠΊ ΠΊΠΎΠ½ΡΡ 2005 Π³ΠΎΠ΄Π° ΡΠΆΠ΅ ΠΎΠΊΠΎΠ»ΠΎ 30 Π·Π°Π²ΠΎΠ΄ΠΎΠ² ΡΠ°Π±ΠΎΡΠ°Π»ΠΈ Ρ ΠΏΠ»Π°ΡΡΠΈΠ½Π°ΠΌΠΈ ΡΠ°ΠΊΠΎΠ³ΠΎ Π΄ΠΈΠ°ΠΌΠ΅ΡΡΠ°. ΠΡΠΎΠΈΠ·Π²ΠΎΠ΄ΠΈΡΠ΅Π»ΡΠ½ΠΎΡΡΡ ΠΈΡ ΡΠΎΡΡΠ°Π²Π»ΡΠ»Π° 10 ΡΡΡ.-30 ΡΡΡ. ΠΏΠ»Π°ΡΡΠΈΠ½ Π² ΠΌΠ΅ΡΡΡ.
Π ΠΏΠΎΡΠ»Π΅Π΄Π½Π΅Π΅ Π²ΡΠ΅ΠΌΡ Π°ΠΊΡΠΈΠ²Π½ΠΎ ΠΎΠ±ΡΡΠΆΠ΄Π°Π΅ΡΡΡ Π²ΠΎΠΏΡΠΎΡ ΠΏΠ΅ΡΠ΅Ρ ΠΎΠ΄Π° ΠΊ ΠΎΠ±ΡΠ°Π±ΠΎΡΠΊΠ΅ ΠΏΠ»Π°ΡΡΠΈΠ½ Π΄ΠΈΠ°ΠΌΠ΅ΡΡΠΎΠΌ 450 ΠΌΠΌ. Π‘ΠΎΠ³Π»Π°ΡΠ½ΠΎ ΠΠ΅ΠΆΠ΄ΡΠ½Π°ΡΠΎΠ΄Π½ΠΎΠΉ ΠΏΡΠΎΠ³ΡΠ°ΠΌΠΌΠ΅ ΡΠ°Π·Π²ΠΈΡΠΈΡ ΡΠ΅Ρ Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΠΈ ΠΏΠΎΠ»ΡΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ²ΡΡ ΠΏΡΠΈΠ±ΠΎΡΠΎΠ² (International Technology Roadmap for Semiconductors — ITRS) 2005 Π³ΠΎΠ΄Π°, ΠΎΠ±ΡΠ°Π±ΠΎΡΠΊΠ° 450-ΠΌΠΌ ΠΏΠ»Π°ΡΡΠΈΠ½ Π΄ΠΎΠ»ΠΆΠ½Π° Π½Π°ΡΠ°ΡΡΡΡ Π² 2012;2014 Π³ΠΎΠ΄Ρ. Π§ΡΠΎΠ±Ρ ΠΎΠ±Π΅ΡΠΏΠ΅ΡΠΈΡΡ Π²ΡΠΏΠΎΠ»Π½Π΅Π½ΠΈΠ΅ ΡΡΠΎΠ³ΠΎ ΠΏΠ»Π°Π½Π°, Π½Π° ΠΊΠΎΠ½ΡΠ΅ΡΠ΅Π½ΡΠΈΠΈ Semicon West 2007 ΠΠ΅ΠΆΠ΄ΡΠ½Π°ΡΠΎΠ΄Π½Π°Ρ ΠΏΡΠΎΠΈΠ·Π²ΠΎΠ΄ΡΡΠ²Π΅Π½Π½Π°Ρ ΠΈΠ½ΠΈΡΠΈΠ°ΡΠΈΠ²Π°, ΠΏΡΠ΅Π΄Π»ΠΎΠΆΠ΅Π½Π½Π°Ρ ΠΊΠΎΠ½ΡΠΎΡΡΠΈΡΠΌΠΎΠΌ Sematech (International Sematech Manufacturing Initiaitve — ISMI), ΠΏΡΠ΅Π΄ΡΡΠ°Π²ΠΈΠ»Π° Π½ΠΎΠ²ΡΡ Π½Π°ΡΡΠ½ΠΎ-ΠΈΡΡΠ»Π΅Π΄ΠΎΠ²Π°ΡΠ΅Π»ΡΡΠΊΡΡ ΠΏΡΠΎΠ³ΡΠ°ΠΌΠΌΡ ΠΏΠ΅ΡΠ΅Ρ ΠΎΠ΄Π° ΠΊ ΠΏΡΠΎΠΈΠ·Π²ΠΎΠ΄ΡΡΠ²Ρ ΠΌΠΈΠΊΡΠΎΡΡ Π΅ΠΌ Π½Π° 450-ΠΌΠΌ ΠΏΠ»Π°ΡΡΠΈΠ½Π°Ρ — 450 mm. Π¦Π΅Π»Ρ Π΅Π΅ — Π³Π°ΡΠ°Π½ΡΠΈΡΠΎΠ²Π°ΡΡ ΡΠΊΡΠΏΠ»ΡΠ°ΡΠ°ΡΠΈΠΎΠ½Π½ΡΡ Π³ΠΎΡΠΎΠ²Π½ΠΎΡΡΡ 450-ΠΌΠΌ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΠ΅Π²ΡΡ ΠΏΠ»Π°ΡΡΠΈΠ½; ΠΎΠ±Π΅ΡΠΏΠ΅ΡΠΈΡΡ ΡΠ°Π·ΡΠ°Π±ΠΎΡΠΊΡ ΠΎΠ±ΡΠΈΡ ΡΡΠΊΠΎΠ²ΠΎΠ΄ΡΡΠΈΡ Π΄ΠΎΠΊΡΠΌΠ΅Π½ΡΠΎΠ² ΠΈ ΡΡΠ°Π½Π΄Π°ΡΡΠΎΠ² 450-ΠΌΠΌ Π·Π°Π²ΠΎΠ΄Π°; ΠΏΠΎΠ΄Π³ΠΎΡΠΎΠ²ΠΈΡΡ ΠΎΠΏΡΡΠ½ΡΠΉ ΠΈΡΠΏΡΡΠ°ΡΠ΅Π»ΡΠ½ΡΠΉ ΡΡΠ΅Π½Π΄ Π΄Π»Ρ ΡΠ΅ΡΡΠΈΡΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΡ 450-ΠΌΠΌ ΠΎΠ±ΠΎΡΡΠ΄ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΡ, Π² ΡΠΎΠΌ ΡΠΈΡΠ»Π΅ ΠΈ ΡΠ°ΠΊΠΈΡ ΡΠ»Π΅ΠΌΠ΅Π½ΡΠΎΠ² ΠΈ ΡΡΡΡΠΎΠΉΡΡΠ², ΠΊΠ°ΠΊ ΠΊΡΠΈΡΡΠ°Π»Π»ΠΎΠ΄Π΅ΡΠΆΠ°ΡΠ΅Π»ΠΈ, Π·Π°Π³ΡΡΠ·ΠΎΡΠ½ΡΠ΅ ΠΏΠΎΡΡΡ, ΠΌΠΎΠ΄ΡΠ»ΠΈ ΠΈ Π΄Ρ. ΠΠΎΠ²Π°Ρ ΠΏΡΠΎΠ³ΡΠ°ΠΌΠΌΠ° 450 mm Π½Π΅ ΠΎΡΠΌΠ΅Π½ΡΠ΅Ρ ΡΠ°Π½Π΅Π΅ ΠΏΡΠΈΠ½ΡΡΡΠΉ ISMI ΠΏΡΠΎΠ΅ΠΊΡ 300mmPrime (300P), Π½Π°ΡΠ΅Π»Π΅Π½Π½ΡΠΉ Π½Π° ΠΏΠΎΠ²ΡΡΠ΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΏΡΠΎΠΈΠ·Π²ΠΎΠ΄ΠΈΡΠ΅Π»ΡΠ½ΠΎΡΡΠΈ ΠΏΡΠΎΠΈΠ·Π²ΠΎΠ΄ΡΡΠ²Π° ΠΈ ΡΠΎΠΊΡΠ°ΡΠ΅Π½ΠΈΠ΅ Π΄Π»ΠΈΡΠ΅Π»ΡΠ½ΠΎΡΡΠΈ ΡΠ°Π±ΠΎΡΠ΅Π³ΠΎ ΡΠΈΠΊΠ»Π° 300-ΠΌΠΌ ΠΎΠ±ΠΎΡΡΠ΄ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΡ. ΠΠ±Π΅ ΠΏΡΠΎΠ³ΡΠ°ΠΌΠΌΡ ΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄ΡΡΡΡ ΠΏΠ°ΡΠ°Π»Π»Π΅Π»ΡΠ½ΠΎ ΠΈ ΠΏΡΠ΅Π΄ΡΡΠΌΠ°ΡΡΠΈΠ²Π°ΡΡ ΠΎΠ±Π΅ΡΠΏΠ΅ΡΠ΅Π½ΠΈΠ΅ ΡΠΎΠ²ΠΌΠ΅ΡΡΠΈΠΌΠΎΡΡΠΈ ΡΡΡΠ°Π½ΠΎΠ²ΠΎΠΊ Π΄Π²ΡΡ ΡΠΈΠΏΠΎΠ². ΠΠΎΠ»ΡΡΠ°Ρ ΡΠ°ΡΡΡ ΠΌΠ΅Ρ, Π½Π°ΠΏΡΠ°Π²Π»Π΅Π½Π½ΡΡ Π½Π° ΡΠΎΠΊΡΠ°ΡΠ΅Π½ΠΈΠ΅ Π΄Π»ΠΈΡΠ΅Π»ΡΠ½ΠΎΡΡΠΈ ΡΠ°Π±ΠΎΡΠ΅Π³ΠΎ ΡΠΈΠΊΠ»Π°, ΠΊΠΎΡΠΎΡΡΠ΅ ΡΠ°Π·ΡΠ°Π±Π°ΡΡΠ²Π°ΡΡΡΡ ΠΏΠΎ ΠΏΡΠΎΠ³ΡΠ°ΠΌΠΌΠ΅ 300mmPrime, ΠΊΠ°ΠΊ ΠΎΠΆΠΈΠ΄Π°Π΅ΡΡΡ, Π±ΡΠ΄ΡΡ ΠΏΠΎΠ»Π΅Π·Π½Ρ ΠΈ Π΄Π»Ρ 450-ΠΌΠΌ ΠΏΡΠΎΠΈΠ·Π²ΠΎΠ΄ΡΡΠ²Π°. ΠΡΠΎΠ³ΡΠ°ΠΌΠΌΠ° 300P — ΡΡΡΠΏΠ΅Π½ΡΠΊΠ° Π΄Π»Ρ ΠΏΠ΅ΡΠ΅Ρ ΠΎΠ΄Π° ΠΊ ΠΎΠ±ΡΠ°Π±ΠΎΡΠΊΠ΅ 450-ΠΌΠΌ ΠΏΠ»Π°ΡΡΠΈΠ½, ΠΏΠΎΠ·Π²ΠΎΠ»ΡΡΡΠ°Ρ ΡΠ½ΠΈΠ·ΠΈΡΡ ΡΠΈΡΠΊΠΈ ΡΠ°ΠΊΠΎΠ³ΠΎ ΠΏΠ΅ΡΠ΅Ρ ΠΎΠ΄Π°. ΠΠΎΠ½Π΅ΡΠ½ΡΠ΅ ΡΠ΅Π»ΠΈ ISMI: ΡΠ½ΠΈΠΆΠ΅Π½ΠΈΠ΅ Π½Π° 30% ΡΡΠΎΠΈΠΌΠΎΡΡΠΈ ΠΏΡΠΎΠΈΠ·Π²ΠΎΠ΄ΡΡΠ²Π° Π² ΠΏΠ΅ΡΠ΅ΡΡΠ΅ΡΠ΅ Π½Π° Π΅Π΄ΠΈΠ½ΠΈΡΡ ΠΏΠ»ΠΎΡΠ°Π΄ΠΈ ΠΏΠ»Π°ΡΡΠΈΠ½Ρ ΠΈ ΡΠΎΠΊΡΠ°ΡΠ΅Π½ΠΈΠ΅ Π΄Π»ΠΈΡΠ΅Π»ΡΠ½ΠΎΡΡΠΈ ΡΠΈΠΊΠ»Π° Π½Π° 50%.
ΠΠΎΠΌΠΏΠ°Π½ΠΈΠΈ-ΠΏΠΎΡΡΠ°Π²ΡΠΈΠΊΠΈ ΠΏΠΎΠ»ΡΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ²ΠΎΠ³ΠΎ ΡΠ΅Ρ Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠ³ΠΎ ΠΎΠ±ΠΎΡΡΠ΄ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΡ, ΠΊΠΎΡΠΎΡΡΠ΅ ΡΠΎΠ»ΡΠΊΠΎ ΠΏΡΠΈΡ ΠΎΠ΄ΡΡ Π² ΡΠ΅Π±Ρ ΠΏΠΎΡΠ»Π΅ Π·Π°ΡΡΡΠ΄Π½Π΅Π½ΠΈΠΉ, ΡΠ²ΡΠ·Π°Π½Π½ΡΡ Ρ ΠΏΠ΅ΡΠ΅Ρ ΠΎΠ΄ΠΎΠΌ ΠΏΡΠΎΠΌΡΡΠ»Π΅Π½Π½ΠΎΡΡΠΈ ΠΊ ΡΠ°Π±ΠΎΡΠ΅ Ρ 300-ΠΌΠΌ ΠΏΠ»Π°ΡΡΠΈΠ½Π°ΠΌΠΈ, Π·Π°ΡΠ²Π»ΡΡΡ, ΡΡΠΎ Π½ΠΎΠ²ΡΠΉ ΠΏΠ΅ΡΠ΅Ρ ΠΎΠ΄ ΠΊ ΠΏΠ»Π°ΡΡΠΈΠ½Π°ΠΌ Π±ΠΎΠ»ΡΡΠ΅Π³ΠΎ Π΄ΠΈΠ°ΠΌΠ΅ΡΡΠ° ΠΌΠΎΠΆΠ΅Ρ ΡΠ°Π·ΠΎΡΠΈΡΡ ΠΈΡ . ΠΠΏΠ°ΡΠ΅Π½ΠΈΡ ΠΏΠΎΡΡΠ°Π²ΡΠΈΠΊΠΎΠ² ΠΎΠ±ΠΎΡΡΠ΄ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΡ ΠΎΡΠ½ΠΎΠ²Π°Π½Ρ Π½Π° ΠΎΠΏΡΡΠ΅ ΠΏΠ΅ΡΠ΅Ρ ΠΎΠ΄Π° ΠΊ 300-ΠΌΠΌ ΠΏΠ»Π°ΡΡΠΈΠ½Π°ΠΌ, ΠΊΠΎΠ³Π΄Π° ΡΡΠΎΠΈΠΌΠΎΡΡΡ ΠΠΠΠΠ ΠΏΠΎ ΡΠ°Π·ΡΠ°Π±ΠΎΡΠΊΠ΅ ΠΎΠ±ΠΎΡΡΠ΄ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΡ Π²ΠΎΠ·ΡΠΎΡΠ»Π° Π² Π΄Π΅Π²ΡΡΡ ΡΠ°Π· ΠΏΠΎ ΡΡΠ°Π²Π½Π΅Π½ΠΈΡ Ρ Π·Π°ΡΡΠ°ΡΠ°ΠΌΠΈ Π½Π° ΡΠΎΠ·Π΄Π°Π½ΠΈΠ΅ 200-ΠΌΠΌ ΡΡΡΠ°Π½ΠΎΠ²ΠΎΠΊ, Π° Π²ΠΌΠ΅ΡΡΠΎ ΠΏΡΠΎΠ³Π½ΠΎΠ·ΠΈΡΠΎΠ²Π°Π²ΡΠ΅Π³ΠΎΡΡ Π²ΡΡΠΎΠΊΠΎΠ³ΠΎ ΡΠΏΡΠΎΡΠ° Π½Π° Π½ΠΎΠ²ΠΎΠ΅ ΠΎΠ±ΠΎΡΡΠ΄ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ Π½Π΅ΠΎΠΆΠΈΠ΄Π°Π½Π½ΠΎ Π½Π°ΡΡΡΠΏΠΈΠ» ΡΠ΅Π·ΠΊΠΈΠΉ Π·Π°ΡΡΠΎΠΉ. ΠΠ±Π΅ΡΠ°Π½Π½ΡΠΉ ΠΎΠ±ΡΠ΅ΠΌ ΠΈΠ½Π²Π΅ΡΡΠΈΡΠΈΠΉ ΡΠ°ΠΊ ΠΈ ΠΎΡΡΠ°Π»ΡΡ Π½Π° Π±ΡΠΌΠ°Π³Π΅, Π° ΠΏΠΎΡΡΠ°Π²ΡΠΈΠΊΠΈ ΠΎΠΊΠ°Π·Π°Π»ΠΈΡΡ ΠΏΡΠ°ΠΊΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈ ΠΎΠ΄ΠΈΠ½ Π½Π° ΠΎΠ΄ΠΈΠ½ ΡΠΎ Π²ΡΠ΅ΠΌΠΈ ΠΏΡΠΎΠ±Π»Π΅ΠΌΠ°ΠΌΠΈ, ΡΠ²ΡΠ·Π°Π½Π½ΡΠΌΠΈ Ρ ΡΠ°Π·ΡΠ°Π±ΠΎΡΠΊΠΎΠΉ ΠΈ Π²Π½Π΅Π΄ΡΠ΅Π½ΠΈΠ΅ΠΌ Π²Π΅ΡΡΠΌΠ° Π΄ΠΎΡΠΎΠ³ΠΎΡΡΠΎΡΡΠ΅Π³ΠΎ ΠΎΠ±ΠΎΡΡΠ΄ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΡ. ΠΡΠ»ΠΈ ΠΈΠ·Π΄Π΅ΡΠΆΠΊΠΈ ΠΏΡΠΎΠΈΠ·Π²ΠΎΠ΄ΡΡΠ²Π° ΠΏΡΠΎΠΌΡΡΠ»Π΅Π½Π½ΡΡ ΡΡΡΠ°Π½ΠΎΠ²ΠΎΠΊ Π΄Π»Ρ ΠΎΠ±ΡΠ°Π±ΠΎΡΠΊΠΈ 450-ΠΌΠΌ ΠΏΠ»Π°ΡΡΠΈΠ½ ΡΠ°ΠΊΠΆΠ΅ ΡΠ²Π΅Π»ΠΈΡΠ°ΡΡΡ Π² Π΄Π΅Π²ΡΡΡ ΡΠ°Π·, Π·Π°ΡΡΠ°ΡΡ ΠΏΡΠΎΠΈΠ·Π²ΠΎΠ΄ΠΈΡΠ΅Π»Π΅ΠΉ Π½Π° Π²ΡΠΏΡΡΠΊ ΡΠ°ΠΊΠΎΠ³ΠΎ ΠΎΠ±ΠΎΡΡΠ΄ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΡ ΠΏΡΠ΅Π²ΡΡΡΡ 100 ΠΌΠ»ΡΠ΄ Π΄ΠΎΠ»Π». ΠΠ°Π»ΠΎΠ²Π΅ΡΠΎΡΡΠ½ΠΎ, ΡΡΠΎ ΠΎΠ½ΠΈ ΡΠΌΠΎΠ³ΡΡ ΠΎΡΠΈΠ»ΠΈΡΡ ΡΠ°Π·ΡΠ°Π±ΠΎΡΠΊΡ ΡΠ°ΠΊΠΎΠ³ΠΎ ΠΎΠ±ΠΎΡΡΠ΄ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΡ, Π΄Π°ΠΆΠ΅ Π΅ΡΠ»ΠΈ ΡΠ΄Π°ΡΡΡΡ ΡΠ½ΠΈΠ·ΠΈΡΡ Π·Π°ΡΡΠ°ΡΡ Π΄ΠΎ 20 ΠΌΠ»ΡΠ΄ Π΄ΠΎΠ»Π». Π Π°Π·ΡΠ°Π±ΠΎΡΠΊΠ° 450-ΠΌΠΌ ΠΎΠ±ΠΎΡΡΠ΄ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΡ ΠΏΠΎΡΡΠ΅Π±ΡΠ΅Ρ ΡΠ΅ΡΠ΅Π½ΠΈΡ ΠΌΠ½ΠΎΠ³ΠΈΡ ΡΠ΅Ρ Π½ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΡ ΠΏΡΠΎΠ±Π»Π΅ΠΌ, ΡΠ°ΠΊΠΈΡ ΠΊΠ°ΠΊ ΡΠ²Π΅Π»ΠΈΡΠ΅Π½ΠΈΠ΅ ΡΠΎΠ»ΡΠΈΠ½Ρ ΠΏΠ»Π°ΡΡΠΈΠ½, ΡΡΡΡΠ°Π½Π΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΈΡ ΠΊΠΎΡΠΎΠ±Π»Π΅Π½ΠΈΡ ΠΈ Π²ΠΎΠ·Π½ΠΈΠΊΠ½ΠΎΠ²Π΅Π½ΠΈΠ΅ Π΄Π΅ΡΠ΅ΠΊΡΠΎΠ² Π² ΡΠ΅Π·ΡΠ»ΡΡΠ°ΡΠ΅ ΡΠ΅ΡΠΌΠΎΠΎΠ±ΡΠ°Π±ΠΎΡΠΊΠΈ. Π ΡΠΎΠΌΡ ΠΆΠ΅, ΠΌΠ½ΠΎΠ³ΠΈΠ΅ ΠΏΠΎΡΡΠ°Π²ΡΠΈΠΊΠΈ ΡΠ΅Ρ Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠ³ΠΎ ΠΎΠ±ΠΎΡΡΠ΄ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΡ — ΡΡΠΎ ΠΌΠ°Π»ΡΠ΅ ΠΈ ΡΡΠ΅Π΄Π½ΠΈΠ΅ ΡΠΈΡΠΌΡ Ρ ΠΎΠ³ΡΠ°Π½ΠΈΡΠ΅Π½Π½ΡΠΌ Π±ΡΠ΄ΠΆΠ΅ΡΠΎΠΌ, ΠΊΠΎΡΠΎΡΡΠ΅ Π½Π΅ Π² ΡΠΎΡΡΠΎΡΠ½ΠΈΠΈ ΠΎΠΊΡΠΏΠΈΡΡ ΡΠ°Π·ΡΠ°Π±ΠΎΡΠΊΡ 450-ΠΌΠΌ ΡΡΡΠ°Π½ΠΎΠ²ΠΎΠΊ.
Π‘Π΅ΡΡΠ΅Π·Π½ΠΎΠΉ ΠΏΡΠΎΠ±Π»Π΅ΠΌΠΎΠΉ ΡΠ²Π»ΡΠ΅ΡΡΡ ΠΈ ΠΏΠΎΠ»ΡΡΠ΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΏΡΠΈΠ±ΡΠ»ΠΈ Π½Π° ΠΈΠ½Π²Π΅ΡΡΠΈΡΠΎΠ²Π°Π½Π½ΡΠΉ ΠΊΠ°ΠΏΠΈΡΠ°Π». Π‘ΡΠΈΡΠ°Π΅ΡΡΡ, ΡΡΠΎ ΠΏΠΎΠ»ΡΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ²ΠΎΠΉ ΠΏΡΠΎΠΌΡΡΠ»Π΅Π½Π½ΠΎΡΡΠΈ ΠΏΠΎΡΡΠ΅Π±ΡΠ΅ΡΡΡ 30 Π»Π΅Ρ Π΄Π»Ρ ΡΠΎΠ³ΠΎ, ΡΡΠΎΠ±Ρ ΠΎΠΊΡΠΏΠΈΡΡ ΠΊΠΎΠ»ΠΎΡΡΠ°Π»ΡΠ½ΡΠ΅ ΠΈΠ½Π²Π΅ΡΡΠΈΡΠΈΠΈ Π² ΠΎΡΠ²ΠΎΠ΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΏΡΠΎΠΈΠ·Π²ΠΎΠ΄ΡΡΠ²Π° ΠΌΠΈΠΊΡΠΎΡΡ Π΅ΠΌ Π½Π° 300-ΠΌΠΌ ΠΏΠ»Π°ΡΡΠΈΠ½Π°Ρ . ΠΠΎ ΠΌΠ½Π΅Π½ΠΈΡ ΡΠΏΠ΅ΡΠΈΠ°Π»ΠΈΡΡΠΎΠ² ΠΊΠΎΠΌΠΏΠ°Π½ΠΈΠΈ Applied Materials, ΡΡΠΎΠΊ ΠΎΠΊΡΠΏΠ°Π΅ΠΌΠΎΡΡΠΈ 450-ΠΌΠΌ ΡΠ΅Ρ Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΠΈ ΠΌΠΎΠΆΠ΅Ρ ΠΏΡΠ΅Π²ΡΡΠΈΡΡ ΡΡΠΎΠΊ ΠΆΠΈΠ·Π½ΠΈ ΠΏΡΠ΅Π΄ΠΏΡΠΈΡΡΠΈΡ. ΠΠΎΡΡΠΎΠΌΡ ΠΎΡΠ½ΠΎΡΠ΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΊ ΠΏΠ΅ΡΠ΅Ρ ΠΎΠ΄Ρ ΠΊ 450-ΠΌΠΌ ΠΏΠ»Π°ΡΡΠΈΠ½Π°ΠΌ ΠΎΡΠ΅Π½Ρ Π½Π΅ΠΎΠ΄Π½ΠΎΠ·Π½Π°ΡΠ½ΠΎΠ΅. ΠΠ°ΠΈΠ±ΠΎΠ»Π΅Π΅ Π°ΠΊΡΠΈΠ²Π½ΡΠΌΠΈ ΡΡΠΎΡΠΎΠ½Π½ΠΈΠΊΠ°ΠΌΠΈ ΡΠΊΠΎΡΠ΅ΠΉΡΠ΅Π³ΠΎ Π²Π½Π΅Π΄ΡΠ΅Π½ΠΈΡ Π½ΠΎΠ²ΠΎΠΉ ΡΠ΅Ρ Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΠΈ ΡΠ²Π»ΡΡΡΡΡ ΠΏΡΠ΅Π΄ΡΡΠ°Π²ΠΈΡΠ΅Π»ΠΈ ΡΠ°ΠΊ Π½Π°Π·ΡΠ²Π°Π΅ΠΌΠΎΠΉ «Π±ΠΎΠ»ΡΡΠΎΠΉ ΡΠ΅ΡΠ²Π΅ΡΠΊΠΈ» ΠΏΡΠΎΠΈΠ·Π²ΠΎΠ΄ΠΈΡΠ΅Π»Π΅ΠΉ ΠΌΠΈΠΊΡΠΎΡΡ Π΅ΠΌ — Intel, Samsung Electronics, Toshiba ΠΈ Taiwan Semiconductor Manufacturing Co. (TSMC). ΠΠΎ ΠΈΡΠΎΠ³Π°ΠΌ ΡΡΠ΅ΡΡΠ΅Π³ΠΎ ΠΊΠ²Π°ΡΡΠ°Π»Π° 2007 Π³ΠΎΠ΄Π°, ΠΎΠ±ΡΠ΅ΠΌ ΠΏΡΠΎΠ΄Π°ΠΆ ΡΡΠΈΡ ΠΊΠΎΠΌΠΏΠ°Π½ΠΈΠΉ Π½Π° ΡΡΠ½ΠΊΠ΅ ΠΏΠΎΠ»ΡΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ²ΡΡ ΠΏΡΠΈΠ±ΠΎΡΠΎΠ² ΡΠΎΡΡΠ°Π²ΠΈΠ» 21 ΠΌΠ»ΡΠ΄ Π΄ΠΎΠ»Π»., ΠΈΠ»ΠΈ 80% ΠΎΠ±ΡΠ΅Π³ΠΎ ΠΎΠ±ΡΠ΅ΠΌΠ° ΠΏΡΠΎΠ΄Π°ΠΆ Π² 35 ΠΌΠ»ΡΠ΄ Π΄ΠΎΠ»Π». ΠΡΠ°Π²Π΄Π°, Π»ΠΈΡΡ Intel, Samsung ΠΈ, Π²ΠΎΠ·ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎ, TSMC ΠΎΠ±ΡΡΠ²ΠΈΠ»ΠΈ, ΡΡΠΎ Π³ΠΎΡΠΎΠ²Ρ Π½Π°ΡΠ°ΡΡ ΡΡΡΠΎΠΈΡΠ΅Π»ΡΡΡΠ²ΠΎ 450-ΠΌΠΌ Π·Π°Π²ΠΎΠ΄ΠΎΠ² Π² ΡΠΎΠΎΡΠ²Π΅ΡΡΡΠ²ΠΈΠΈ Ρ ΠΏΠ»Π°Π½ΠΎΠΌ ITRS. Π Π²ΠΎΠ·ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎΡΡΠΈ ΠΏΠ΅ΡΠ΅Ρ ΠΎΠ΄Π° ΠΊ 450-ΠΌΠΌ ΡΠ΅Ρ Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΠΈ Π·Π°ΡΠ²ΠΈΠ»ΠΈ ΡΠΈΡΠΌΡ IBM, Chartered, Powerchip, Qimonda, Promos, Elpida, Nanya, UMC, Micron, SMIC. ΠΠΎ ΠΎΡΠ΅Π½ΠΊΠ°ΠΌ ΠΊΠΎΠΌΠΏΠ°Π½ΠΈΠΈ VLSI Research, ΠΏΠ΅ΡΠ΅Ρ ΠΎΠ΄ ΠΊ ΡΠ»Π΅Π΄ΡΡΡΠ΅ΠΌΡ ΠΏΠΎΠΊΠΎΠ»Π΅Π½ΠΈΡ ΠΏΠ»Π°ΡΡΠΈΠ½ ΠΌΠΎΠΆΠ΅Ρ ΡΠΎΡΡΠΎΡΡΡΡΡ Π½Π΅ ΡΠ°Π½Π΅Π΅ 2020;2025 Π³ΠΎΠ΄ΠΎΠ². Π ΡΠ΄ ΠΈΠ·Π³ΠΎΡΠΎΠ²ΠΈΡΠ΅Π»Π΅ΠΉ ΠΏΠΎΠ»ΡΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ²ΠΎΠ³ΠΎ ΠΎΠ±ΠΎΡΡΠ΄ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΡ ΠΈ ΠΏΡΠΈΠ±ΠΎΡΠΎΠ² Π²ΠΎ Π³Π»Π°Π²Π΅ Ρ ΠΊΠΎΠΌΠΏΠ°Π½ΠΈΠ΅ΠΉ Applied Materials, ΠΏΠΎ ΠΌΠ½Π΅Π½ΠΈΡ ΠΊΠΎΡΠΎΡΠΎΠΉ ΠΏΠΎΠ²ΡΡΠ΅Π½ΠΈΠ΅ ΡΡΡΠ΅ΠΊΡΠΈΠ²Π½ΠΎΡΡΠΈ ΡΡΡΠ΅ΡΡΠ²ΡΡΡΠΈΡ ΡΠ΅Ρ Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΠΉ Π±ΠΎΠ»Π΅Π΅ ΡΠ°ΡΠΈΠΎΠ½Π°Π»ΡΠ½ΠΎ Ρ ΡΠΎΡΠΊΠΈ Π·ΡΠ΅Π½ΠΈΡ ΡΠ½ΠΈΠΆΠ΅Π½ΠΈΡ Π·Π°ΡΡΠ°Ρ, ΡΠ΅ΠΌ ΡΠΊΡΡΠ΅Π½ΡΠΈΠ²Π½ΠΎΠ΅ ΡΠ²Π΅Π»ΠΈΡΠ΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΏΠ»ΠΎΡΠ°Π΄ΠΈ ΠΏΠ»Π°ΡΡΠΈΠ½, ΠΈ Π²ΠΎΠ²ΡΠ΅ ΡΠΎΠΌΠ½Π΅Π²Π°ΡΡΡΡ Π² ΡΠ΅Π»Π΅ΡΠΎΠΎΠ±ΡΠ°Π·Π½ΠΎΡΡΠΈ ΡΠ°ΠΊΠΎΠ³ΠΎ ΠΏΠ΅ΡΠ΅Ρ ΠΎΠ΄Π°, ΡΡΠΈΡΠ°Ρ, ΡΡΠΎ ΠΏΠ»Π°ΡΡΠΈΠ½Ρ Π΄ΠΈΠ°ΠΌΠ΅ΡΡΠΎΠΌ 300 ΠΌΠΌ — ΠΊΠΎΠ½Π΅ΡΠ½ΡΠΉ Π²Π°ΡΠΈΠ°Π½Ρ ΠΏΠ»Π°ΡΡΠΈΠ½ Π±ΠΎΠ»ΡΡΠΎΠ³ΠΎ ΡΠ°Π·ΠΌΠ΅ΡΠ°.
ΠΠ΅ΡΠΌΠΎΡΡΡ Π½Π° ΠΏΠΎΠ²ΡΡΠ΅Π½Π½ΠΎΠ΅ Π²Π½ΠΈΠΌΠ°Π½ΠΈΠ΅, ΡΠ΄Π΅Π»ΡΠ΅ΠΌΠΎΠ΅ ΠΏΡΠΎΠ±Π»Π΅ΠΌΠ°ΠΌ ΠΎΡΠ²ΠΎΠ΅Π½ΠΈΡ 450-ΠΌΠΌ ΠΏΡΠΎΠΈΠ·Π²ΠΎΠ΄ΡΡΠ²Π°, ΠΏΡΠΎΠ΄ΠΎΠ»ΠΆΠ°Π΅ΡΡΡ Π²Π²ΠΎΠ΄ Π² ΡΡΡΠΎΠΉ Π·Π°Π²ΠΎΠ΄ΠΎΠ² ΠΏΠΎ ΠΎΠ±ΡΠ°Π±ΠΎΡΠΊΠ΅ ΠΊΠ°ΠΊ 300-ΠΌΠΌ, ΡΠ°ΠΊ ΠΈ 200-ΠΌΠΌ ΠΏΠ»Π°ΡΡΠΈΠ½. ΠΠΎ Π΄Π°Π½Π½ΡΠΌ ΠΈΡΡΠ»Π΅Π΄ΠΎΠ²Π°ΡΠ΅Π»ΡΡΠΊΠΎΠΉ ΠΊΠΎΠΌΠΏΠ°Π½ΠΈΠΈ The Information Network, Π² 2007 Π³ΠΎΠ΄Ρ Π² ΠΌΠΈΡΠ΅ Π΄ΠΎΠ»ΠΆΠ½Ρ Π±ΡΠ»ΠΈ Π·Π°ΠΏΡΡΡΠΈΡΡ Π΄Π΅Π²ΡΡΡ Π½ΠΎΠ²ΡΡ 300-ΠΌΠΌ Π·Π°Π²ΠΎΠ΄ΠΎΠ² ΠΈ Π΅ΡΠ΅ 17 Π·Π°Π²ΠΎΠ΄ΠΎΠ² — Π² 2008 Π³ΠΎΠ΄Ρ. Π£Π²Π΅Π»ΠΈΡΠ°Ρ ΡΠ²ΠΎΠΈ ΠΏΡΠΎΠΈΠ·Π²ΠΎΠ΄ΡΡΠ²Π΅Π½Π½ΡΠ΅ ΠΌΠΎΡΠ½ΠΎΡΡΠΈ Π² 2008 Π³ΠΎΠ΄Ρ 55 Π·Π°Π²ΠΎΠ΄ΠΎΠ² ΠΏΠΎ ΠΎΠ±ΡΠ°Π±ΠΎΡΠΊΠ΅ 300-ΠΌΠΌ ΠΏΠ»Π°ΡΡΠΈΠ½. Π ΡΠ΅Π·ΡΠ»ΡΡΠ°ΡΠ΅ ΡΠΈΡΠ»ΠΎ Π΅ΠΆΠ΅ΠΌΠ΅ΡΡΡΠ½ΠΎ ΠΏΠΎΡΡΡΠΏΠ°ΡΡΠΈΡ Π½Π° ΠΎΠ±ΡΠ°Π±ΠΎΡΠΊΡ ΠΏΠ»Π°ΡΡΠΈΠ½ (2,1 ΠΌΠ»Π½.) ΡΠ²Π΅Π»ΠΈΡΠΈΡΡΡ Π½Π° 680 ΡΡΡ., Ρ. Π΅. ΠΏΡΠΎΠΈΠ·Π²ΠΎΠ΄ΠΈΡΠ΅Π»ΡΠ½ΠΎΡΡΡ 300-ΠΌΠΌ Π·Π°Π²ΠΎΠ΄ΠΎΠ² Π²ΠΎΠ·ΡΠ°ΡΡΠ΅Ρ Π½Π° 32%. Π‘ΠΎΠ³Π»Π°ΡΠ½ΠΎ ΠΎΡΠ΅Π½ΠΊΠ°ΠΌ ΠΠ΅ΠΆΠ΄ΡΠ½Π°ΡΠΎΠ΄Π½ΠΎΠΉ ΠΏΡΠΎΠΌΡΡΠ»Π΅Π½Π½ΠΎΠΉ ΠΏΠΎΠ»ΡΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ²ΠΎΠΉ Π°ΡΡΠΎΡΠΈΠ°ΡΠΈΠΈ SEMI, Π² ΡΠ΅Π·ΡΠ»ΡΡΠ°ΡΠ΅ ΠΏΠΎΡΠ²Π»Π΅Π½ΠΈΡ 26 Π½ΠΎΠ²ΡΡ Π·Π°Π²ΠΎΠ΄ΠΎΠ² ΠΏΠΎ ΠΎΠ±ΡΠ°Π±ΠΎΡΠΊΠ΅ 300-ΠΌΠΌ ΠΏΠ»Π°ΡΡΠΈΠ½ Π² ΠΌΠΈΡΠ΅ Π±ΡΠ΄ΡΡ Π΄Π΅ΠΉΡΡΠ²ΠΎΠ²Π°ΡΡ 73 ΡΠ°ΠΊΠΈΡ ΠΏΡΠ΅Π΄ΠΏΡΠΈΡΡΠΈΡ, ΠΈ ΠΈΡ ΠΎΠ±ΡΠ°Ρ ΠΏΡΠΎΠΈΠ·Π²ΠΎΠ΄ΠΈΡΠ΅Π»ΡΠ½ΠΎΡΡΡ ΠΊ ΠΊΠΎΠ½ΡΡ 2008 Π³ΠΎΠ΄Π° ΠΏΡΠ΅Π²ΡΡΠΈΡ 6,2 ΠΌΠ»Π½. ΠΏΠ»Π°ΡΡΠΈΠ½ Π² Π³ΠΎΠ΄. ΠΠ°ΡΡΠ°ΡΡ Π½Π° ΡΡΡΠΎΠΈΡΠ΅Π»ΡΡΡΠ²ΠΎ 300-ΠΌΠΌ Π·Π°Π²ΠΎΠ΄Π° Π² 2008 Π³ΠΎΠ΄Ρ, ΠΏΠΎ ΠΏΡΠΎΠ³Π½ΠΎΠ·Π°ΠΌ SEMI, Π²ΠΎΠ·ΡΠ°ΡΡΡΡ Π½Π° 40% ΠΈ Π΄ΠΎΡΡΠΈΠ³Π½ΡΡ ΡΠ΅ΠΊΠΎΡΠ΄Π½ΠΎΠ³ΠΎ ΡΡΠΎΠ²Π½Ρ Π² 10 ΠΌΠ»ΡΠ΄ Π΄ΠΎΠ»Π». ΠΠ°ΠΈΠ±ΠΎΠ»ΡΡΠΈΠ΅ ΡΡΠΌΠΌΡ Π½Π° ΡΡΡΠΎΠΈΡΠ΅Π»ΡΡΡΠ²ΠΎ 300-ΠΌΠΌ Π·Π°Π²ΠΎΠ΄ΠΎΠ² ΠΎΡΡΠΈΡΠ»ΡΡΡ ΠΊΠΎΠΌΠΏΠ°Π½ΠΈΠΈ Π’Π°ΠΉΠ²Π°Π½Ρ ΠΈ Π―ΠΏΠΎΠ½ΠΈΠΈ — 30 ΠΈ 20% ΠΎΡ ΠΎΠ±ΡΠΈΡ ΠΌΠΈΡΠΎΠ²ΡΡ Π·Π°ΡΡΠ°Ρ, ΡΠΎΠΎΡΠ²Π΅ΡΡΡΠ²Π΅Π½Π½ΠΎ. Π’ΡΠ΅ΡΡΠ΅ ΠΌΠ΅ΡΡΠΎ Π·Π°Π½ΠΈΠΌΠ°Π΅Ρ ΠΠΈΡΠ°ΠΉ — 16%. ΠΠΏΠΎΠ»Π½Π΅ Π²ΠΎΠ·ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎ, ΡΡΠΎ Π² ΡΡΡ 450-ΠΌΠΌ ΠΏΠ»Π°ΡΡΠΈΠ½ ΡΠΎΡ ΡΠ°Π½ΠΈΡΡΡ Π±ΠΎΠ»ΡΡΠΎΠ΅ ΡΠΈΡΠ»ΠΎ Π·Π°Π²ΠΎΠ΄ΠΎΠ² ΠΏΠΎ ΠΎΠ±ΡΠ°Π±ΠΎΡΠΊΠ΅ 300-ΠΌΠΌ ΠΏΠ»Π°ΡΡΠΈΠ½.
2. ΠΡΡ ΠΎΠ΄Π½ΡΠ΅ Π΄Π°Π½Π½ΡΠ΅ ΠΠΈΠ½ΠΈΠΌΠ°Π»ΡΠ½ΡΠΉ ΡΠ°Π·ΠΌΠ΅Ρ ΡΠ»Π΅ΠΌΠ΅Π½ΡΠ° d, ΠΌΠΊΠΌ 0,5
Π§ΠΈΡΠ»ΠΎ ΡΠ»Π΅ΠΌΠ΅Π½ΡΠΎΠ² N, ΡΡ 7Β· 105
ΠΠ°ΠΏΡΡΠΆΠ΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΏΠΈΡΠ°Π½ΠΈΡ UDD, Π 2,2
Π’ΠΎΠ»ΡΠΈΠ½Π° ΠΏΠΎΠ΄Π·Π°ΡΠ²ΠΎΡΠ½ΠΎΠ³ΠΎ Π΄ΠΈΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΈΠΊΠ° tox, Π 100
ΠΠ»ΠΎΡΠ°Π΄Ρ ΠΊΡΠΈΡΡΠ°Π»Π»Π° SΠΊΡ, ΠΌΠΌ2 290
Π§ΠΈΡΠ»ΠΎ ΠΊΠΎΠ½ΡΠ°ΠΊΡΠ½ΡΡ ΠΏΠ»ΠΎΡΠ°Π΄ΠΎΠΊ Π½Π° ΡΠΈΠΏΠ΅ nΠΊΠΏ, ΡΡ 1500
Π Π°Π·ΠΌΠ΅Ρ ΠΊΠΎΠ½ΡΠ°ΠΊΡΠ½ΡΡ ΠΏΠ»ΠΎΡΠ°Π΄ΠΎΠΊ SΠΊΠΏ, ΠΌΠΊΠΌ2 452
Π¨Π°Π³ ΠΊΠΎΠ½ΡΠ°ΠΊΡΠ½ΡΡ ΠΏΠ»ΠΎΡΠ°Π΄ΠΎΠΊ, ΠΌΠΊΠΌ 80
2.1 ΠΠΎΠΏΠΎΠ»Π½ΠΈΡΠ΅Π»ΡΠ½ΡΠ΅ Π΄Π°Π½Π½ΡΠ΅ Π΄Π»Ρ ΡΠ°ΡΡΡΡΠ° ΠΠΈΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠ°Ρ ΠΏΡΠΎΠ½ΠΈΡΠ°Π΅ΠΌΠΎΡΡΡ SiO2 Π΅i, Π€/ΠΌ 3,9
ΠΠΈΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠ°Ρ ΠΏΡΠΎΠ½ΠΈΡΠ°Π΅ΠΌΠΎΡΡΡ Si Π΅, Π€/ΠΌ 11,9
ΠΠΈΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠ°Ρ ΠΏΠΎΡΡΠΎΡΠ½Π½Π°Ρ Π΅0, Π€/ΠΌ 8,85Β· 10-12
ΠΠΎΠ½ΡΠ΅Π½ΡΡΠ°ΡΠΈΡ ΡΠ²ΠΎΠ±ΠΎΠ΄Π½ΡΡ Π½ΠΎΡΠΈΡΠ΅Π»Π΅ΠΉ n, ΡΠΌ-3 1,5Β· 10-10
ΠΠΎΠ΄Π²ΠΈΠΆΠ½ΠΎΡΡΡ ΡΠ²ΠΎΠ±ΠΎΠ΄Π½ΡΡ Π½ΠΎΡΠΈΡΠ΅Π»Π΅ΠΉ ΠΌn, ΠΌ2/cΒ· Π 0,15
3. Π Π°ΡΡΡΡΠ½Π°Ρ ΡΠ°ΡΡΡ
3.1. ΠΡΠΏΠΎΠ»Π½Π΅Π½ΠΈΠ΅ ΡΡΠ»ΠΎΠ²ΠΈΡ ΡΠΈΠ»ΡΠ½ΠΎΠ³ΠΎ ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠ³ΠΎ ΠΏΠΎΠ»Ρ Π² ΠΊΠ°Π½Π°Π»Π΅ ΠΠΠ ΡΡΠ°Π½Π·ΠΈΡΡΠΎΡΠ° ΠΡΠΈΡΠ΅ΡΠΈΠΉ ΡΠΈΠ»ΡΠ½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΏΠΎΠ»Ρ Π³Π΄Π΅ — ΡΠΊΠΎΡΠΎΡΡΡ Π·Π²ΡΠΊΠ° ΠΠ°ΠΏΡΡΠΆΡΠ½Π½ΠΎΡΡΡ Π² ΠΊΠ°Π½Π°Π»Π΅:
Π£ΡΠ»ΠΎΠ²ΠΈΡ ΡΠΈΠ»ΡΠ½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΏΠΎΠ»Ρ Π² ΠΊΠ°Π½Π°Π»Π΅ Π²ΡΠΏΠΎΠ»Π½ΡΡΡΡΡ, ΡΠ»Π΅Π΄ΠΎΠ²Π°ΡΠ΅Π»ΡΠ½ΠΎ, ΡΠΊΠΎΡΠΎΡΡΡ ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ½ΠΎΠ² Π² ΠΊΠ°Π½Π°Π»Π΅ ΠΏΡΠΈΠ½ΠΈΠΌΠ°Π΅ΡΡΡ ΡΠ°Π²Π½ΠΎΠΉ ΡΠΊΠΎΡΠΎΡΡΠΈ Π½Π°ΡΡΡΠ΅Π½ΠΈΡ.
3.2 ΠΡΠ΅ΠΌΡ ΠΏΡΠΎΠ»Π΅ΡΠ° Π½ΠΎΡΠΈΡΠ΅Π»Π΅ΠΉ Π² ΠΊΠ°Π½Π°Π»Π΅ ΠΠΠ ΡΡΠ°Π½Π·ΠΈΡΡΠΎΡΠ° ΠΠ»Ρ ΡΠΈΠ»ΡΠ½ΡΡ ΠΏΠΎΠ»Π΅ΠΉ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΡΠ΅ΡΡΡ ΡΠΎΡΠΌΡΠ»Π°:
ΠΠ»Ρ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΡ ΠΏΡΠΈ ΠΊΠΎΠΌΠ½Π°ΡΠ½ΠΎΠΉ ΡΠ΅ΠΌΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΡΡΠ΅
3.3 ΠΡΠ±ΠΎΡ ΡΠ΅ΡΠ΅Π½ΠΈΡ ΠΏΠΎΠ»ΠΎΡΠΊΠΈ ΠΌΠ΅ΡΠ°Π»Π»ΠΈΠ·Π°ΡΠΈΠΈ
— ΡΠΈΡΠΈΠ½Π° ΠΏΠΎΠ»ΠΎΡΠΊΠΈ
— ΡΠ°ΡΡΡΠΎΡΠ½ΠΈΠ΅ ΠΌΠ΅ΠΆΠ΄Ρ ΠΏΠΎΠ»ΠΎΡΠΊΠ°ΠΌΠΈ
— ΡΠ°Π³ ΠΌΠ΅ΡΠ°Π»Π»ΠΈΠ·Π°ΡΠΈΠΈ
— ΡΠΎΠ»ΡΠΈΠ½Π° ΠΏΠΎΠ»ΠΎΡΠΊΠΈ ΠΌΠ΅ΡΠ°Π»Π»ΠΈΠ·Π°ΡΠΈΠΈ
Π‘Π΅ΡΠ΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΏΠΎΠ»ΠΎΡΠΊΠΈ ΠΌΠ΅ΡΠ°Π»Π»ΠΈΠ·Π°ΡΠΈΠΈ:
3.4 ΠΠΏΡΠ΅Π΄Π΅Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΊΡΠΈΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠ³ΠΎ Π·Π½Π°ΡΠ΅Π½ΠΈΡ ΡΠΎΠΊΠ°, ΠΏΡΠΎΡΠ΅ΠΊΠ°ΡΡΠ΅Π³ΠΎ ΡΠ΅ΡΠ΅Π· ΠΏΠΎΠ»ΠΎΡΠΊΡ ΠΌΠ΅ΡΠ°Π»Π»ΠΈΠ·Π°ΡΠΈΠΈ Π² ΡΠ»ΡΡΠ°Π΅, Π΅ΡΠ»ΠΈ Π΅Ρ ΠΌΠ°ΡΠ΅ΡΠΈΠ°Π»ΠΎΠΌ Π²ΡΠ±ΡΠ°Π½ Π°Π»ΡΠΌΠΈΠ½ΠΈΠΉ
3.5 Π Π°ΡΡΡΡ ΡΠΎΠΏΡΠΎΡΠΈΠ²Π»Π΅Π½ΠΈΡ ΠΎΡΠΊΡΡΡΠΎΠ³ΠΎ ΡΡΠ°Π½Π·ΠΈΡΡΠΎΡΠ° Ρ ΡΠ΅Π»ΡΡ Π΄Π°Π»ΡΠ½Π΅ΠΉΡΠ΅Π³ΠΎ ΠΎΠΏΡΠ΅Π΄Π΅Π»Π΅Π½ΠΈΡ ΡΠΎΠΊΠ°, ΠΏΡΠΎΡΠ΅ΠΊΠ°ΡΡΠ΅Π³ΠΎ ΡΠ΅ΡΠ΅Π· ΡΡΠ°Π½Π·ΠΈΡΡΠΎΡ ΠΈ ΡΡΡΠ΅Π΄Π½Π΅Π½Π½ΡΡ ΠΏΠΎΠ»ΠΎΡΠΊΡ ΠΌΠ΅ΡΠ°Π»Π»ΠΈΠ·Π°ΡΠΈΠΈ, Π΄Π»Ρ Π²ΠΎΠ·ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎΡΡΠΈ Π²ΡΠ±ΠΎΡΠ° ΠΌΠ°ΡΠ΅ΡΠΈΠ°Π»Π° ΠΌΠ΅ΡΠ°Π»Π»ΠΈΠ·Π°ΡΠΈΠΈ Π‘ΠΎΠΏΡΠΎΡΠΈΠ²Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ ΡΠ°ΡΡΡΠΈΡΡΠ²Π°Π΅ΡΡΡ ΠΏΠΎ ΡΠΎΡΠΌΡΠ»Π΅:
Π³Π΄Π΅
ΠΏΠΎΠ΄Π²ΠΈΠΆΠ½ΠΎΡΡΡ ΡΠ²ΠΎΠ±ΠΎΠ΄Π½ΡΡ Π½ΠΎΡΠΈΡΠ΅Π»Π΅ΠΉ Π΄Π»Ρ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΡ
ΡΠ΄Π΅Π»ΡΠ½Π°Ρ ΡΠΌΠΊΠΎΡΡΡ ΠΏΠΎΠ΄Π·Π°ΡΠ²ΠΎΡΠ½ΠΎΠ³ΠΎ Π΄ΠΈΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΈΠΊΠ°
ΡΠΎΠ»ΡΠΈΠ½Π° ΠΏΠΎΠ΄Π·Π°ΡΠ²ΠΎΡΠ½ΠΎΠ³ΠΎ Π΄ΠΈΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΈΠΊΠ°
Π΄ΠΈΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠ°Ρ ΠΏΡΠΎΠ½ΠΈΡΠ°Π΅ΠΌΠΎΡΡΡ Π²Π°ΠΊΡΡΠΌΠ°
Π΄ΠΈΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠ°Ρ ΠΏΡΠΎΠ½ΠΈΡΠ°Π΅ΠΌΠΎΡΡΡ SiO2
ΠΠ»Ρ ΡΠ°ΡΡΡΡΠ° ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅ΠΌ
ΠΎΡΠ½ΠΎΡΠ΅Π½ΠΈΠ΅ ΡΠΈΡΠΈΠ½Ρ ΠΊΠ°Π½Π°Π»Π° ΠΊ Π΄Π»ΠΈΠ½Π΅ ΠΊΠ°Π½Π°Π»Π°
ΡΠ°Π·Π½ΠΎΡΡΡ ΠΌΠ΅ΠΆΠ΄Ρ Π½Π°ΠΏΡΡΠΆΠ΅Π½ΠΈΠ΅ΠΌ Π·Π°ΡΠ²ΠΎΡ-ΠΈΡΡΠΎΠΊ ΡΡΠ°Π½Π·ΠΈΡΡΠΎΡΠ° ΠΈ ΠΏΠΎΡΠΎΠ³ΠΎΠ²ΡΠΌ Π½Π°ΠΏΡΡΠΆΠ΅Π½ΠΈΠ΅ΠΌ
3.6 Π Π°ΡΡΡΡ ΡΠΎΠΊΠ° Π² ΡΠ΅ΠΏΠΈ ΠΎΡΠΊΡΡΡΠΎΠ³ΠΎ ΡΡΠ°Π½Π·ΠΈΡΡΠΎΡΠ° Π‘ΠΎΠΏΡΠΎΡΠΈΠ²Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ Π½Π°Π³ΡΡΠ·ΠΎΡΠ½ΠΎΠ³ΠΎ ΡΡΠ°Π½Π·ΠΈΡΡΠΎΡΠ° Π±Π΅ΡΡΡΡΡ Π½Π° ΠΏΠΎΡΡΠ΄ΠΎΠΊ Π±ΠΎΠ»ΡΡΠ΅, ΡΠ΅ΠΌ ΡΠΎΠΏΡΠΎΡΠΈΠ²Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ ΡΠΏΡΠ°Π²Π»ΡΡΡΠ΅Π³ΠΎ ΡΡΠ°Π½Π·ΠΈΡΡΠΎΡΠ°
Π’ΠΎΠΊ Π² ΡΠ΅ΠΏΠΈ ΠΎΡΠΊΡΡΡΠΎΠ³ΠΎ ΡΡΠ°Π½Π·ΠΈΡΡΠΎΡΠ° Π’Π°ΠΊΠΈΠΌ ΠΎΠ±ΡΠ°Π·ΠΎΠΌ:
Π Π΄Π°Π½Π½ΠΎΠΌ ΡΠ»ΡΡΠ°Π΅ Π½Π΅ΠΎΠ±Ρ ΠΎΠ΄ΠΈΠΌΠΎ ΠΏΠΎΠ²ΡΡΠΈΡΡ ΠΏΠΎΡΠΎΠ³ ΠΊΡΠΈΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠΉ ΠΏΠ»ΠΎΡΠ½ΠΎΡΡΠΈ ΡΠΎΠΊΠ° ΠΏΡΡΡΠΌ ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅Π½Π΅Π½ΠΈΡ Π΄ΡΡΠ³ΠΎΠ³ΠΎ ΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠ° Π²ΠΌΠ΅ΡΡΠΎ Π°Π»ΡΠΌΠΈΠ½ΠΈΠ΅Π²ΠΎΠ³ΠΎ (Π½Π°ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅Ρ, ΠΌΠ΅Π΄Π½ΠΎΠ³ΠΎ, Ρ.ΠΊ. ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅Π½Π΅Π½ΠΈΠ΅ Π»Π΅Π³ΠΈΡΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΡ Π°Π»ΡΠΌΠΈΠ½ΠΈΡ ΠΌΠ΅Π΄ΡΡ ΠΈΠ»ΠΈ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΠ΅ΠΌ 0,5 — 1% Π½Π΅ Π΄Π°ΡΡ Π½ΡΠΆΠ½ΠΎΠ³ΠΎ ΡΠ΅Π·ΡΠ»ΡΡΠ°ΡΠ°). Π’ΠΎΠ³Π΄Π° ΠΏΠΎΡΠΎΠ³ ΠΊΡΠΈΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠΉ ΠΏΠ»ΠΎΡΠ½ΠΎΡΡΠΈ ΡΠΎΠΊΠ°, Π²ΡΠ·ΡΠ²Π°ΡΡΠ΅Π³ΠΎ ΡΠ²Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠΌΠΈΠ³ΡΠ°ΡΠΈΠΈ, ΠΏΠΎΠ²ΡΡΠΈΡΡΡ Π½Π° ΠΏΠΎΡΡΠ΄ΠΎΠΊ ΠΈ ΡΠΎΡΡΠ°Π²ΠΈΡ:
3.7 Π Π°ΡΡΡΡ ΠΏΠ»ΠΎΡΠ°Π΄ΠΈ, Π·Π°Π½ΠΈΠΌΠ°Π΅ΠΌΠΎΠΉ ΠΌΠ΅ΠΆΡΠΎΠ΅Π΄ΠΈΠ½Π΅Π½ΠΈΡΠΌΠΈ ΠΊΡΠΈΡΡΠ°Π»Π»Π° ΠΡΠΈ ΠΎΠΏΡΠΈΠΌΠ°Π»ΡΠ½ΠΎΠΌ ΡΠ°Π·ΠΌΠ΅ΡΠ΅Π½ΠΈΠΈ Π»ΠΎΠ³ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΡ ΡΠ»Π΅ΠΌΠ΅Π½ΡΠΎΠ²:
ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠΉ ΠΏΠΎΠ»Π΅ ΠΌΠ΅ΠΆΡΠΎΠ΅Π΄ΠΈΠ½Π΅Π½ΠΈΠ΅ ΡΡΠ°Π½Π·ΠΈΡΡΠΎΡ ΠΡΠΈΠ½ΠΈΠΌΠ°Ρ ΡΡΠ»ΠΎΠ²Π½ΠΎ ΠΌΠ°Π³ΠΈΡΡΡΠ°Π»ΡΠ½ΡΠΉ ΡΠΏΠΎΡΠΎΠ± ΠΏΠ΅ΡΠ΅Π΄Π°ΡΠΈ ΠΈΠ½ΡΠΎΡΠΌΠ°ΡΠΈΠΈ ΠΌΠ΅ΠΆΠ΄Ρ ΡΠ»Π΅ΠΌΠ΅Π½ΡΠ°ΠΌΠΈ Π΄Π»Ρ ΠΏΠΎΠ»ΡΡΠ΅Π½ΠΈΡ ΠΌΠΈΠ½ΠΈΠΌΠ°Π»ΡΠ½ΠΎΠ³ΠΎ ΡΠΈΡΠ»Π° Π»ΠΈΠ½ΠΈΠΉ ΡΠ²ΡΠ·ΠΈ:
Π³Π΄Π΅ — ΡΠΈΡΠ»ΠΎ Π»ΠΈΠ½ΠΈΠΉ ΡΠ²ΡΠ·ΠΈ Π² ΠΌΠ°Π³ΠΈΡΡΡΠ°Π»ΠΈ.
ΠΠ»Ρ ΠΏΡΠΎΡΡΠΎΡΡ ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎ ΡΡΠΈΡΠ°ΡΡ, ΡΡΠΎ .
3.8 ΠΡΠ΅Π½ΠΊΠ° ΡΠΈΡΠ»Π° ΡΠ»ΠΎΠ΅Π² ΠΌΠ΅ΡΠ°Π»Π»ΠΈΠ·Π°ΡΠΈΠΈ, Π² ΠΊΠΎΡΠΎΡΡΡ ΠΌΠΎΠΆΠ΅Ρ Π±ΡΡΡ ΡΠ΅Π°Π»ΠΈΠ·ΠΎΠ²Π°Π½Π° ΡΠ°ΡΡΡΡΠ½Π°Ρ ΡΠΎΠΏΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΡ ΡΠΎΠ΅Π΄ΠΈΠ½Π΅Π½ΠΈΠΉ Π³Π΄Π΅ — ΡΠΈΡΠ»ΠΎ ΡΠ»ΠΎΠ΅Π²,
— ΡΡΡΠ΅ΠΊΡΠΈΠ²Π½Π°Ρ ΠΏΠ»ΠΎΡΠ°Π΄Ρ ΠΊΡΠΈΡΡΠ°Π»Π»Π°.
ΠΠΎΠ»ΡΡΠ΅Π½Π½ΠΎΠ΅ ΠΊΠΎΠ»ΠΈΡΠ΅ΡΡΠ²ΠΎ ΡΠ»ΠΎΠ΅Π² ΠΌΠ΅ΡΠ°Π»Π»ΠΈΠ·Π°ΡΠΈΠΈ Π±ΠΎΠ»ΡΡΠ΅ Π΄ΠΎΠΏΡΡΡΠΈΠΌΠΎΠ³ΠΎ. ΠΠΎΡΡΠΎΠΌΡ ΠΏΠΎΠΏΡΠΎΠ±ΡΠ΅ΠΌ ΡΠΌΠ΅Π½ΡΡΠ΅Π½ΠΈΠ΅ ΡΠ°Π³Π° ΡΡΠ°ΡΡ ΠΌΠ΅ΡΠ°Π»Π»ΠΈΠ·Π°ΡΠΈΠΈ. ΠΡΠΈΠΌΠ΅ΠΌ .
Π’ΠΎΠ³Π΄Π°
ΠΈ ΠΡΠΈ ΡΡΠΎΠΌ:
ΠΠ»ΠΎΡΠ°Π΄Ρ ΡΠ΅ΡΠ΅Π½ΠΈΡ ΠΌΠ΅ΡΠ°Π»Π»ΠΈΠ·Π°ΡΠΈΠΈ ΡΠΌΠ΅Π½ΡΡΠ°Π΅ΡΡΡ Π½Π° ΠΊΠΎΡΡΡΠΈΡΠΈΠ΅Π½Ρ, Π° ΠΏΠ»ΠΎΡΠ½ΠΎΡΡΡ ΡΠΎΠΊΠ° ΡΠ²Π΅Π»ΠΈΡΠΈΠ²Π°Π΅ΡΡΡ Π½Π° ΡΡΠΎΡ ΠΆΠ΅ ΠΊΠΎΡΡΡΠΈΡΠΈΠ΅Π½Ρ. ΠΠΎΠ»ΡΡΠ°Π΅ΠΌ ΡΡΠΎ ΡΠΊΠ»Π°Π΄ΡΠ²Π°Π΅ΡΡΡ Π² Π·Π°Π΄Π°Π½Π½ΡΠ΅ ΠΏΠ°ΡΠ°ΠΌΠ΅ΡΡΡ.
ΠΠ΅ΡΡΡΡΠΉ ΡΠ»ΠΎΠΉ ΠΎΡΡΠ°ΡΡΡΡ ΡΠ²ΠΎΠ±ΠΎΠ΄Π½ΡΠΌ, Π½Π° ΠΊΠΎΡΠΎΡΠΎΠΌ ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎ ΡΠ°Π·ΠΌΠ΅ΡΡΠΈΡΡ ΠΊΠΎΠ½ΡΠ°ΠΊΡΠ½ΡΠ΅ ΠΏΠ»ΠΎΡΠ°Π΄ΠΊΠΈ ΠΈ ΡΠ°ΡΡΡ ΡΠ°Π·Π²ΠΎΠ΄ΠΊΠΈ, Π΄Π»Ρ ΡΠ°Π·Π³ΡΡΠ·ΠΊΠΈ Π½ΠΈΠΆΠ½ΠΈΡ ΡΠ»ΠΎΡΠ², Ρ Π±ΠΎΠ»ΡΡΠΈΠΌ ΡΠ°Π³ΠΎΠΌ.
3.9 ΠΠΏΡΠ΅Π΄Π΅Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ ΡΡΠ΅Π΄Π½Π΅ΠΉ Π΄Π»ΠΈΠ½Ρ ΡΠ²ΡΠ·ΠΈ ΠΏΡΠΈ ΠΎΠΏΡΠΈΠΌΠ°Π»ΡΠ½ΠΎΠΌ ΡΠ°Π·ΠΌΠ΅ΡΠ΅Π½ΠΈΠΈ ΡΠ»Π΅ΠΌΠ΅Π½ΡΠΎΠ² Π½Π° ΠΊΡΠΈΡΡΠ°Π»Π»Π΅
3.10 ΠΠΏΡΠ΅Π΄Π΅Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΎΠ±ΡΠ΅ΠΉ Π΄Π»ΠΈΠ½Ρ ΠΌΠ΅ΠΆΡΠΎΠ΅Π΄ΠΈΠ½Π΅Π½ΠΈΠΉ
3.11 ΠΠΏΡΠ΅Π΄Π΅Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ ΡΠΎΠΏΡΠΎΡΠΈΠ²Π»Π΅Π½ΠΈΡ ΠΏΠ»Π΅Π½ΠΎΡΠ½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠ° Π΄Π»ΠΈΠ½ΠΎΠΉ
3.12 Π Π°ΡΡΡΡ ΡΠΎΠΏΡΠΎΡΠΈΠ²Π»Π΅Π½ΠΈΡ ΠΌΠ΅ΠΆΡΠ»ΠΎΠΉΠ½ΠΎΠΉ ΠΏΠ΅ΡΠ΅ΠΌΡΡΠΊΠΈ Π³Π΄Π΅ — ΡΠ΄Π΅Π»ΡΠ½ΠΎΠ΅ ΡΠΎΠΏΡΠΎΡΠΈΠ²Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ Π²ΠΎΠ»ΡΡΡΠ°ΠΌΠ°,
— Π³Π»ΡΠ±ΠΈΠ½Π° ΠΏΠ΅ΡΠ΅ΠΌΡΡΠΊΠΈ.
3.13 Π Π°ΡΡΡΡ Π²Π·Π°ΠΈΠΌΠΎΠΈΠ½Π΄ΡΠΊΡΠΈΠ²Π½ΠΎΡΡΠΈ
3.14 Π Π°ΡΡΡΡ ΠΏΠ°ΡΠ°Π·ΠΈΡΠ½ΡΡ Π΅ΠΌΠΊΠΎΡΡΠ΅ΠΉ ΠΌΠ΅ΠΆΡΠΎΠ΅Π΄ΠΈΠ½Π΅Π½ΠΈΠΉ Π³Π΄Π΅ .
3.15 Π Π°ΡΡΡΡ ΠΎΠ±ΡΠ΅ΠΉ ΠΏΠ°ΡΠ°Π·ΠΈΡΠ½ΠΎΠΉ Π΅ΠΌΠΊΠΎΡΡΠΈ
3.16 Π Π°ΡΡΠ΅Ρ ΠΎΠ±ΡΠ΅Π³ΠΎ ΡΠΊΠ²ΠΈΠ²Π°Π»Π΅Π½ΡΠ½ΠΎΠ³ΠΎ ΡΠΎΠΏΡΠΎΡΠΈΠ²Π»Π΅Π½ΠΈΡ
3.17 ΠΠΊΠ²ΠΈΠ²Π°Π»Π΅Π½ΡΠ½ΠΎΠ΅ Π²ΡΠ΅ΠΌΡ Π·Π°Π΄Π΅ΡΠΆΠΊΠΈ Π½Π° ΠΏΠ°ΡΠ°Π·ΠΈΡΠ½ΡΡ RC-ΡΠ΅ΠΏΡΡ
3.18 ΠΠΊΠ²ΠΈΠ²Π°Π»Π΅Π½ΡΠ½ΠΎΠ΅ Π²ΡΠ΅ΠΌΡ Π·Π°Π΄Π΅ΡΠΆΠΊΠΈ Π½Π° ΠΏΠ°ΡΠ°Π·ΠΈΡΠ½ΠΎΠΉ ΠΈΠ½Π΄ΡΠΊΡΠΈΠ²Π½ΠΎΡΡΠΈ
3.19 Π‘ΡΠ°Π²Π½Π΅Π½ΠΈΠ΅ Π·Π°Π΄Π΅ΡΠΆΠ΅ΠΊ
,
ΠΠ°ΠΈΠ±ΠΎΠ»ΡΡΠ΅Π΅ Π·Π½Π°ΡΠ΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΈΠΌΠ΅Π΅Ρ Π²ΡΠ΅ΠΌΡ Π·Π°Π΄Π΅ΡΠΆΠΊΠΈ Π½Π° ΠΏΠ°ΡΠ°Π·ΠΈΡΠ½ΠΎΠΉ ΠΈΠ½Π΄ΡΠΊΡΠΈΠ²Π½ΠΎΡΡΠΈ.
4. Π’Π΅Ρ Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠ°Ρ ΡΠ°ΡΡΡ Π’Π΅Ρ Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠ΅ ΡΡΠ°ΠΏΡ ΠΏΡΠΎΠΈΠ·Π²ΠΎΠ΄ΡΡΠ²Π° ΡΠ°ΠΌΠΈΡ ΠΌΠΈΠΊΡΠΎΠΏΡΠΎΡΠ΅ΡΡΠΎΡΠΎΠ², ΡΠΎΡΠΌΠΈΡΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ ΠΌΠΈΠΊΡΠΎΡΡ Π΅ΠΌ Π² ΠΏΡΠΎΡΡΠ΅ΠΉΡΠ΅ΠΌ ΡΠ»ΡΡΠ°Π΅ Π²ΠΊΠ»ΡΡΠ°Π΅Ρ ΡΠ»Π΅Π΄ΡΡΡΠΈΠ΅ ΠΎΠ±ΡΠ·Π°ΡΠ΅Π»ΡΠ½ΡΠ΅ ΡΡΠ°ΠΏΡ ΠΏΡΠΎΠΈΠ·Π²ΠΎΠ΄ΡΡΠ²Π°:
— Π²ΡΡΠ°ΡΠΈΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΠ΅Π²ΡΡ Π·Π°Π³ΠΎΡΠΎΠ²ΠΎΠΊ ΠΈ ΠΏΠΎΠ»ΡΡΠ΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΈΠ· Π½ΠΈΡ ΠΏΠ»Π°ΡΡΠΈΠ½;
— ΡΠ»ΠΈΡΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΠ΅Π²ΡΡ ΠΏΠ»Π°ΡΡΠΈΠ½;
— Π½Π°Π½Π΅ΡΠ΅Π½ΠΈΠ΅ Π·Π°ΡΠΈΡΠ½ΠΎΠΉ ΠΏΠ»Π΅Π½ΠΊΠΈ Π΄ΠΈΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΈΠΊΠ° (SiO2);
— Π½Π°Π½Π΅ΡΠ΅Π½ΠΈΠ΅ ΡΠΎΡΠΎΡΠ΅Π·ΠΈΡΡΠ°;
— Π»ΠΈΡΠΎΠ³ΡΠ°ΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠΉ ΠΏΡΠΎΡΠ΅ΡΡ;
— ΡΡΠ°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅;
— Π΄ΠΈΡΡΡΠ·ΠΈΡ;
— ΠΌΠ΅ΡΠ°Π»Π»ΠΈΠ·Π°ΡΠΈΡ.
ΠΡΠ΅ ΠΏΠ΅ΡΠ΅ΡΠΈΡΠ»Π΅Π½Π½ΡΠ΅ ΡΡΠ°ΠΏΡ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΡΡΡΡΡ Π΄Π»Ρ ΡΠΎΠ³ΠΎ, ΡΡΠΎΠ±Ρ ΡΠΎΠ·Π΄Π°ΡΡ Π½Π° ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΠ΅Π²ΠΎΠΉ ΠΏΠΎΠ΄Π»ΠΎΠΆΠΊΠ΅ ΡΠ»ΠΎΠΆΠ½ΡΡ ΡΡΡΡΠΊΡΡΡΡ ΠΏΠΎΠ»ΡΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ²ΡΡ ΠΏΠ»Π°Π½Π°ΡΠ½ΡΡ ΡΡΠ°Π½Π·ΠΈΡΡΠΎΡΠΎΠ² (CMOS-ΡΡΠ°Π½Π·ΠΈΡΡΠΎΡΠΎΠ²) ΠΈ ΡΠ²ΡΠ·Π°ΡΡ ΠΈΡ Π΄ΠΎΠ»ΠΆΠ½ΡΠΌ ΠΎΠ±ΡΠ°Π·ΠΎΠΌ ΠΌΠ΅ΠΆΠ΄Ρ ΡΠΎΠ±ΠΎΠΉ. ΠΠΎΠ»ΠΈΡΠ΅ΡΡΠ²ΠΎ ΡΠ°ΠΊΠΈΡ ΡΡΠ°Π½Π·ΠΈΡΡΠΎΡΠΎΠ² Π½Π° ΠΎΠ΄Π½ΠΎΠΉ ΠΌΠΈΠΊΡΠΎΡΡ Π΅ΠΌΠ΅ ΡΠΆΠ΅ ΡΠ΅Π³ΠΎΠ΄Π½Ρ ΡΠΎΡΡΠ°Π²Π»ΡΠ΅Ρ ΠΌΠΈΠ»Π»ΠΈΠ°ΡΠ΄ ΡΡΡΠΊ, Π° ΡΠ΅ΡΠ΅Π· Π½Π΅ΡΠΊΠΎΠ»ΡΠΊΠΎ Π»Π΅Ρ ΠΈΡ ΡΠΈΡΠ»ΠΎ Π΄ΠΎΡΡΠΈΠ³Π½Π΅Ρ ΡΠΆΠ΅ Π½Π΅ΡΠΊΠΎΠ»ΡΠΊΠΈΡ ΠΌΠΈΠ»Π»ΠΈΠ°ΡΠ΄ΠΎΠ² ΡΡΡΠΊ.
ΠΠΎΡΠ»Π΅ ΡΡΠ°ΡΠ΅Π»ΡΠ½ΠΎΠΉ ΠΏΠΎΠ»ΠΈΡΠΎΠ²ΠΊΠΈ ΠΏΠΎΠ²Π΅ΡΡ Π½ΠΎΡΡΠΈ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΠ΅Π²ΠΎΠΉ ΠΏΠΎΠ΄Π»ΠΎΠΆΠΊΠΈ Π΅Π΅ ΠΏΠΎΠΊΡΡΠ²Π°ΡΡ ΡΠΎΠ½ΡΠ°ΠΉΡΠΈΠΌ ΡΠ»ΠΎΠ΅ΠΌ ΠΎΠΊΡΠΈΠ΄Π½ΠΎΠΉ ΠΏΠ»Π΅Π½ΠΊΠΈ (SiO2), Π²ΡΠΏΠΎΠ»Π½ΡΡΡΠ΅ΠΉ ΡΡΠ½ΠΊΡΠΈΡ Π΄ΠΈΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΈΠΊΠ° ΠΈ Π·Π°ΡΠΈΡΠ½ΠΎΠΉ ΠΏΠ»Π΅Π½ΠΊΠΈ ΠΏΡΠΈ Π΄Π°Π»ΡΠ½Π΅ΠΉΡΠ΅ΠΉ ΠΎΠ±ΡΠ°Π±ΠΎΡΠΊΠ΅ ΠΊΡΠΈΡΡΠ°Π»Π»Π° ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΡ. ΠΠΈΠΎΠΊΡΠΈΠ΄ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΡ ΠΏΠΎΠ»ΡΡΠ°ΡΡ ΠΏΡΡΠ΅ΠΌ ΠΎΠΊΠΈΡΠ»Π΅Π½ΠΈΡ Π½Π΅ΠΏΠΎΡΡΠ΅Π΄ΡΡΠ²Π΅Π½Π½ΠΎ ΡΠΈΡΡΡΠΌ ΠΊΠΈΡΠ»ΠΎΡΠΎΠ΄ΠΎΠΌ ΠΏΡΠΈ Π²ΡΡΠΎΠΊΠΈΡ ΡΠ΅ΠΌΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΡΡΠ΅ ΠΈ Π΄Π°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΠΈ. ΠΠ»Π°ΡΡΠΈΠ½Ρ ΠΏΠΎΠΌΠ΅ΡΠ°ΡΡ Π² ΠΊΠ°ΠΌΠ΅ΡΡ, Π³Π΄Π΅ ΠΏΡΠΈ Π²ΡΡΠΎΠΊΠΈΡ ΡΠ΅ΠΌΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΡΡΠ΅ ΠΈ Π΄Π°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΠΈ ΠΏΡΠΎΠΈΡΡ ΠΎΠ΄ΠΈΡ Π΄ΠΈΡΡΡΠ·ΠΈΡ ΠΊΠΈΡΠ»ΠΎΡΠΎΠ΄Π° Π² ΠΏΠΎΠ²Π΅ΡΡ Π½ΠΎΡΡΠ½ΡΠ΅ ΡΠ»ΠΎΠΈ ΠΏΠ»Π°ΡΡΠΈΠ½Ρ, ΠΏΡΠΈΠ²ΠΎΠ΄ΡΡΠ°Ρ ΠΊ ΠΎΠΊΠΈΡΠ»Π΅Π½ΠΈΡ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΡ ΠΈ ΠΊ ΠΎΠ±ΡΠ°Π·ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΡ ΠΏΠΎΠ²Π΅ΡΡ Π½ΠΎΡΡΠ½ΠΎΠΉ ΠΏΠ»Π΅Π½ΠΊΠΈ Π΄ΠΈΠΎΠΊΡΠΈΠ΄Π° ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΡ. ΠΠ»Ρ ΡΠΎΠ³ΠΎ ΡΡΠΎΠ±Ρ ΠΏΠ»Π΅Π½ΠΊΠ° Π΄ΠΈΠΎΠΊΡΠΈΠ΄Π° ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΡ ΠΈΠΌΠ΅Π»Π° ΡΠΎΡΠ½ΠΎ Π·Π°Π΄Π°Π½Π½ΡΡ ΡΠΎΠ»ΡΠΈΠ½Ρ ΠΈ Π½Π΅ ΡΠΎΠ΄Π΅ΡΠΆΠ°Π»Π° Π΄Π΅ΡΠ΅ΠΊΡΠΎΠ², Π½Π΅ΠΎΠ±Ρ ΠΎΠ΄ΠΈΠΌΠΎ ΠΏΠΎΠ΄Π΄Π΅ΡΠΆΠΈΠ²Π°ΡΡ ΡΡΡΠΎΠ³ΠΎ ΠΏΠΎΡΡΠΎΡΠ½Π½ΡΡ ΡΠ΅ΠΌΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΡΡΡ Π²ΠΎ Π²ΡΠ΅Ρ ΡΠΎΡΠΊΠ°Ρ ΠΏΠ»Π°ΡΡΠΈΠ½Ρ Π² ΠΏΡΠΎΡΠ΅ΡΡΠ΅ ΠΎΠΊΠΈΡΠ»Π΅Π½ΠΈΡ. ΠΠΎΡΠ»Π΅ ΡΠΎΠ³ΠΎ ΠΊΠ°ΠΊ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΠ΅Π²Π°Ρ ΠΏΠΎΠ΄Π»ΠΎΠΆΠΊΠ° ΠΏΠΎΠΊΡΠΎΠ΅ΡΡΡ Π·Π°ΡΠΈΡΠ½ΠΎΠΉ ΠΏΠ»Π΅Π½ΠΊΠΎΠΉ Π΄ΠΈΠΎΠΊΡΠΈΠ΄Π° ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΡ, Π½Π΅ΠΎΠ±Ρ ΠΎΠ΄ΠΈΠΌΠΎ ΡΠ΄Π°Π»ΠΈΡΡ ΡΡΡ ΠΏΠ»Π΅Π½ΠΊΡ Ρ ΡΠ΅Ρ ΠΌΠ΅ΡΡ, ΠΊΠΎΡΠΎΡΡΠ΅ Π±ΡΠ΄ΡΡ ΠΏΠΎΠ΄Π²Π΅ΡΠ³Π°ΡΡΡΡ Π΄Π°Π»ΡΠ½Π΅ΠΉΡΠ΅ΠΉ ΠΎΠ±ΡΠ°Π±ΠΎΡΠΊΠ΅. Π£Π΄Π°Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΏΠ»Π΅Π½ΠΊΠΈ ΠΎΡΡΡΠ΅ΡΡΠ²Π»ΡΠ΅ΡΡΡ ΠΏΠΎΡΡΠ΅Π΄ΡΡΠ²ΠΎΠΌ ΡΡΠ°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΡ, Π° Π΄Π»Ρ ΡΠΎΠ³ΠΎ, ΡΡΠΎΠ±Ρ Π² ΡΠ΅Π·ΡΠ»ΡΡΠ°ΡΠ΅ ΡΡΠ°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΡ ΠΎΠΊΡΠΈΠ΄Π½Π°Ρ ΠΏΠ»Π΅Π½ΠΊΠ° ΡΠ΄Π°Π»ΡΠ»Π°ΡΡ ΠΈΠ·Π±ΠΈΡΠ°ΡΠ΅Π»ΡΠ½ΠΎ, ΡΠΎ Π΅ΡΡΡ ΡΠΎΠ»ΡΠΊΠΎ Π² Π½ΡΠΆΠ½ΡΡ ΠΌΠ΅ΡΡΠ°Ρ , Π½Π° ΠΏΠΎΠ²Π΅ΡΡ Π½ΠΎΡΡΡ ΠΏΠ»Π΅Π½ΠΊΠΈ Π½Π°Π½ΠΎΡΡΡ ΡΠ»ΠΎΠΉ ΡΠΎΡΠΎΡΠ΅Π·ΠΈΡΡΠ°. Π€ΠΎΡΠΎΡΠ΅Π·ΠΈΡΡ ΠΏΡΠ΅Π΄ΡΡΠ°Π²Π»ΡΠ΅Ρ ΡΠΎΠ±ΠΎΠΉ ΠΎΡΠΎΠ±ΡΠΉ ΡΠΎΡΡΠ°Π², ΠΊΠΎΡΠΎΡΡΠΉ ΠΈΠ·ΠΌΠ΅Π½ΡΠ΅Ρ ΡΠ²ΠΎΠΈ ΡΠ²ΠΎΠΉΡΡΠ²Π° ΠΏΠΎΠ΄ Π²ΠΎΠ·Π΄Π΅ΠΉΡΡΠ²ΠΈΠ΅ΠΌ ΡΠ»ΡΡΡΠ°ΡΠΈΠΎΠ»Π΅ΡΠΎΠ²ΠΎΠ³ΠΎ ΠΈΠ·Π»ΡΡΠ΅Π½ΠΈΡ. ΠΠ±Π»ΡΡΠ΅Π½Π½ΡΠ΅ ΠΎΠ±Π»Π°ΡΡΠΈ ΡΡΠ°Π½ΠΎΠ²ΡΡΡΡ ΡΠ°ΡΡΠ²ΠΎΡΠΈΠΌΡΠΌΠΈ Π² ΠΊΠΈΡΠ»ΠΎΡΠ½ΠΎΠΉ ΡΡΠ΅Π΄Π΅, ΡΠΎΠ³Π΄Π° ΠΊΠ°ΠΊ Π½Π΅ΠΎΠ±Π»ΡΡΠ΅Π½Π½ΡΠ΅ ΠΎΡΡΠ°ΡΡΡΡ ΡΡΡΠΎΠΉΡΠΈΠ²ΡΠΌΠΈ ΠΊ Π²ΠΎΠ·Π΄Π΅ΠΉΡΡΠ²ΠΈΡ Π°Π³ΡΠ΅ΡΡΠΈΠ²Π½ΡΡ ΡΡΠ΅Π΄. ΠΡΠΎΡΠ΅ΡΡ Π½Π°Π½Π΅ΡΠ΅Π½ΠΈΡ ΡΠΎΡΠΎΡΠ΅Π·ΠΈΡΡΠ° ΠΈ Π΅Π³ΠΎ Π΄Π°Π»ΡΠ½Π΅ΠΉΡΠ΅Π΅ ΠΎΠ±Π»ΡΡΠ΅Π½ΠΈΠ΅ ΡΠ»ΡΡΡΠ°ΡΠΈΠΎΠ»Π΅ΡΠΎΠΌ ΠΏΠΎ Π·Π°Π΄Π°Π½Π½ΠΎΠΌΡ ΡΠΈΡΡΠ½ΠΊΡ Π½Π°Π·ΡΠ²Π°Π΅ΡΡΡ Π»ΠΈΡΠΎΠ³ΡΠ°ΡΠΈΠ΅ΠΉ. ΠΠ΅ΡΠ΅Π΄ Π½Π°Π½Π΅ΡΠ΅Π½ΠΈΠ΅ΠΌ ΡΠ»ΠΎΡ ΡΠΎΡΠΎΡΠ΅Π·ΠΈΡΡΠ° Π½Π° ΠΏΠΎΠ΄Π»ΠΎΠΆΠΊΡ ΠΏΠΎΡΠ»Π΅Π΄Π½ΡΡ ΠΏΠΎΠ΄Π²Π΅ΡΠ³Π°Π΅ΡΡΡ ΠΏΡΠ΅Π΄Π²Π°ΡΠΈΡΠ΅Π»ΡΠ½ΠΎΠΉ ΠΎΠ±ΡΠ°Π±ΠΎΡΠΊΠ΅, Π² ΡΠ΅Π·ΡΠ»ΡΡΠ°ΡΠ΅ ΡΠ΅Π³ΠΎ ΡΠ»ΡΡΡΠ°Π΅ΡΡΡ Π΅Π΅ ΡΡΠ΅ΠΏΠ»Π΅Π½ΠΈΠ΅ ΡΠΎ ΡΠ»ΠΎΠ΅ΠΌ ΡΠΎΡΠΎΡΠ΅Π·ΠΈΡΡΠ°. ΠΠ»Ρ Π·Π°ΡΠ²Π΅ΡΠΊΠΈ Π½ΡΠΆΠ½ΡΡ ΡΡΠ°ΡΡΠΊΠΎΠ² ΡΠ»ΠΎΡ ΡΠΎΡΠΎΡΠ΅Π·ΠΈΡΡΠ° ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΡΠ΅ΡΡΡ ΡΠΏΠ΅ΡΠΈΠ°Π»ΡΠ½ΡΠΉ ΡΠ°Π±Π»ΠΎΠ½-ΠΌΠ°ΡΠΊΠ°. Π€Π°ΠΊΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈ ΡΠ°ΠΊΠΎΠΉ ΡΠ°Π±Π»ΠΎΠ½ ΡΠΎΠ΄Π΅ΡΠΆΠΈΡ ΡΠΈΡΡΠ½ΠΎΠΊ ΠΎΠ΄Π½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΈΠ· ΡΠ»ΠΎΠ΅Π² Π±ΡΠ΄ΡΡΠ΅ΠΉ ΠΌΠΈΠΊΡΠΎΡΡ Π΅ΠΌΡ. Π£Π»ΡΡΡΠ°ΡΠΈΠΎΠ»Π΅ΡΠΎΠ²ΠΎΠ΅ ΠΈΠ·Π»ΡΡΠ΅Π½ΠΈΠ΅, ΠΏΡΠΎΡ ΠΎΠ΄Ρ ΡΠΊΠ²ΠΎΠ·Ρ ΡΠ°ΠΊΠΎΠΉ ΡΠ°Π±Π»ΠΎΠ½, Π·Π°ΡΠ²Π΅ΡΠΈΠ²Π°Π΅Ρ ΡΠΎΠ»ΡΠΊΠΎ Π½ΡΠΆΠ½ΡΠ΅ ΡΡΠ°ΡΡΠΊΠΈ ΠΏΠΎΠ²Π΅ΡΡ Π½ΠΎΡΡΠΈ ΡΠ»ΠΎΡ ΡΠΎΡΠΎΡΠ΅Π·ΠΈΡΡΠ°. ΠΠΎΡΠ»Π΅ ΠΎΠ±Π»ΡΡΠ΅Π½ΠΈΡ ΡΠΎΡΠΎΡΠ΅Π·ΠΈΡΡ ΠΏΠΎΠ΄Π²Π΅ΡΠ³Π°Π΅ΡΡΡ ΠΏΡΠΎΡΠ²Π»Π΅Π½ΠΈΡ, Π² ΡΠ΅Π·ΡΠ»ΡΡΠ°ΡΠ΅ ΠΊΠΎΡΠΎΡΠΎΠ³ΠΎ ΡΠ΄Π°Π»ΡΡΡΡΡ Π½Π΅Π½ΡΠΆΠ½ΡΠ΅ ΡΡΠ°ΡΡΠΊΠΈ ΡΠ»ΠΎΡ. ΠΡΠΈ ΡΡΠΎΠΌ ΠΎΡΠΊΡΡΠ²Π°Π΅ΡΡΡ ΡΠΎΠΎΡΠ²Π΅ΡΡΡΠ²ΡΡΡΠ°Ρ ΡΠ°ΡΡΡ ΡΠ»ΠΎΡ Π΄ΠΈΠΎΠΊΡΠΈΠ΄Π° ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΡ. ΠΠΎ ΠΌΠ΅ΡΠ΅ ΡΠΊΡΠΏΠΎΠ½Π΅Π½ΡΠΈΠ°Π»ΡΠ½ΠΎΠ³ΠΎ Π²ΠΎΠ·ΡΠ°ΡΡΠ°Π½ΠΈΡ ΠΏΠ»ΠΎΡΠ½ΠΎΡΡΠΈ ΡΠ°Π·ΠΌΠ΅ΡΠ΅Π½ΠΈΡ ΡΡΠ°Π½Π·ΠΈΡΡΠΎΡΠΎΠ², ΡΠΎΡΠΌΠΈΡΡΠ΅ΠΌΡΡ Π² ΠΊΡΠΈΡΡΠ°Π»Π»Π΅, ΡΡΠ»ΠΎΠΆΠ½ΡΠ΅ΡΡΡ ΠΈ Π»ΠΈΡΠΎΠ³ΡΠ°ΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠΉ ΠΏΡΠΎΡΠ΅ΡΡ. ΠΠ΅Π»ΠΎ Π² ΡΠΎΠΌ, ΡΡΠΎ ΠΏΡΠΎΡΠ΅ΡΡ ΡΠΌΠ΅Π½ΡΡΠ΅Π½ΠΈΡ Π³Π΅ΠΎΠΌΠ΅ΡΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΡ ΡΠ°Π·ΠΌΠ΅ΡΠΎΠ² ΡΡΠ°Π½Π·ΠΈΡΡΠΎΡΠΎΠ² ΡΠΎΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠΆΠ΄Π°Π΅ΡΡΡ ΠΈ ΡΠΌΠ΅Π½ΡΡΠ΅Π½ΠΈΠ΅ΠΌ ΡΠ°Π·ΠΌΠ΅ΡΠΎΠ² Π»ΠΈΠ½ΠΈΠΉ, Π½Π°Π½ΠΎΡΠΈΠΌΡΡ Π½Π° ΡΠ»ΠΎΠΉ ΡΠΎΡΠΎΡΠ΅Π·ΠΈΡΡΠ°. ΠΠΈΠ½ΠΈΠΌΠ°Π»ΡΠ½Π°Ρ ΡΠΎΠ»ΡΠΈΠ½Π° Π»ΠΈΠ½ΠΈΠΈ, ΠΏΠΎΠ»ΡΡΠ°Π΅ΠΌΠ°Ρ Π² ΠΏΡΠΎΡΠ΅ΡΡΠ΅ Π»ΠΈΡΠΎΠ³ΡΠ°ΡΠΈΠΈ, ΠΎΠΏΡΠ΅Π΄Π΅Π»ΡΠ΅ΡΡΡ ΡΠ°Π·ΠΌΠ΅ΡΠΎΠΌ ΠΏΡΡΠ½Π°, Π² ΠΊΠΎΡΠΎΡΡΠΉ ΡΠ΄Π°Π΅ΡΡΡ ΡΡΠΎΠΊΡΡΠΈΡΠΎΠ²Π°ΡΡ Π»Π°Π·Π΅ΡΠ½ΡΠΉ Π»ΡΡ. ΠΠΎΠΌΠΈΠΌΠΎ ΠΏΡΠΎΡΠΈΡ ΡΠ°ΠΊΡΠΎΡΠΎΠ² ΡΠ°Π·ΠΌΠ΅Ρ ΠΏΡΡΠ½Π° ΡΠΎΠΊΡΡΠΈΡΠΎΠ²ΠΊΠΈ Π·Π°Π²ΠΈΡΠΈΡ ΠΎΡ Π΄Π»ΠΈΠ½Ρ Π²ΠΎΠ»Π½Ρ, ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΡΠ΅ΠΌΠΎΠΉ Π² ΠΎΠ±Π»ΡΡΠ΅Π½ΠΈΠΈ ΡΠΎΡΠΎΡΠ΅Π·ΠΈΡΡΠ°. Π§Π΅ΠΌ ΠΌΠ΅Π½ΡΡΠ΅ Π΄Π»ΠΈΠ½Π° Π²ΠΎΠ»Π½Ρ, ΡΠ΅ΠΌ Π±ΠΎΠ»Π΅Π΅ ΡΠΎΠ½ΠΊΠΈΠ΅ Π»ΠΈΠ½ΠΈΠΈ ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎ ΠΏΠΎΠ»ΡΡΠΈΡΡ Π½Π° ΠΏΠΎΠ²Π΅ΡΡ Π½ΠΎΡΡΠΈ ΡΠΎΡΠΎΡΠ΅Π·ΠΈΡΡΠ°. ΠΠΌΠ΅Π½Π½ΠΎ ΠΏΠΎΡΡΠΎΠΌΡ ΠΏΡΠΈ ΠΏΡΠΎΠΈΠ·Π²ΠΎΠ΄ΡΡΠ²Π΅ ΡΠΎΠ²ΡΠ΅ΠΌΠ΅Π½Π½ΡΡ ΠΌΠΈΠΊΡΠΎΠΏΡΠΎΡΠ΅ΡΡΠΎΡΠΎΠ² Π΄Π»Ρ ΠΎΠ±Π»ΡΡΠ΅Π½ΠΈΡ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΡΡΡ ΡΠ»ΡΡΡΠ°ΡΠΈΠΎΠ»Π΅ΡΠΎΠ²ΠΎΠ΅, Π° Π½Π΅ Π²ΠΈΠ΄ΠΈΠΌΠΎΠ΅ ΠΈΠ·Π»ΡΡΠ΅Π½ΠΈΠ΅ (Π΄Π»ΠΈΠ½Π° Π²ΠΎΠ»Π½Ρ Π²ΠΈΠ΄ΠΈΠΌΠΎΠ³ΠΎ ΡΠ²Π΅ΡΠ° Π±ΠΎΠ»ΡΡΠ΅ Π΄Π»ΠΈΠ½Ρ Π²ΠΎΠ»Π½Ρ ΡΠ»ΡΡΡΠ°ΡΠΈΠΎΠ»Π΅ΡΠΎΠ²ΠΎΠ³ΠΎ ΠΈΠ·Π»ΡΡΠ΅Π½ΠΈΡ). Π Π½Π°ΡΡΠΎΡΡΠ΅Π΅ Π²ΡΠ΅ΠΌΡ Π΄Π»Ρ ΠΏΡΠΎΠΈΠ·Π²ΠΎΠ΄ΡΡΠ²Π° ΠΌΠΈΠΊΡΠΎΡΡ Π΅ΠΌ ΠΏΠΎ 130-Π½Π°Π½ΠΎΠΌΠ΅ΡΡΠΎΠ²ΠΎΠΌΡ ΡΠ΅Ρ Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠΌΡ ΠΏΡΠΎΡΠ΅ΡΡΡ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΡΠ΅ΡΡΡ Π³Π»ΡΠ±ΠΎΠΊΠΎΠ΅ ΡΠ»ΡΡΡΠ°ΡΠΈΠΎΠ»Π΅ΡΠΎΠ²ΠΎΠ΅ ΠΈΠ·Π»ΡΡΠ΅Π½ΠΈΠ΅ (Deep UltraViolet, DUV) Ρ Π΄Π»ΠΈΠ½ΠΎΠΉ Π²ΠΎΠ»Π½Ρ 248 Π½ΠΌ. ΠΠ° ΠΏΠΎΠ΄Ρ ΠΎΠ΄Π΅ Π»ΠΈΡΠΎΠ³ΡΠ°ΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠΉ ΠΏΡΠΎΡΠ΅ΡΡ Ρ Π΄Π»ΠΈΠ½ΠΎΠΉ Π²ΠΎΠ»Π½Ρ 13 Π½ΠΌ, ΠΏΠΎΠ»ΡΡΠΈΠ²ΡΠΈΠΉ Π½Π°Π·Π²Π°Π½ΠΈΠ΅ ΠU/-Π»ΠΈΡΠΎΠ³ΡΠ°ΡΠΈΠΈ (Extreme UltraViolet — ΡΠ²Π΅ΡΡ ΠΆΠ΅ΡΡΠΊΠΎΠ΅ ΡΠ»ΡΡΡΠ°ΡΠΈΠΎΠ»Π΅ΡΠΎΠ²ΠΎΠ΅ ΠΈΠ·Π»ΡΡΠ΅Π½ΠΈΠ΅). ΠΡΠ»ΠΈ ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅Π½ΡΠ΅ΠΌΠ°Ρ ΡΠ΅ΠΉΡΠ°Ρ Π»ΠΈΡΠΎΠ³ΡΠ°ΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠ°Ρ ΡΠ΅Ρ Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΡ ΠΏΠΎΠ·Π²ΠΎΠ»ΡΠ΅Ρ Π½Π°Π½ΠΎΡΠΈΡΡ ΡΠ°Π±Π»ΠΎΠ½ Ρ ΠΌΠΈΠ½ΠΈΠΌΠ°Π»ΡΠ½ΠΎΠΉ ΡΠΈΡΠΈΠ½ΠΎΠΉ ΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ² 100 Π½ΠΌ, ΡΠΎ EUV-Π»ΠΈΡΠΎΠ³ΡΠ°ΡΠΈΡ Π΄Π΅Π»Π°Π΅Ρ Π²ΠΎΠ·ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎΠΉ ΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΡ Π»ΠΈΠ½ΠΈΠΉ Π³ΠΎΡΠ°Π·Π΄ΠΎ ΠΌΠ΅Π½ΡΡΠ΅ΠΉ ΡΠΈΡΠΈΠ½Ρ — Π΄ΠΎ 30 Π½ΠΌ. ΠΠΎΡΠ»Π΅ Π·Π°ΡΠ²Π΅ΡΠΈΠ²Π°Π½ΠΈΡ ΡΠ»ΠΎΡ ΡΠΎΡΠΎΡΠ΅Π·ΠΈΡΡΠ° ΠΏΡΠΈΡ ΠΎΠ΄ΠΈΡ ΠΎΡΠ΅ΡΠ΅Π΄Ρ ΡΡΠ°ΠΏΠ° ΡΡΠ°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΡ (etching) Ρ ΡΠ΅Π»ΡΡ ΡΠ΄Π°Π»Π΅Π½ΠΈΡ ΠΏΠ»Π΅Π½ΠΊΠΈ Π΄ΠΈΠΎΠΊΡΠΈΠ΄Π° ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΡ. ΠΡΠΈ ΠΏΡΠΎΠΈΠ·Π²ΠΎΠ΄ΡΡΠ²Π΅ ΠΏΡΠΎΡΠ΅ΡΡΠΎΡΠΎΠ² ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΡΠ΅ΡΡΡ ΡΡΡ ΠΎΠΉ ΠΌΠ΅ΡΠΎΠ΄ ΡΡΠ°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΡ, ΡΠ°ΠΊΠΆΠ΅ Π½Π°Π·ΡΠ²Π°Π΅ΠΌΡΠΉ ΠΏΠ»Π°Π·ΠΌΠ΅Π½Π½ΡΠΌ. Π’Π°ΠΊΠΎΠΉ ΠΌΠ΅ΡΠΎΠ΄ ΠΏΠΎΠ·Π²ΠΎΠ»ΡΠ΅Ρ ΡΠΎΡΠ½ΠΎ ΠΊΠΎΠ½ΡΡΠΎΠ»ΠΈΡΠΎΠ²Π°ΡΡ ΠΏΡΠΎΡΠ΅ΡΡ ΡΡΠ°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΡ, Π° ΡΠ°Π·ΡΡΡΠ΅Π½ΠΈΠ΅ Π²ΡΡΡΠ°Π²Π»ΠΈΠ²Π°Π΅ΠΌΠΎΠ³ΠΎ ΡΠ»ΠΎΡ ΠΏΡΠΎΠΈΡΡ ΠΎΠ΄ΠΈΡ Π·Π΄Π΅ΡΡ Π² ΡΡΡΠΎΠ³ΠΎ Π²Π΅ΡΡΠΈΠΊΠ°Π»ΡΠ½ΠΎΠΌ Π½Π°ΠΏΡΠ°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΠΈ. ΠΡΠΈ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠΈ ΡΡΡ ΠΎΠ³ΠΎ ΡΡΠ°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΡ Π΄Π»Ρ ΡΠ΄Π°Π»Π΅Π½ΠΈΡ Ρ ΠΏΠΎΠ²Π΅ΡΡ Π½ΠΎΡΡΠΈ ΠΏΠ»Π°ΡΡΠΈΠ½Ρ Π΄ΠΈΠΎΠΊΡΠΈΠ΄Π° ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΡ ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅Π½ΡΠ΅ΡΡΡ ΠΈΠΎΠ½ΠΈΠ·ΠΈΡΠΎΠ²Π°Π½Π½ΡΠΉ Π³Π°Π· (ΠΏΠ»Π°Π·ΠΌΠ°). ΠΠ°Π· Π²ΡΡΡΠΏΠ°Π΅Ρ Π² ΡΠ΅Π°ΠΊΡΠΈΡ Ρ ΠΏΠΎΠ²Π΅ΡΡ Π½ΠΎΡΡΡΡ Π΄ΠΈΠΎΠΊΡΠΈΠ΄Π° ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΡ, Π² ΡΠ΅Π·ΡΠ»ΡΡΠ°ΡΠ΅ ΡΠ΅Π³ΠΎ ΠΎΠ±ΡΠ°Π·ΡΡΡΡΡ Π»Π΅ΡΡΡΠΈΠ΅ ΠΏΠΎΠ±ΠΎΡΠ½ΡΠ΅ ΠΏΡΠΎΠ΄ΡΠΊΡΡ. ΠΠΎΡΠ»Π΅ ΠΏΡΠΎΡΠ΅Π΄ΡΡΡ ΡΡΠ°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΡ, ΡΠΎ Π΅ΡΡΡ ΠΊΠΎΠ³Π΄Π° ΠΎΠ³ΠΎΠ»Π΅Π½Ρ Π½ΡΠΆΠ½ΡΠ΅ ΠΎΠ±Π»Π°ΡΡΠΈ ΡΠΈΡΡΠΎΠ³ΠΎ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΡ, ΡΠ΄Π°Π»ΡΠ΅ΡΡΡ ΠΎΡΡΠ°Π²ΡΠ°ΡΡΡ ΡΠ°ΡΡΡ ΡΠΎΡΠΎΡΠ»ΠΎΡ. Π’Π°ΠΊΠΈΠΌ ΠΎΠ±ΡΠ°Π·ΠΎΠΌ, Π½Π° ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΠ΅Π²ΠΎΠΉ ΠΏΠΎΠ΄Π»ΠΎΠΆΠΊΠ΅ ΠΎΡΡΠ°Π΅ΡΡΡ ΡΠΈΡΡΠ½ΠΎΠΊ, Π²ΡΠΏΠΎΠ»Π½Π΅Π½Π½ΡΠΉ Π΄ΠΈΠΎΠΊΡΠΈΠ΄ΠΎΠΌ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΡ. ΠΠ°ΠΏΠΎΠΌΠ½ΠΈΠΌ, ΡΡΠΎ ΠΏΡΠ΅Π΄ΡΠ΄ΡΡΠΈΠΉ ΠΏΡΠΎΡΠ΅ΡΡ ΡΠΎΡΠΌΠΈΡΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΡ Π½Π΅ΠΎΠ±Ρ ΠΎΠ΄ΠΈΠΌΠΎΠ³ΠΎ ΡΠΈΡΡΠ½ΠΊΠ° Π½Π° ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΠ΅Π²ΠΎΠΉ ΠΏΠΎΠ΄Π»ΠΎΠΆΠΊΠ΅ Π½Π΅ΠΎΠ±Ρ ΠΎΠ΄ΠΈΠΌ Π΄Π»Ρ ΡΠΎΠ·Π΄Π°Π½ΠΈΡ Π² Π½ΡΠΆΠ½ΡΡ ΠΌΠ΅ΡΡΠ°Ρ ΠΏΠΎΠ»ΡΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ²ΡΡ ΡΡΡΡΠΊΡΡΡ ΠΏΡΡΠ΅ΠΌ Π²Π½Π΅Π΄ΡΠ΅Π½ΠΈΡ Π΄ΠΎΠ½ΠΎΡΠ½ΠΎΠΉ ΠΈΠ»ΠΈ Π°ΠΊΡΠ΅ΠΏΡΠΎΡΠ½ΠΎΠΉ ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅ΡΠΈ. ΠΡΠΎΡΠ΅ΡΡ Π²Π½Π΅Π΄ΡΠ΅Π½ΠΈΡ ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅ΡΠ΅ΠΉ ΠΎΡΡΡΠ΅ΡΡΠ²Π»ΡΠ΅ΡΡΡ ΠΏΠΎΡΡΠ΅Π΄ΡΡΠ²ΠΎΠΌ Π΄ΠΈΡΡΡΠ·ΠΈΠΈ. ΠΠΈΡΡΡΠ·ΠΈΡ — ΡΡΠΎ ΡΠ°Π²Π½ΠΎΠΌΠ΅ΡΠ½ΠΎΠ΅ Π²Π½Π΅Π΄ΡΠ΅Π½ΠΈΠ΅ Π°ΡΠΎΠΌΠΎΠ² ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅ΡΠΈ Π² ΠΊΡΠΈΡΡΠ°Π»Π»ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΡΡ ΡΠ΅ΡΠ΅ΡΠΊΡ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΡ. ΠΠ»Ρ ΠΏΡΠΎΡΠ΅ΡΡΠ° Π΄ΠΈΡΡΡΠ·ΠΈΠΈ Π»Π΅Π³ΠΈΡΡΡΡΠ΅ΠΉ ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅ΡΠΈ ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅Π½ΡΠ΅ΡΡΡ ΠΈΠΎΠ½Π½Π°Ρ ΠΈΠΌΠΏΠ»Π°Π½ΡΠ°ΡΠΈΡ. ΠΡΠΎΡΠ΅ΡΡ ΠΈΠΌΠΏΠ»Π°Π½ΡΠ°ΡΠΈΠΈ Π·Π°ΠΊΠ»ΡΡΠ°Π΅ΡΡΡ Π² ΡΠΎΠΌ, ΡΡΠΎ ΠΈΠΎΠ½Ρ Π½ΡΠΆΠ½ΠΎΠΉ ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅ΡΠΈ «Π²ΡΡΡΡΠ΅Π»ΠΈΠ²Π°ΡΡΡΡ» ΠΈΠ· Π²ΡΡΠΎΠΊΠΎΠ²ΠΎΠ»ΡΡΠ½ΠΎΠ³ΠΎ ΡΡΠΊΠΎΡΠΈΡΠ΅Π»Ρ ΠΈ, ΠΎΠ±Π»Π°Π΄Π°Ρ Π΄ΠΎΡΡΠ°ΡΠΎΡΠ½ΠΎΠΉ ΡΠ½Π΅ΡΠ³ΠΈΠ΅ΠΉ, ΠΏΡΠΎΠ½ΠΈΠΊΠ°ΡΡ Π² ΠΏΠΎΠ²Π΅ΡΡ Π½ΠΎΡΡΠ½ΡΠ΅ ΡΠ»ΠΎΠΈ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΡ. ΠΡΠ°ΠΏ ΠΈΠΎΠ½Π½ΠΎΠΉ ΠΈΠΌΠΏΠ»Π°Π½ΡΠ°ΡΠΈΠΈ Π·Π°Π²Π΅ΡΡΠ°Π΅ΡΡΡ ΡΠΎΠ·Π΄Π°Π½ΠΈΠ΅ΠΌ Π½Π΅ΠΎΠ±Ρ ΠΎΠ΄ΠΈΠΌΠΎΠ³ΠΎ ΡΠ»ΠΎΡ ΠΏΠΎΠ»ΡΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ²ΠΎΠΉ ΡΡΡΡΠΊΡΡΡΡ. ΠΠΌΠ΅Π½Π½ΠΎ Π² ΡΡΠΎΠΌ ΠΏΠ΅ΡΠ²ΠΎΠΌ ΡΠ»ΠΎΠ΅ ΠΈ ΡΠΎΡΡΠ΅Π΄ΠΎΡΠΎΡΠ΅Π½Ρ Π΄Π΅ΡΡΡΠΊΠΈ ΠΌΠΈΠ»Π»ΠΈΠΎΠ½ΠΎΠ² ΠΊΡΠΎΡΠ΅ΡΠ½ΡΡ ΡΡΠ°Π½Π·ΠΈΡΡΠΎΡΠΎΠ². ΠΠ°Π»Π΅Π΅ Π½Π΅ΠΎΠ±Ρ ΠΎΠ΄ΠΈΠΌΠΎ Π² Π½ΡΠΆΠ½ΠΎΠΉ ΠΏΠΎΡΠ»Π΅Π΄ΠΎΠ²Π°ΡΠ΅Π»ΡΠ½ΠΎΡΡΠΈ ΡΠΎΠ΅Π΄ΠΈΠ½ΠΈΡΡ ΠΈΡ ΠΌΠ΅ΠΆΠ΄Ρ ΡΠΎΠ±ΠΎΠΉ ΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠ°ΠΌΠΈ. ΠΡΠ»ΠΈ ΠΏΡΠΈΠ½ΡΡΡ Π²ΠΎ Π²Π½ΠΈΠΌΠ°Π½ΠΈΠ΅, ΡΡΠΎ ΠΊΠ°ΠΆΠ΄ΡΠΉ ΡΡΠ°Π½Π·ΠΈΡΡΠΎΡ ΠΈΠΌΠ΅Π΅Ρ ΡΡΠΎΠΊ, ΠΈΡΡΠΎΠΊ, Π·Π°ΡΠ²ΠΎΡ ΠΈ ΡΡΠΎ ΠΊΠ°ΠΆΠ΄ΡΠΉ ΠΈΠ· ΡΡΠΈΡ ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ΄ΠΎΠ² Π΄ΠΎΠ»ΠΆΠ΅Π½ Π±ΡΡΡ ΡΠΎΠ΅Π΄ΠΈΠ½Π΅Π½ ΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠΌ Ρ Π΄ΡΡΠ³ΠΈΠΌΠΈ ΠΊΠΎΠΌΠΏΠΎΠ½Π΅Π½ΡΠ°ΠΌΠΈ, ΡΠΎ ΡΠΎΠ²Π΅ΡΡΠ΅Π½Π½ΠΎ ΠΎΡΠ΅Π²ΠΈΠ΄Π½ΡΠΌ ΡΡΠ°Π½ΠΎΠ²ΠΈΡΡΡ ΠΎΠ³ΡΠΎΠΌΠ½ΠΎΠ΅ ΠΊΠΎΠ»ΠΈΡΠ΅ΡΡΠ²ΠΎ ΡΡΠ΅Π±ΡΠ΅ΠΌΡΡ ΡΠΎΠ΅Π΄ΠΈΠ½Π΅Π½ΠΈΠΉ. ΠΡΡΡΠ΅ΡΡΠ²ΠΈΡΡ ΡΡΠ΅Π±ΡΠ΅ΠΌΡΡ ΡΠ°Π·Π²ΠΎΠ΄ΠΊΡ Π² ΠΏΡΠ΅Π΄Π΅Π»Π°Ρ ΡΠΎΠ³ΠΎ ΠΆΠ΅ ΡΠ»ΠΎΡ, Π³Π΄Π΅ ΡΠ°ΡΠΏΠΎΠ»ΠΎΠΆΠ΅Π½Ρ ΡΠ°ΠΌΠΈ ΡΡΠ°Π½Π·ΠΈΡΡΠΎΡΡ, ΠΏΡΠΎΡΡΠΎ Π½Π΅ΡΠ΅Π°Π»ΡΠ½ΠΎ — Π½Π΅ΠΈΠ·Π±Π΅ΠΆΠ½Ρ ΠΏΠ΅ΡΠ΅ΠΊΡΠ΅ΡΠ΅Π½ΠΈΡ ΠΌΠ΅ΠΆΠ΄Ρ ΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠ°ΠΌΠΈ. ΠΠ°ΠΆΠ΅ ΠΎΠ±ΡΡΠ½ΡΠ΅ ΠΌΠ°ΡΠ΅ΡΠΈΠ½ΡΠΊΠΈΠ΅ ΠΏΠ»Π°ΡΡ Π΄Π»Ρ ΡΠΎΠ΅Π΄ΠΈΠ½Π΅Π½ΠΈΡ Π²ΡΠ΅Ρ ΠΌΠΈΠΊΡΠΎΡΡ Π΅ΠΌ Π΄ΡΡΠ³ Ρ Π΄ΡΡΠ³ΠΎΠΌ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΡΡΡ Π½Π΅ΡΠΊΠΎΠ»ΡΠΊΠΎ ΡΠ»ΠΎΠ΅Π² (Π² Π½Π°ΡΡΠΎΡΡΠ΅Π΅ Π²ΡΠ΅ΠΌΡ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΡΡΡΡΡ 8-ΡΠ»ΠΎΠΉΠ½ΡΠ΅ ΠΏΠ»Π°ΡΡ). Π ΠΊΠ°ΠΆΠ΄ΠΎΠΌ ΡΠ°ΠΊΠΎΠΌ ΡΠ»ΠΎΠ΅ ΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΈ Π½Π΅ ΠΏΠ΅ΡΠ΅ΠΊΡΠ΅ΡΠΈΠ²Π°ΡΡΡΡ Π΄ΡΡΠ³ Ρ Π΄ΡΡΠ³ΠΎΠΌ. ΠΠ½Π°Π»ΠΎΠ³ΠΈΡΠ½ΠΎ ΡΠ΅ΡΠ°Π΅ΡΡΡ Π·Π°Π΄Π°ΡΠ° ΠΈ Π² ΠΌΠΈΠΊΡΠΎΡΡ Π΅ΠΌΠ°Ρ : Π΄Π»Ρ ΡΠΎΠ΅Π΄ΠΈΠ½Π΅Π½ΠΈΡ ΡΡΠ°Π½Π·ΠΈΡΡΠΎΡΠΎΠ² Π΄ΡΡΠ³ Ρ Π΄ΡΡΠ³ΠΎΠΌ ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅Π½ΡΡΡ Π½Π΅ΡΠΊΠΎΠ»ΡΠΊΠΎ ΡΠ»ΠΎΠ΅Π² ΠΌΠ΅ΡΠ°Π»Π»ΠΈΠ·Π°ΡΠΈΠΈ, ΡΠΎ Π΅ΡΡΡ ΡΠ»ΠΎΠ΅Π² Ρ ΠΌΠ΅ΡΠ°Π»Π»ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠΌΠΈ ΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠ°ΠΌΠΈ, ΠΏΡΠΈΡΠ΅ΠΌ ΡΠ΅ΠΌ Π±ΠΎΠ»ΡΡΠ΅ ΡΡΠ°Π½Π·ΠΈΡΡΠΎΡΠΎΠ² Π½Π°ΡΡΠΈΡΡΠ²Π°Π΅ΡΡΡ Π² ΠΌΠΈΠΊΡΠΎΡΡ Π΅ΠΌΠ΅, ΡΠ΅ΠΌ Π±ΠΎΠ»ΡΡΠ΅ ΡΠ»ΠΎΠ΅Π² ΠΌΠ΅ΡΠ°Π»Π»ΠΈΠ·Π°ΡΠΈΠΈ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΡΠ΅ΡΡΡ. ΠΠ»Ρ ΡΠΎΠ΅Π΄ΠΈΠ½Π΅Π½ΠΈΡ ΡΡΠ°Π½Π·ΠΈΡΡΠΎΡΠΎΠ² Π΄ΡΡΠ³ Ρ Π΄ΡΡΠ³ΠΎΠΌ ΠΏΡΠ΅ΠΆΠ΄Π΅ Π²ΡΠ΅Π³ΠΎ Π½Π΅ΠΎΠ±Ρ ΠΎΠ΄ΠΈΠΌΠΎ ΡΠΎΠ·Π΄Π°ΡΡ ΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄ΡΡΠΈΠ΅ ΠΊΠΎΠ½ΡΠ°ΠΊΡΡ ΡΡΠΎΠΊΠΎΠ², ΠΈΡΡΠΎΠΊΠΎΠ² ΠΈ Π·Π°ΡΠ²ΠΎΡΠΎΠ². ΠΠ»Ρ ΡΡΠΎΠ³ΠΎ, ΠΊΠ°ΠΊ ΠΎΠΏΠΈΡΠ°Π½ΠΎ Π²ΡΡΠ΅, ΠΏΠΎ ΠΌΠ°ΡΠΊΠ΅ Π² Π½ΡΠΆΠ½ΡΡ ΠΌΠ΅ΡΡΠ°Ρ Π²ΡΡΡΠ°Π²Π»ΠΈΠ²Π°Π΅ΡΡΡ ΡΠ»ΠΎΠΉ Π΄ΠΈΠΎΠΊΡΠΈΠ΄Π° ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΡ ΠΈ ΡΠΎΠΎΡΠ²Π΅ΡΡΡΠ²ΡΡΡΠΈΠ΅ ΠΎΠΊΠ½Π° Π·Π°ΠΏΠΎΠ»Π½ΡΡΡΡΡ Π°ΡΠΎΠΌΠ°ΠΌΠΈ ΠΌΠ΅ΡΠ°Π»Π»Π°. ΠΠ»Ρ ΡΠΎΠ·Π΄Π°Π½ΠΈΡ ΠΎΡΠ΅ΡΠ΅Π΄Π½ΠΎΠ³ΠΎ ΡΠ»ΠΎΡ Π½Π° ΠΏΠΎΠ»ΡΡΠ΅Π½Π½ΠΎΠΌ ΡΠΈΡΡΠ½ΠΊΠ΅ ΡΡ Π΅ΠΌΡ Π²ΡΡΠ°ΡΠΈΠ²Π°Π΅ΡΡΡ Π΄ΠΎΠΏΠΎΠ»Π½ΠΈΡΠ΅Π»ΡΠ½ΡΠΉ ΡΠΎΠ½ΠΊΠΈΠΉ ΡΠ»ΠΎΠΉ Π΄ΠΈΠΎΠΊΡΠΈΠ΄Π° ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΡ. ΠΠΎΡΠ»Π΅ ΡΡΠΎΠ³ΠΎ Π½Π°Π½ΠΎΡΡΡΡΡ ΡΠ»ΠΎΠΉ ΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄ΡΡΠ΅Π³ΠΎ ΠΌΠ΅ΡΠ°Π»Π»Π° ΠΈ Π΅ΡΠ΅ ΠΎΠ΄ΠΈΠ½ ΡΠ»ΠΎΠΉ ΡΠΎΡΠΎΡΠ΅Π·ΠΈΡΡΠ°. Π£Π»ΡΡΡΠ°ΡΠΈΠΎΠ»Π΅ΡΠΎΠ²ΠΎΠ΅ ΠΈΠ·Π»ΡΡΠ΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΏΡΠΎΠΏΡΡΠΊΠ°Π΅ΡΡΡ ΡΠΊΠ²ΠΎΠ·Ρ Π²ΡΠΎΡΡΡ ΠΌΠ°ΡΠΊΡ ΠΈ Π²ΡΡΠ²Π΅ΡΠΈΠ²Π°Π΅Ρ ΡΠΎΠΎΡΠ²Π΅ΡΡΡΠ²ΡΡΡΠΈΠΉ ΡΠΈΡΡΠ½ΠΎΠΊ Π½Π° ΡΠΎΡΠΎΡΠ΅Π·ΠΈΡΡΠ΅. ΠΠ°ΡΠ΅ΠΌ ΠΎΠΏΡΡΡ ΡΠ»Π΅Π΄ΡΡΡ ΡΡΠ°ΠΏΡ ΡΠ°ΡΡΠ²ΠΎΡΠ΅Π½ΠΈΡ ΡΠΎΡΠΎΡΠ΅Π·ΠΈΡΡΠ° ΠΈ ΡΡΠ°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΡ ΠΌΠ΅ΡΠ°Π»Π»Π°. Π ΡΠ΅Π·ΡΠ»ΡΡΠ°ΡΠ΅ Π² Π½ΠΎΠ²ΠΎΠΌ ΡΠ»ΠΎΠ΅ ΠΎΠ±ΡΠ°Π·ΡΡΡΡΡ Π½ΡΠΆΠ½ΡΠ΅ ΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄ΡΡΠΈΠ΅ ΠΏΠΎΠ»ΠΎΡΠΊΠΈ, Π½Π°ΠΏΠΎΠΌΠΈΠ½Π°ΡΡΠΈΠ΅ ΡΠ΅Π»ΡΡΡ, Π° Π΄Π»Ρ ΠΌΠ΅ΠΆΡΠ»ΠΎΠΉΠ½ΡΡ ΡΠΎΠ΅Π΄ΠΈΠ½Π΅Π½ΠΈΠΉ, ΡΠΎ Π΅ΡΡΡ ΡΠΎΠ΅Π΄ΠΈΠ½Π΅Π½ΠΈΠΉ ΡΠ»ΠΎΠ΅Π² Π΄ΡΡΠ³ Ρ Π΄ΡΡΠ³ΠΎΠΌ, Π² ΡΠ»ΠΎΡΡ ΠΎΡΡΠ°Π²Π»ΡΡΡΡΡ ΠΎΠΊΠ½Π°, ΠΊΠΎΡΠΎΡΡΠ΅ Π·Π°ΡΠ΅ΠΌ Π·Π°ΠΏΠΎΠ»Π½ΡΡΡΡΡ Π°ΡΠΎΠΌΠ°ΠΌΠΈ ΠΌΠ΅ΡΠ°Π»Π»Π°. Π ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅ΡΡ, ΠΏΡΠΈ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠΈ 0,25-ΠΌΠΈΠΊΡΠΎΠ½Π½ΠΎΠ³ΠΎ ΡΠ΅Ρ Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠ³ΠΎ ΠΏΡΠΎΡΠ΅ΡΡΠ° Π΄Π»Ρ ΠΎΡΡΡΠ΅ΡΡΠ²Π»Π΅Π½ΠΈΡ ΡΠ°Π·Π²ΠΎΠ΄ΠΊΠΈ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΠΎΠ²Π°Π»ΠΈΡΡ 5 Π΄ΠΎΠΏΠΎΠ»Π½ΠΈΡΠ΅Π»ΡΠ½ΡΡ ΡΠ»ΠΎΠ΅Π². Π ΠΏΡΠΎΡΠ΅ΡΡΠΎΡΠ°Ρ AMD Ρ Π»Π΅Π³Π΅Π½Π΄Π°ΡΠ½ΡΠΌ ΡΠ΄ΡΠΎΠΌ «Π-7» ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅Π½ΡΡΡ 8-ΡΠ»ΠΎΠΉΠ½ΡΠ΅ ΡΠΎΠ΅Π΄ΠΈΠ½Π΅Π½ΠΈΡ. ΠΠΎΠ²ΡΠ΅ ΠΏΡΠΎΡΠ΅ΡΡΠΎΡΡ AMD Athlon 64 ΠΈ AMD Opteron ΡΠ°ΠΊΠΆΠ΅ Π±ΡΠ΄ΡΡ 8-ΡΠ»ΠΎΠΉΠ½ΡΠΌΠΈ. Π ΡΠ΅ΡΠ΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΌΠ½ΠΎΠ³ΠΈΡ Π»Π΅Ρ Π² ΠΊΠ°ΡΠ΅ΡΡΠ²Π΅ ΠΌΠ΅ΡΠ°Π»Π»Π° Π΄Π»Ρ Π²Π½ΡΡΡΠΈΡΠ»ΠΎΠΉΠ½ΡΡ ΡΠΎΠ΅Π΄ΠΈΠ½Π΅Π½ΠΈΠΉ ΠΏΠΎΠ²ΡΠ΅ΠΌΠ΅ΡΡΠ½ΠΎ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΠΎΠ²Π°Π»ΡΡ Π°Π»ΡΠΌΠΈΠ½ΠΈΠΉ. ΠΠ΄Π½Π°ΠΊΠΎ ΠΏΡΠΎΡΠ΅ΡΡ ΡΠΎΠ·Π΄Π°Π½ΠΈΡ ΠΌΠ½ΠΎΠ³ΠΎΡΠ»ΠΎΠΉΠ½ΡΡ ΡΠΎΠ΅Π΄ΠΈΠ½Π΅Π½ΠΈΠΉ Π½Π΅ ΡΠ°ΠΊ ΠΏΡΠΎΡΡ, ΠΊΠ°ΠΊ ΠΌΠΎΠΆΠ΅Ρ ΠΏΠΎΠΊΠ°Π·Π°ΡΡΡΡ. ΠΠ΅ΡΠΊΠ»ΠΎΠ½Π½ΠΎΠ΅ ΡΠΌΠ΅Π½ΡΡΠ΅Π½ΠΈΠ΅ ΡΠ°Π·ΠΌΠ΅ΡΠΎΠ² ΡΡΠ°Π½Π·ΠΈΡΡΠΎΡΠΎΠ², Π° ΡΠ»Π΅Π΄ΠΎΠ²Π°ΡΠ΅Π»ΡΠ½ΠΎ, ΠΈ ΡΠ°Π·ΠΌΠ΅ΡΠΎΠ² ΠΊΠΎΠ½ΡΠ°ΠΊΡΠ½ΡΡ ΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ² ΡΡΠ΅Π±ΡΠ΅Ρ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΡ ΡΠΏΠ΅ΡΠΈΠ°Π»ΡΠ½ΡΡ ΡΠ»ΠΎΠ΅Π² Π΄Π»Ρ ΡΠ»ΡΡΡΠ΅Π½ΠΈΡ ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΡ Ρ Π°ΡΠ°ΠΊΡΠ΅ΡΠΈΡΡΠΈΠΊ ΠΈ ΡΠ»ΠΎΠ΅Π², ΠΏΡΠ΅Π΄ΠΎΡΠ²ΡΠ°ΡΠ°ΡΡΠΈΡ ΠΏΡΠΎΡΠ΅ΡΡ Π΄ΠΈΡΡΡΠ·ΠΈΠΈ Π°Π»ΡΠΌΠΈΠ½ΠΈΡ. ΠΡΠΎΠΌΠ΅ ΡΠΎΠ³ΠΎ, Π½Π΅ΠΎΠ±Ρ ΠΎΠ΄ΠΈΠΌΠΎ ΡΡΠ΅ΡΡΡ, ΡΡΠΎ Π°Π»ΡΠΌΠΈΠ½ΠΈΠΉ ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅Π½ΡΠ΅ΡΡΡ ΡΠΎΠ»ΡΠΊΠΎ Π² ΠΊΠ°ΡΠ΅ΡΡΠ²Π΅ Π²Π½ΡΡΡΠΈΡΠ»ΠΎΠΉΠ½ΡΡ ΡΠΎΠ΅Π΄ΠΈΠ½Π΅Π½ΠΈΠΉ, Π° Π΄Π»Ρ ΠΌΠ΅ΠΆΡΠ»ΠΎΠΉΠ½ΡΡ ΡΠΎΠ΅Π΄ΠΈΠ½Π΅Π½ΠΈΠΉ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΡΠ΅ΡΡΡ Π²ΠΎΠ»ΡΡΡΠ°ΠΌ. ΠΠ΅ΡΠΌΠΎΡΡΡ Π½Π° ΡΠΎ ΡΡΠΎ Π°Π»ΡΠΌΠΈΠ½ΠΈΠΉ ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅Π½ΡΠ»ΡΡ Π² ΡΡΠΎΠΉ ΠΎΠ±Π»Π°ΡΡΠΈ Π½Π° ΠΏΡΠΎΡΡΠΆΠ΅Π½ΠΈΠΈ ΠΌΠ½ΠΎΠ³ΠΈΡ Π»Π΅Ρ, Π΄Π°Π½Π½ΡΠΉ ΠΌΠ΅ΡΠ°Π»Π» ΠΈΠΌΠ΅Π΅Ρ ΡΡΠ΄ Π½Π΅Π΄ΠΎΡΡΠ°ΡΠΊΠΎΠ², Π½Π΅ ΠΏΠΎΠ·Π²ΠΎΠ»ΡΡΡΠΈΡ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΠΎΠ²Π°ΡΡ Π΅Π³ΠΎ ΠΏΡΠΈ ΡΠΌΠ΅Π½ΡΡΠ΅Π½ΠΈΠΈ ΡΠ°Π·ΠΌΠ΅ΡΠΎΠ² ΡΡΠ°Π½Π·ΠΈΡΡΠΎΡΠΎΠ². Π’Π°ΠΊ, Π΅ΡΠ»ΠΈ ΠΏΡΠΈ ΠΏΡΠΎΠΈΠ·Π²ΠΎΠ΄ΡΡΠ²Π΅ ΠΌΠΈΠΊΡΠΎΡΡ Π΅ΠΌ ΠΏΠΎ 0,25-ΠΌΠΈΠΊΡΠΎΠ½Π½ΠΎΠΌΡ ΡΠ΅Ρ Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠΌΡ ΠΏΡΠΎΡΠ΅ΡΡΡ ΠΊΠΎΠΌΠΏΠ°Π½ΠΈΡ AMD ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅Π½ΡΠ»Π° Π°Π»ΡΠΌΠΈΠ½ΠΈΠΉ, ΡΠΎ ΠΏΡΠΈ ΠΏΠ΅ΡΠ΅Ρ ΠΎΠ΄Π΅ Π½Π° 0,18-ΠΌΠΈΠΊΡΠΎΠ½Π½ΡΡ ΡΠ΅Ρ Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΡ ΠΎΠ½Π° ΡΡΠ°Π»Π° ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΠΎΠ²Π°ΡΡ ΠΌΠ΅Π΄Π½ΡΠ΅ ΡΠΎΠ΅Π΄ΠΈΠ½Π΅Π½ΠΈΡ. ΠΡΠ½ΠΎΠ²Π½ΠΎΠ΅ ΠΏΡΠ΅ΠΈΠΌΡΡΠ΅ΡΡΠ²ΠΎ ΠΌΠ΅Π΄Π½ΡΡ ΡΠΎΠ΅Π΄ΠΈΠ½Π΅Π½ΠΈΠΉ Π² Π΄Π°Π½Π½ΠΎΠΌ ΡΠ»ΡΡΠ°Π΅ Π·Π°ΠΊΠ»ΡΡΠ°Π΅ΡΡΡ Π² ΡΠΎΠΌ, ΡΡΠΎ ΠΌΠ΅Π΄Ρ ΠΎΠ±Π»Π°Π΄Π°Π΅Ρ ΠΌΠ΅Π½ΡΡΠ΅ΠΉ ΡΠ΄Π΅Π»ΡΠ½ΠΎΠΉ ΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄ΠΈΠΌΠΎΡΡΡΡ ΠΏΠΎ ΡΡΠ°Π²Π½Π΅Π½ΠΈΡ Ρ Π°Π»ΡΠΌΠΈΠ½ΠΈΠ΅ΠΌ. ΠΡΠΈ ΡΠΌΠ΅Π½ΡΡΠ΅Π½ΠΈΠΈ ΠΏΠ»ΠΎΡΠ°Π΄ΠΈ ΡΠ΅ΡΠ΅Π½ΠΈΡ ΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ² (ΡΡΠΎ Π½Π΅ΠΈΠ·Π±Π΅ΠΆΠ½ΠΎ ΠΏΡΠΈ ΡΠΌΠ΅Π½ΡΡΠ΅Π½ΠΈΠΈ ΡΠ°Π·ΠΌΠ΅ΡΠ° ΡΡΠ°Π½Π·ΠΈΡΡΠΎΡΠΎΠ²) ΡΠ²Π΅Π»ΠΈΡΠΈΠ²Π°Π΅ΡΡΡ ΠΈ ΡΠΎΠΏΡΠΎΡΠΈΠ²Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ². ΠΠ°ΠΊ ΡΠ»Π΅Π΄ΡΡΠ²ΠΈΠ΅ — Π½Π΅ΠΆΠ΅Π»Π°ΡΠ΅Π»ΡΠ½ΠΎΠ΅ ΠΏΠΎΠ²ΡΡΠ΅Π½ΠΈΠ΅ ΡΠ½Π΅ΡΠ³ΠΎΠΏΠΎΡΡΠ΅Π±Π»Π΅Π½ΠΈΡ. Π ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅ΡΡ, ΠΏΡΠΈ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠΈ 0,25-ΠΌΠΈΠΊΡΠΎΠ½Π½ΠΎΠ³ΠΎ ΡΠ΅Ρ Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠ³ΠΎ ΠΏΡΠΎΡΠ΅ΡΡΠ° Π»ΠΈΠ½Π΅ΠΉΠ½ΠΎΠ΅ ΡΠΎΠΏΡΠΎΡΠΈΠ²Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ Π°Π»ΡΠΌΠΈΠ½ΠΈΠ΅Π²ΡΡ ΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ² ΡΠΎΡΡΠ°Π²ΠΈΡ ΠΏΠΎΡΡΠ΄ΠΊΠ° 100−200 ΠΠΌ/ΠΌΠΌ, Π° ΠΏΡΠΈ ΠΏΠ΅ΡΠ΅Ρ ΠΎΠ΄Π΅ Π½Π° 0,18- ΠΈ 0,13-ΠΌΠΈΠΊΡΠΎΠ½Π½ΡΠΉ ΡΠ΅Ρ Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠ΅ ΠΏΡΠΎΡΠ΅ΡΡΡ ΠΎΠ½ΠΎ Π²ΠΎΠ·ΡΠ°ΡΡΠ΅Ρ Π΄ΠΎ 400−800 OΠΌ/ΠΌΠΌ. ΠΠΎΡΡΠΎΠΌΡ Π²ΠΎΠ·Π½ΠΈΠΊΠ°Π΅Ρ ΠΏΡΠΎΠ±Π»Π΅ΠΌΠ° Π·Π°ΠΌΠ΅Π½Ρ Π°Π»ΡΠΌΠΈΠ½ΠΈΡ Π½Π° ΠΌΠ°ΡΠ΅ΡΠΈΠ°Π»Ρ Ρ ΠΌΠ΅Π½ΡΡΠ΅ΠΉ ΡΠ΄Π΅Π»ΡΠ½ΠΎΠΉ ΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄ΠΈΠΌΠΎΡΡΡΡ. Π£Π΄Π΅Π»ΡΠ½ΠΎΠ΅ ΡΠΎΠΏΡΠΎΡΠΈΠ²Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ Π°Π»ΡΠΌΠΈΠ½ΠΈΡ ΡΠΎΡΡΠ°Π²Π»ΡΠ΅Ρ 2,8 ΠΌΠΊΠΠΌΠΌΠΌ2/ΠΌ, Π° ΡΠ΄Π΅Π»ΡΠ½ΠΎΠ΅ ΡΠΎΠΏΡΠΎΡΠΈΠ²Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΌΠ΅Π΄ΠΈ, Π² ΡΠ²ΠΎΡ ΠΎΡΠ΅ΡΠ΅Π΄Ρ, ΡΠ°Π²Π½ΠΎ 1,7 ΠΌΠΊΠΠΌΠΌΠΌ2/ΠΌ, ΡΠΎ Π΅ΡΡΡ Π·Π½Π°ΡΠΈΡΠ΅Π»ΡΠ½ΠΎ Π½ΠΈΠΆΠ΅. ΠΡΠΎΠΌΠ΅ ΡΠΎΠ³ΠΎ, ΠΏΠΎ ΡΡΠ°Π²Π½Π΅Π½ΠΈΡ Ρ Π°Π»ΡΠΌΠΈΠ½ΠΈΠ΅ΠΌ ΠΌΠ΅Π΄Ρ ΠΎΠ±Π»Π°Π΄Π°Π΅Ρ ΡΡΠ΄ΠΎΠΌ Π΄ΡΡΠ³ΠΈΡ Π·Π°ΠΌΠ΅ΡΠ°ΡΠ΅Π»ΡΠ½ΡΡ ΡΠ²ΠΎΠΉΡΡΠ², ΠΏΠΎΠ²ΡΡΠ°ΡΡΠΈΡ ΠΏΠ΅ΡΡΠΏΠ΅ΠΊΡΠΈΠ²Π½ΠΎΡΡΡ Π΅Π΅ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΡ Π² ΠΌΠΈΠΊΡΠΎΡΡ Π΅ΠΌΠ°Ρ . ΠΡΠ΅ΠΆΠ΄Π΅ Π²ΡΠ΅Π³ΠΎ, ΠΌΠ΅Π΄Π½ΡΠ΅ ΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΈ ΡΠΏΠΎΡΠΎΠ±Π½Ρ Π²ΡΠ΄Π΅ΡΠΆΠΈΠ²Π°ΡΡ Π·Π½Π°ΡΠΈΡΠ΅Π»ΡΠ½ΠΎ Π±ΠΎΠ»ΡΡΡΡ ΠΏΠ»ΠΎΡΠ½ΠΎΡΡΡ ΡΠΎΠΊΠ°, ΡΠ΅ΠΌ Π°Π»ΡΠΌΠΈΠ½ΠΈΠ΅Π²ΡΠ΅, ΠΈ ΠΊ ΡΠΎΠΌΡ ΠΆΠ΅ ΠΎΠ±Π»Π°Π΄Π°ΡΡ Π±ΠΎΠ»Π΅Π΅ Π²ΡΡΠΎΠΊΠΎΠΉ ΡΡΡΠΎΠΉΡΠΈΠ²ΠΎΡΡΡΡ ΠΊ ΡΠ°Π·ΡΡΡΠ΅Π½ΠΈΡ ΠΏΠΎΠ΄ Π²ΠΎΠ·Π΄Π΅ΠΉΡΡΠ²ΠΈΠ΅ΠΌ ΡΠΎΠΊΠ°, ΡΡΠΎ ΠΏΠΎΠ·Π²ΠΎΠ»ΡΠ΅Ρ ΠΏΡΠΎΠ΄Π»ΠΈΡΡ Π²ΡΠ΅ΠΌΡ ΠΆΠΈΠ·Π½ΠΈ ΠΌΠΈΠΊΡΠΎΡΡ Π΅ΠΌΡ. Π ΡΠ΅Π·ΡΠ»ΡΡΠ°ΡΠ΅ ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅Π½Π΅Π½ΠΈΡ ΠΌΠ΅Π΄Π½ΡΡ ΡΠΎΠ΅Π΄ΠΈΠ½Π΅Π½ΠΈΠΉ ΡΠ°ΠΊΠΆΠ΅ ΡΠΌΠ΅Π½ΡΡΠ°Π΅ΡΡΡ Π²ΡΠ΅ΠΌΡ Π·Π°Π΄Π΅ΡΠΆΠΊΠΈ ΡΠ°ΡΠΏΡΠΎΡΡΡΠ°Π½Π΅Π½ΠΈΡ ΡΠΈΠ³Π½Π°Π»ΠΎΠ², ΡΡΠΎ ΠΏΡΠΈΠΎΠ±ΡΠ΅ΡΠ°Π΅Ρ ΠΎΡΠΎΠ±ΡΡ Π°ΠΊΡΡΠ°Π»ΡΠ½ΠΎΡΡΡ ΠΏΡΠΈ ΠΏΠΎΠ²ΡΡΠ΅Π½ΠΈΠΈ ΡΠ°ΠΊΡΠΎΠ²ΡΡ ΡΠ°ΡΡΠΎΡ. ΠΡΠΎΠΌΠ΅ ΡΠΎΠ³ΠΎ, ΡΠ°Π·Π½ΠΈΡΠ° Π² Π·Π°Π΄Π΅ΡΠΆΠΊΠ°Ρ ΡΠ°ΡΠΏΡΠΎΡΡΡΠ°Π½Π΅Π½ΠΈΡ ΡΠΈΠ³Π½Π°Π»ΠΎΠ² ΠΏΡΠΈ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠΈ ΠΌΠ΅Π΄Π½ΡΡ ΠΈ Π°Π»ΡΠΌΠΈΠ½ΠΈΠ΅Π²ΡΡ ΡΠΎΠ΅Π΄ΠΈΠ½Π΅Π½ΠΈΠΉ Π²ΠΎΠ·ΡΠ°ΡΡΠ°Π΅Ρ ΠΏΠΎ ΠΌΠ΅ΡΠ΅ ΡΠΌΠ΅Π½ΡΡΠ΅Π½ΠΈΡ Π³Π΅ΠΎΠΌΠ΅ΡΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΡ ΡΠ°Π·ΠΌΠ΅ΡΠΎΠ² ΡΡΠ°Π½Π·ΠΈΡΡΠΎΡΠΎΠ². ΠΡΠ°ΠΊ, ΡΡΠ°Π½ΠΎΠ²ΠΈΡΡΡ ΠΎΡΠ΅Π²ΠΈΠ΄Π½ΡΠΌ, ΡΡΠΎ ΠΏΡΠΈ ΠΏΠ΅ΡΠ΅Ρ ΠΎΠ΄Π΅ Π½Π° Π½ΠΎΠ²ΡΠ΅ ΡΠ΅Ρ Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠ΅ ΠΏΡΠΎΡΠ΅ΡΡΡ Ρ ΠΌΠ΅Π½ΡΡΠ΅ΠΉ ΠΏΡΠΎΠ΅ΠΊΡΠ½ΠΎΠΉ Π±Π°Π·ΠΎΠΉ Π½Π΅ΠΎΠ±Ρ ΠΎΠ΄ΠΈΠΌΠΎ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΠΎΠ²Π°ΡΡ ΠΌΠ΅Π΄Π½ΡΠ΅ ΡΠΎΠ΅Π΄ΠΈΠ½Π΅Π½ΠΈΡ. ΠΠΎ Π²ΠΎΠ·Π½ΠΈΠΊΠ°Π΅Ρ ΡΠ΅Π·ΠΎΠ½Π½ΡΠΉ Π²ΠΎΠΏΡΠΎΡ: Π΅ΡΠ»ΠΈ ΠΌΠ΅Π΄Ρ ΠΎΠ±Π»Π°Π΄Π°Π΅Ρ ΡΠ°ΠΊΠΈΠΌΠΈ Π·Π°ΠΌΠ΅ΡΠ°ΡΠ΅Π»ΡΠ½ΡΠΌΠΈ ΡΠ²ΠΎΠΉΡΡΠ²Π°ΠΌΠΈ ΠΈ ΡΡΠΎΠ»Ρ ΠΏΡΠΈΠ²Π»Π΅ΠΊΠ°ΡΠ΅Π»ΡΠ½Π° Π΄Π»Ρ ΠΏΡΠΎΠΈΠ·Π²ΠΎΠ΄ΡΡΠ²Π° ΠΌΠΈΠΊΡΠΎΡΡ Π΅ΠΌ, ΡΠΎ ΠΏΠΎΡΠ΅ΠΌΡ Π΅Π΅ Π½Π΅ ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅Π½ΡΠ»ΠΈ ΠΏΡΠ΅ΠΆΠ΄Π΅? Π ΡΠ°ΡΡΠ½ΠΎΡΡΠΈ, Π½Π°ΡΡΠ΄Ρ Ρ ΡΠ°ΡΡΠΌΠΎΡΡΠ΅Π½Π½ΡΠΌΠΈ ΠΏΡΠ΅ΠΈΠΌΡΡΠ΅ΡΡΠ²Π°ΠΌΠΈ ΠΌΠ΅Π΄Ρ ΠΎΠ±Π»Π°Π΄Π°Π΅Ρ ΡΡΠ΄ΠΎΠΌ ΡΠ²ΠΎΠΉΡΡΠ², ΡΠΎΠ·Π΄Π°ΡΡΠΈΡ Π½Π΅ΠΌΠ°Π»ΠΎ ΡΠ»ΠΎΠΆΠ½ΠΎΡΡΠ΅ΠΉ Π² ΠΏΡΠΎΡΠ΅ΡΡΠ΅ ΠΏΡΠΎΠΈΠ·Π²ΠΎΠ΄ΡΡΠ²Π° ΠΌΠΈΠΊΡΠΎΡΡ Π΅ΠΌ. ΠΠ΅Π»ΠΎ Π² ΡΠΎΠΌ, ΡΡΠΎ ΠΌΠ΅Π΄Ρ Π»Π΅Π³ΠΊΠΎ Π΄ΠΈΡΡΡΠ½Π΄ΠΈΡΡΠ΅Ρ Π² Π³Π»ΡΠ±Ρ ΠΊΡΠΈΡΡΠ°Π»Π»Π°, ΡΡΠΎ Π²ΡΠ·ΡΠ²Π°Π΅Ρ ΠΏΠΎΡΡΡ ΠΌΠΈΠΊΡΠΎΡΡ Π΅ΠΌΡ. ΠΠΎΡΡΠΎΠΌΡ ΠΏΠΎΡΡΠ΅Π±ΠΎΠ²Π°Π»ΠΎΡΡ ΠΏΡΠΈΠ»ΠΎΠΆΠΈΡΡ Π½Π΅ΠΌΠ°Π»ΠΎ ΡΡΠΈΠ»ΠΈΠΉ, ΡΡΠΎΠ±Ρ ΠΈΠ·Π±Π΅ΠΆΠ°ΡΡ ΡΡΠΎΠ³ΠΎ Π½Π΅ΠΆΠ΅Π»Π°ΡΠ΅Π»ΡΠ½ΠΎΠ³ΠΎ ΡΠ²Π»Π΅Π½ΠΈΡ. ΠΡΠΎΠΌΠ΅ ΡΠΎΠ³ΠΎ, ΠΌΠ΅Π΄Ρ, Π² ΠΎΡΠ»ΠΈΡΠΈΠ΅ ΠΎΡ Π°Π»ΡΠΌΠΈΠ½ΠΈΡ, ΠΏΠ»ΠΎΡ ΠΎ ΠΏΠΎΠ΄Π΄Π°Π΅ΡΡΡ ΡΡΠ°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΡ, ΠΏΠΎΡΡΠΎΠΌΡ ΡΠ΅Ρ Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΠΈ ΡΠΎΠ·Π΄Π°Π½ΠΈΡ ΠΌΠ΅Π΄Π½ΡΡ ΠΈ Π°Π»ΡΠΌΠΈΠ½ΠΈΠ΅Π²ΡΡ Π²Π½ΡΡΡΠΈΡΠ»ΠΎΠΉΠ½ΡΡ ΡΠΎΠ΅Π΄ΠΈΠ½Π΅Π½ΠΈΠΉ Π² ΠΊΠΎΡΠ½Π΅ ΡΠ°Π·Π»ΠΈΡΠ°ΡΡΡΡ. Π’Π°ΠΊ, Π΅ΡΠ»ΠΈ Π² ΡΠ»ΡΡΠ°Π΅ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΡ Π°Π»ΡΠΌΠΈΠ½ΠΈΡ ΡΡΠ°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΡ ΠΏΠΎ ΠΌΠ°ΡΠΊΠ΅ ΠΏΠΎΠ΄Π»Π΅ΠΆΠΈΡ ΡΠΎΠ±ΡΡΠ²Π΅Π½Π½ΠΎ Π°Π»ΡΠΌΠΈΠ½ΠΈΠΉ, ΡΠΎ ΠΏΡΠΈ ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅Π½Π΅Π½ΠΈΠΈ ΠΌΠ΅Π΄ΠΈ ΡΡΠ°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΡ ΠΏΠΎΠ΄Π»Π΅ΠΆΠΈΡ Π½Π΅ΠΏΠΎΡΡΠ΅Π΄ΡΡΠ²Π΅Π½Π½ΠΎ ΠΎΠΊΡΠΈΠ΄Π½Π°Ρ ΠΏΠ»Π΅Π½ΠΊΠ°, Π² ΡΠ΅Π·ΡΠ»ΡΡΠ°ΡΠ΅ ΡΠ΅Π³ΠΎ ΠΎΠ±ΡΠ°Π·ΡΡΡΡΡ Π±ΠΎΡΠΎΠ·Π΄ΠΊΠΈ, ΠΊΠΎΡΠΎΡΡΠ΅ Π²ΠΏΠΎΡΠ»Π΅Π΄ΡΡΠ²ΠΈΠΈ Π·Π°ΠΏΠΎΠ»Π½ΡΡΡΡΡ ΠΌΠ΅Π΄ΡΡ. ΠΡΠ° ΡΠ΅Ρ Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΡ ΠΏΠΎΠ»ΡΡΠΈΠ»Π° Π½Π°Π·Π²Π°Π½ΠΈΠ΅ Damascene, ΡΠΎ Π΅ΡΡΡ ΡΠ·ΠΎΡΠ½Π°Ρ ΠΈΠ½ΠΊΡΡΡΡΠ°ΡΠΈΡ. ΠΠΎΡΡΠΎΠΌΡ ΠΏΡΠΎΡΠ΅ΡΡ ΠΈΠ·Π³ΠΎΡΠΎΠ²Π»Π΅Π½ΠΈΡ ΠΌΠΈΠΊΡΠΎΡΡ Π΅ΠΌ Ρ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ΠΌ Π°Π»ΡΠΌΠΈΠ½ΠΈΠ΅Π²ΡΡ ΡΠΎΠ΅Π΄ΠΈΠ½Π΅Π½ΠΈΠΉ ΡΠ΅Ρ Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈ Π½Π΅ΡΠΎΠ²ΠΌΠ΅ΡΡΠΈΠΌ Ρ Π°Π½Π°Π»ΠΎΠ³ΠΈΡΠ½ΡΠΌ ΠΏΡΠΎΡΠ΅ΡΡΠΎΠΌ Ρ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ΠΌ ΠΌΠ΅Π΄Π½ΡΡ ΡΠΎΠ΅Π΄ΠΈΠ½Π΅Π½ΠΈΠΉ. ΠΠ°ΠΊ ΠΌΡ ΡΠΆΠ΅ ΠΎΡΠΌΠ΅ΡΠ°Π»ΠΈ, ΠΊΠΎΠΌΠΏΠ°Π½ΠΈΡ AMD Π±ΡΠ»Π° ΠΏΠ΅ΡΠ²ΠΎΠΉ, ΠΊΠΎΡΠΎΡΠ°Ρ ΡΡΠ°Π»Π° ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΠΎΠ²Π°ΡΡ ΠΌΠ΅Π΄Π½ΡΠ΅ ΡΠΎΠ΅Π΄ΠΈΠ½Π΅Π½ΠΈΡ ΠΏΡΠΈ ΠΏΡΠΎΠΈΠ·Π²ΠΎΠ΄ΡΡΠ²Π΅ ΠΌΠΈΠΊΡΠΎΠΏΡΠΎΡΠ΅ΡΡΠΎΡΠΎΠ². ΠΡΠ΅ ΠΏΡΠΎΡΠ΅ΡΡΠΎΡΡ AMD, Π²ΡΠΏΠΎΠ»Π½Π΅Π½Π½ΡΠ΅ ΠΏΠΎ 0,18-ΠΌΠΈΠΊΡΠΎΠ½Π½ΠΎΠΌΡ ΡΠ΅Ρ Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠΌΡ ΠΏΡΠΎΡΠ΅ΡΡΡ ΠΈ ΠΌΠ΅Π½Π΅Π΅, ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΡΡΡ ΠΌΠ΅Π΄Π½ΡΠ΅ ΡΠΎΠ΅Π΄ΠΈΠ½Π΅Π½ΠΈΡ. ΠΠΎΠΌΠΏΠ°Π½ΠΈΡ Intel ΡΠ°ΠΊΠΆΠ΅ ΠΏΠ΅ΡΠ΅ΡΠ»Π° Π½Π° ΠΌΠ΅Π΄Π½ΡΠ΅ ΡΠΎΠ΅Π΄ΠΈΠ½Π΅Π½ΠΈΡ, Π½ΠΎ Π½Π΅ΡΠΊΠΎΠ»ΡΠΊΠΎ ΠΏΠΎΠ·ΠΆΠ΅ — ΠΏΡΠΈ ΠΏΡΠΎΠΈΠ·Π²ΠΎΠ΄ΡΡΠ²Π΅ ΠΏΡΠΎΡΠ΅ΡΡΠΎΡΠΎΠ² ΠΏΠΎ 0,13-ΠΌΠΈΠΊΡΠΎΠ½Π½ΠΎΠΌΡ ΡΠ΅Ρ Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠΌΡ ΠΏΡΠΎΡΠ΅ΡΡΡ. Π Π°ΡΡΠΌΠΎΡΡΠΈΠΌ Π±ΠΎΠ»Π΅Π΅ ΠΏΠΎΠ΄ΡΠΎΠ±Π½ΠΎ ΠΏΡΠΎΡΠ΅ΡΡ ΡΠΎΠ·Π΄Π°Π½ΠΈΡ ΠΌΠ΅Π΄Π½ΡΡ ΡΠΎΠ΅Π΄ΠΈΠ½Π΅Π½ΠΈΠΉ. Π‘ΠΎΠ·Π΄Π°Π½ΠΈΠ΅ ΠΊΠ°ΠΆΠ΄ΠΎΠ³ΠΎ Π½ΠΎΠ²ΠΎΠ³ΠΎ ΡΠ»ΠΎΡ ΡΡΠ°Π΄ΠΈΡΠΈΠΎΠ½Π½ΠΎ Π½Π°ΡΠΈΠ½Π°Π΅ΡΡΡ Ρ ΠΏΠΎΠ»ΡΡΠ΅Π½ΠΈΡ ΠΎΠΊΡΠΈΠ΄Π½ΠΎΠΉ ΠΏΠ»Π΅Π½ΠΊΠΈ, ΠΊΠΎΡΠΎΡΠ°Ρ ΠΏΠΎΠΊΡΡΠ²Π°Π΅ΡΡΡ ΡΠ»ΠΎΠ΅ΠΌ ΡΠΎΡΠΎΡΠ΅Π·ΠΈΡΡΠ°. ΠΠ°Π»Π΅Π΅, ΠΏΠΎΡΡΠ΅Π΄ΡΡΠ²ΠΎΠΌ Π»ΠΈΡΠΎΠ³ΡΠ°ΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠ³ΠΎ ΠΏΡΠΎΡΠ΅ΡΡΠ°, Π² ΠΎΠΊΡΠΈΠ΄Π½ΠΎΠΉ ΠΏΠ»Π΅Π½ΠΊΠ΅ Π²ΡΡΡΠ°Π²Π»ΠΈΠ²Π°ΡΡΡΡ Π±ΠΎΡΠΎΠ·Π΄ΠΊΠΈ ΠΈ ΡΠ³Π»ΡΠ±Π»Π΅Π½ΠΈΡ ΡΡΠ΅Π±ΡΠ΅ΠΌΠΎΠΉ ΡΠΎΡΠΌΡ. ΠΡΠΈ Π±ΠΎΡΠΎΠ·Π΄ΠΊΠΈ ΠΈ ΡΠ³Π»ΡΠ±Π»Π΅Π½ΠΈΡ Π½Π΅ΠΎΠ±Ρ ΠΎΠ΄ΠΈΠΌΠΎ Π·Π°ΠΏΠΎΠ»Π½ΠΈΡΡ ΠΌΠ΅Π΄ΡΡ. ΠΠΎ ΠΏΡΠ΅ΠΆΠ΄Π΅, Π΄Π»Ρ ΠΏΡΠ΅Π΄ΠΎΡΠ²ΡΠ°ΡΠ΅Π½ΠΈΡ Π½Π΅ΠΆΠ΅Π»Π°ΡΠ΅Π»ΡΠ½ΠΎΠΉ Π΄ΠΈΡΡΡΠ·ΠΈΠΈ ΠΌΠ΅Π΄ΠΈ, ΠΎΠ½ΠΈ Π·Π°ΠΏΠΎΠ»Π½ΡΡΡΡΡ ΡΠΎΠ½ΠΊΠΈΠΌ ΡΠ»ΠΎΠ΅ΠΌ Π°Π½ΡΠΈΠ΄ΠΈΡΡΡΠ·ΠΈΠΎΠ½Π½ΠΎΠ³ΠΎ Π²Π΅ΡΠ΅ΡΡΠ²Π° (diffusing barrier). Π’ΠΎΠ»ΡΠΈΠ½Π° ΡΠ°ΠΊΠΎΠΉ Π°Π½ΡΠΈΠ΄ΠΈΡΡΡΠ·ΠΈΠΎΠ½Π½ΠΎΠΉ ΠΏΠ»Π΅Π½ΠΊΠΈ — Π²ΡΠ΅Π³ΠΎ 10 Π½ΠΌ. ΠΠΎΡΠ»Π΅ ΡΡΠΎΠ³ΠΎ ΡΠ»Π΅Π΄ΡΠ΅Ρ ΠΏΡΠΎΡΠ΅ΡΡ ΠΎΡΠ°ΠΆΠ΄Π΅Π½ΠΈΡ ΠΌΠ΅Π΄ΠΈ, ΠΏΡΠΈΡΠ΅ΠΌ ΠΌΠ΅Π΄Ρ ΠΎΡΠ°ΠΆΠ΄Π°Π΅ΡΡΡ ΠΏΠΎ Π²ΡΠ΅ΠΉ ΠΏΠΎΠ²Π΅ΡΡ Π½ΠΎΡΡΠΈ ΠΏΠ»Π°ΡΡΠΈΠ½Ρ (wafer). ΠΠ»Ρ ΠΎΡΠ°ΠΆΠ΄Π΅Π½ΠΈΡ ΠΌΠ΅Π΄ΠΈ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΡΡΡ Π³Π°Π»ΡΠ²Π°Π½ΠΈΠ·Π°ΡΠΈΡ ΠΈΠ· ΡΠ°ΡΡΠ²ΠΎΡΠ° ΠΌΠ΅Π΄Π½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΊΡΠΏΠΎΡΠΎΡΠ° Cu2SO4, ΠΏΡΠΈΡΠ΅ΠΌ ΡΠ°ΠΌΠ° ΠΏΠ»Π°ΡΡΠΈΠ½Π°, Π½Π° ΠΊΠΎΡΠΎΡΡΡ ΠΎΡΠ°ΠΆΠ΄Π°ΡΡΡΡ ΠΈΠΎΠ½Ρ ΠΌΠ΅Π΄ΠΈ Cu++, Π²ΡΡΡΡΠΏΠ°Π΅Ρ Π² ΡΠΎΠ»ΠΈ ΠΊΠ°ΡΠΎΠ΄Π°. ΠΡΠΈ Π³Π°Π»ΡΠ²Π°Π½ΠΈΠ·Π°ΡΠΈΠΈ Π½Π΅ΠΎΠ±Ρ ΠΎΠ΄ΠΈΠΌΠΎ, ΡΡΠΎΠ±Ρ ΠΌΠ΅Π΄Ρ ΡΠ°Π²Π½ΠΎΠΌΠ΅ΡΠ½ΠΎ ΠΎΡΠ°ΠΆΠ΄Π°Π»Π°ΡΡ ΠΏΠΎ Π²ΡΠ΅ΠΉ ΠΏΠ»Π°ΡΡΠΈΠ½Π΅. ΠΠ΄Π½Π°ΠΊΠΎ Π΄ΠΎΠ±ΠΈΡΡΡΡ ΡΡΠΎΠ³ΠΎ Π½Π΅ ΡΠ°ΠΊ-ΡΠΎ ΠΏΡΠΎΡΡΠΎ. ΠΠ΅Π»ΠΎ Π² ΡΠΎΠΌ, ΡΡΠΎ ΡΠΎΠ³Π»Π°ΡΠ½ΠΎ Π·Π°ΠΊΠΎΠ½Ρ Π€Π°ΡΠ°Π΄Π΅Ρ, ΠΎΠΏΡΠ΅Π΄Π΅Π»ΡΡΡΠ΅ΠΌΡ ΠΌΠ°ΡΡΡ ΠΎΡΠ°ΠΆΠ΄Π°ΡΡΠ΅Π³ΠΎΡΡ Π² ΡΠ΅Π·ΡΠ»ΡΡΠ°ΡΠ΅ Π³Π°Π»ΡΠ²Π°Π½ΠΈΠ·Π°ΡΠΈΠΈ Π²Π΅ΡΠ΅ΡΡΠ²Π° Π½Π° ΠΊΠ°ΡΠΎΠ΄Π΅, ΠΌΠ°ΡΡΠ° Π²ΡΠ΄Π΅Π»ΡΡΡΠ΅ΠΉΡΡ ΠΌΠ΅Π΄ΠΈ Π·Π°Π²ΠΈΡΠΈΡ ΠΎΡ ΡΠΈΠ»Ρ ΡΠΎΠΊΠ° Π² ΡΠ°ΡΡΠ²ΠΎΡΠ΅ ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ»ΠΈΡΠ°. ΠΠΎ ΡΠΈΠ»Π° ΡΠΎΠΊΠ°, ΠΏΡΠΎΡ ΠΎΠ΄ΡΡΠ΅Π³ΠΎ ΠΏΠΎ ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ»ΠΈΡΡ, Π½Π΅ΠΎΠ΄ΠΈΠ½Π°ΠΊΠΎΠ²Π° Π² ΡΠ΅Π½ΡΡΠ΅ ΠΈ ΠΏΠΎ ΠΊΡΠ°ΡΠΌ. ΠΡΠΈΡΠΈΠ½Π° ΡΠΎΠΌΡ — ΡΠΎΠΏΡΠΎΡΠΈΠ²Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΏΠ»Π°ΡΡΠΈΠ½Ρ (wafer), Π½Π° ΠΊΠΎΡΠΎΡΡΡ ΠΈ ΠΏΡΠΎΠΈΡΡ ΠΎΠ΄ΠΈΡ ΠΎΡΠ°ΠΆΠ΄Π΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΌΠ΅Π΄ΠΈ. ΠΠ°ΠΉΡΠΈ ΡΠ°Π·Π½ΠΈΡΡ ΠΌΠ΅ΠΆΠ΄Ρ ΡΠΈΠ»ΠΎΠΉ ΡΠΎΠΊΠ° Π² ΡΠ΅Π½ΡΡΠ΅ ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ»ΠΈΡΠ° ΠΈ ΠΏΠΎ ΠΊΡΠ°ΡΠΌ ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎ, ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΡΡ Ρ ΠΎΡΠΎΡΠΎ Π·Π½Π°ΠΊΠΎΠΌΡΠΉ ΠΈΠ· ΡΠΊΠΎΠ»ΡΠ½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΊΡΡΡΠ° ΡΠΈΠ·ΠΈΠΊΠΈ Π·Π°ΠΊΠΎΠ½ ΠΠΈΡΡ Π³ΠΎΡΠ°. Π£ΡΠΈΡΡΠ²Π°Ρ, ΠΊΡΠΎΠΌΠ΅ ΡΠΎΠ³ΠΎ, ΡΡΠΎ ΡΠΎΠΏΡΠΎΡΠΈΠ²Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ»ΠΈΡΠ° ΡΠ°Π²Π½ΠΎΠΌΠ΅ΡΠ½ΠΎ, Π½Π΅ΡΡΡΠ΄Π½ΠΎ Π½Π°ΠΉΡΠΈ ΡΠ°Π·Π½ΠΈΡΡ ΠΌΠ΅ΠΆΠ΄Ρ ΡΠΈΠ»ΠΎΠΉ ΡΠΎΠΊΠ° Π² ΡΠ΅Π½ΡΡΠ΅ ΠΈ ΠΏΠΎ ΠΊΡΠ°ΡΠΌ ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ»ΠΈΡΠ°: ΠΠ»Ρ ΡΠΎΠ³ΠΎ ΡΡΠΎΠ±Ρ Π΄ΠΎΠ±ΠΈΡΡΡΡ ΡΠ°Π²Π½ΠΎΠΌΠ΅ΡΠ½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΎΡΠ°ΠΆΠ΄Π΅Π½ΠΈΡ ΠΌΠ΅Π΄ΠΈ ΠΏΠΎ Π²ΡΠ΅ΠΉ ΠΏΠΎΠ²Π΅ΡΡ Π½ΠΎΡΡΠΈ ΠΏΠ»Π°ΡΡΠΈΠ½Ρ, ΠΆΠ΅Π»Π°ΡΠ΅Π»ΡΠ½ΠΎ, ΡΡΠΎΠ±Ρ ΡΠ°Π·Π½ΠΈΡΠ° ΠΌΠ΅ΠΆΠ΄Ρ ΡΠΈΠ»ΠΎΠΉ ΡΠΎΠΊΠ° Π² ΡΠ΅Π½ΡΡΠ΅ ΠΈ ΠΏΠΎ ΠΊΡΠ°ΡΠΌ ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ»ΠΈΡΠ° Π±ΡΠ»Π° Π±Ρ ΠΊΠ°ΠΊ ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎ ΠΌΠ΅Π½ΡΡΠ΅. ΠΠ· ΠΏΠΎΠ»ΡΡΠ΅Π½Π½ΠΎΠΉ ΡΠΎΡΠΌΡΠ»Ρ Π²ΠΈΠ΄Π½ΠΎ, ΡΡΠΎ Π΄ΠΎΠ±ΠΈΡΡΡΡ ΡΠΌΠ΅Π½ΡΡΠ΅Π½ΠΈΡ DI ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎ Π»ΠΈΠ±ΠΎ ΠΏΡΡΠ΅ΠΌ ΡΠ½ΠΈΠΆΠ΅Π½ΠΈΡ Π½Π°ΠΏΡΡΠΆΠ΅Π½ΠΈΡ ΠΈΡΡΠΎΡΠ½ΠΈΠΊΠ° ΠΏΠΈΡΠ°Π½ΠΈΡ U, Π»ΠΈΠ±ΠΎ ΠΏΡΡΠ΅ΠΌ ΡΠΌΠ΅Π½ΡΡΠ΅Π½ΠΈΡ ΡΠΎΠΏΡΠΎΡΠΈΠ²Π»Π΅Π½ΠΈΡ ΠΏΠ»Π°ΡΡΠΈΠ½Ρ Rcath, Π»ΠΈΠ±ΠΎ ΠΏΡΡΠ΅ΠΌ ΡΠ²Π΅Π»ΠΈΡΠ΅Π½ΠΈΡ ΡΠΎΠΏΡΠΎΡΠΈΠ²Π»Π΅Π½ΠΈΡ ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ»ΠΈΡΠ° R2. ΠΠ·ΠΌΠ΅Π½Π΅Π½ΠΈΠ΅ Π½Π°ΠΏΡΡΠΆΠ΅Π½ΠΈΡ Π²Π»Π΅ΡΠ΅Ρ Π·Π° ΡΠΎΠ±ΠΎΠΉ ΠΈΠ·ΠΌΠ΅Π½Π΅Π½ΠΈΠ΅ ΡΠΊΠΎΡΠΎΡΡΠΈ ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ»ΠΈΠ·Π°, ΡΡΠΎ Π½Π΅ΠΆΠ΅Π»Π°ΡΠ΅Π»ΡΠ½ΠΎ. ΠΠ·ΠΌΠ΅Π½Π΅Π½ΠΈΠ΅ ΡΠΎΠΏΡΠΎΡΠΈΠ²Π»Π΅Π½ΠΈΡ ΠΏΠ»Π°ΡΡΠΈΠ½Ρ Π½Π΅Π²ΠΎΠ·ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎ Π±Π΅Π· ΠΈΠ·ΠΌΠ΅Π½Π΅Π½ΠΈΡ Π΅Π΅ ΡΠ°Π·ΠΌΠ΅ΡΠΎΠ², ΡΡΠΎ ΡΠ°ΠΊΠΆΠ΅ Π½Π΅ΠΆΠ΅Π»Π°ΡΠ΅Π»ΡΠ½ΠΎ. Π Π²ΠΎΡ ΠΈΠ·ΠΌΠ΅Π½Π΅Π½ΠΈΠ΅ ΡΠΎΠΏΡΠΎΡΠΈΠ²Π»Π΅Π½ΠΈΡ ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ»ΠΈΡΠ° Π²ΠΏΠΎΠ»Π½Π΅ ΡΠ΅Π°Π»ΡΠ½ΠΎ. ΠΠΌΠ΅Π½Π½ΠΎ ΠΏΠΎΡΡΠΎΠΌΡ ΠΏΠΎΠ΄Π±ΠΈΡΠ°ΡΡ ΡΠ°ΠΊΡΡ ΠΏΠ»ΠΎΡΠ½ΠΎΡΡΡ ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ»ΠΈΡΠ°, ΡΡΠΎΠ±Ρ ΠΌΠΈΠ½ΠΈΠΌΠΈΠ·ΠΈΡΠΎΠ²Π°ΡΡ ΡΠ°Π·Π½ΠΈΡΡ ΡΠΎΠΊΠ° Π² ΡΠ΅Π½ΡΡΠ΅ ΠΈ ΠΏΠΎ ΠΊΡΠ°ΡΠΌ ΠΈ ΡΠ΅ΠΌ ΡΠ°ΠΌΡΠΌ ΠΎΠ±Π΅ΡΠΏΠ΅ΡΠΈΡΡ ΡΠ°Π²Π½ΠΎΠΌΠ΅ΡΠ½ΠΎΡΡΡ ΠΎΡΠ°ΠΆΠ΄Π΅Π½ΠΈΡ ΠΌΠ΅Π΄ΠΈ. ΠΡΠΈ ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ»ΠΈΠ·Π΅ ΠΏΡΠΎΠΈΡΡ ΠΎΠ΄ΠΈΡ ΠΏΠΎΡΡΠ΅ΠΏΠ΅Π½Π½ΠΎΠ΅ Π·Π°ΠΏΠΎΠ»Π½Π΅Π½ΠΈΠ΅ Π°ΡΠΎΠΌΠ°ΠΌΠΈ ΠΌΠ΅Π΄ΠΈ Π²ΡΡΡΠ°Π²Π»Π΅Π½Π½ΡΡ ΠΊΠ°Π½Π°Π²ΠΎΠΊ, Π² ΡΠ΅Π·ΡΠ»ΡΡΠ°ΡΠ΅ ΡΠ΅Π³ΠΎ ΠΎΠ±ΡΠ°Π·ΡΡΡΡΡ ΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄ΡΡΠΈΠ΅ ΡΠ΅Π»ΡΡΡ. ΠΠΎΡΠ»Π΅ Π·Π°ΠΏΠΎΠ»Π½Π΅Π½ΠΈΡ ΠΌΠ΅Π΄ΡΡ ΠΊΠ°Π½Π°Π²ΠΎΠΊ Π»ΠΈΡΠ½ΠΈΠΉ ΡΠ»ΠΎΠΉ ΠΌΠ΅Π΄ΠΈ ΡΠ΄Π°Π»ΡΠ΅ΡΡΡ Ρ ΠΏΠ»Π°ΡΡΠΈΠ½Ρ ΠΏΠΎΡΡΠ΅Π΄ΡΡΠ²ΠΎΠΌ ΡΠ»ΠΈΡΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΡ, Π° Π·Π°ΡΠ΅ΠΌ Π½Π°Π½ΠΎΡΠΈΡΡΡ ΠΎΡΠ΅ΡΠ΅Π΄Π½ΠΎΠΉ ΡΠ»ΠΎΠΉ ΠΎΠΊΡΠΈΠ΄Π½ΠΎΠΉ ΠΏΠ»Π΅Π½ΠΊΠΈ ΠΈ ΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄ΠΈΡΡΡ ΡΠΎΡΠΌΠΈΡΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ ΡΠ»Π΅Π΄ΡΡΡΠ΅Π³ΠΎ ΡΠ»ΠΎΡ. Π ΡΠ΅Π·ΡΠ»ΡΡΠ°ΡΠ΅ ΠΎΠ±ΡΠ°Π·ΡΠ΅ΡΡΡ ΠΌΠ½ΠΎΠ³ΠΎΡΠ»ΠΎΠΉΠ½Π°Ρ ΡΠΈΡΡΠ΅ΠΌΠ°. ΠΠΈΠΆΠ½ΠΈΠ΅ ΡΠ»ΠΎΠΈ ΠΌΠ΅ΡΠ°Π»Π»ΠΈΠ·Π°ΡΠΈΠΈ ΠΏΡΠ΅Π΄Π½Π°Π·Π½Π°ΡΠ΅Π½Ρ Π΄Π»Ρ Π»ΠΎΠΊΠ°Π»ΡΠ½ΠΎΠΉ ΠΊΠΎΠΌΠΌΡΡΠ°ΡΠΈΠΈ. Π ΡΡΠΈΡ ΡΠ»ΠΎΡΡ ΠΊΡΠΈΡΠΈΡΠ½ΠΎΠΉ ΡΠ²Π»ΡΠ΅ΡΡΡ ΠΏΠ»ΠΎΡΠ½ΠΎΡΡΡ ΡΠ°Π·ΠΌΠ΅ΡΠ΅Π½ΠΈΡ ΠΌΠ΅ΡΠ°Π»Π»ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΡ ΡΠ΅Π»ΡΡ. ΠΠ΅ΡΡ Π½ΠΈΠ΅ ΡΠ»ΠΎΠΈ ΠΏΡΠ΅Π΄Π½Π°Π·Π½Π°ΡΠ΅Π½Ρ Π΄Π»Ρ Π³Π»ΠΎΠ±Π°Π»ΡΠ½ΠΎΠΉ ΠΊΠΎΠΌΠΌΡΡΠ°ΡΠΈΠΈ. Π ΡΡΠΈΡ ΡΠ»ΠΎΡΡ ΠΊΡΠΈΡΠΈΡΠ½ΡΠΌ ΡΠ²Π»ΡΠ΅ΡΡΡ ΡΠΎΠΏΡΠΎΡΠΈΠ²Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ². Π Π·Π°ΠΊΠ»ΡΡΠ΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΎΡΠΌΠ΅ΡΠΈΠΌ, ΡΡΠΎ ΠΌΡ ΠΊΡΠ°ΡΠΊΠΎ ΡΠ°ΡΡΠΌΠΎΡΡΠ΅Π»ΠΈ Π»ΠΈΡΡ ΠΎΠ΄ΠΈΠ½ ΠΈΠ· Π°ΡΠΏΠ΅ΠΊΡΠΎΠ² ΡΠΎΠ·Π΄Π°Π½ΠΈΡ ΠΌΠΈΠΊΡΠΎΠΏΡΠΎΡΠ΅ΡΡΠΎΡΠΎΠ², Π½ΠΎ ΠΌΠ½ΠΎΠ³ΠΎΠ΅ ΠΎΡΡΠ°Π»ΠΎΡΡ Π·Π° ΡΠ°ΠΌΠΊΠ°ΠΌΠΈ ΡΡΠ°ΡΡΠΈ. ΠΠΎΠ½Π΅ΡΠ½ΠΎ, ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ ΠΏΠ΅ΡΡΠΏΠ΅ΠΊΡΠΈΠ²Π½ΡΡ ΠΌΠ½ΠΎΠ³ΠΎΡΠ»ΠΎΠΉΠ½ΡΡ ΠΌΠ΅Π΄Π½ΡΡ ΡΠΎΠ΅Π΄ΠΈΠ½Π΅Π½ΠΈΠΉ — Π½Π΅ Π΅Π΄ΠΈΠ½ΡΡΠ²Π΅Π½Π½Π°Ρ ΠΎΡΠΎΠ±Π΅Π½Π½ΠΎΡΡΡ ΡΠΎΠ²ΡΠ΅ΠΌΠ΅Π½Π½ΡΡ ΠΌΠΈΠΊΡΠΎΡΡ Π΅ΠΌ. ΠΠ΅ΠΌΠ°Π»ΠΎ ΡΡΠΈΠ»ΠΈΠΉ ΠΏΡΠΈΠ»Π°Π³Π°Π΅ΡΡΡ ΠΈ Π΄Π»Ρ ΡΡΠΎΠ²Π΅ΡΡΠ΅Π½ΡΡΠ²ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΡ ΡΠ°ΠΌΠΈΡ ΡΡΠ°Π½Π·ΠΈΡΡΠΎΡΠΎΠ², ΡΠΎΡΡΠ°Π²Π»ΡΡΡΠΈΡ ΠΎΡΠ½ΠΎΠ²Ρ Π»ΡΠ±ΠΎΠΉ ΠΌΠΈΠΊΡΠΎΡΡ Π΅ΠΌΡ. ΠΠ°ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅Ρ, Π² Π½ΠΎΠ²ΠΎΠΌ ΠΏΠΎΠΊΠΎΠ»Π΅Π½ΠΈΠΈ ΠΏΡΠΎΡΠ΅ΡΡΠΎΡΠΎΠ² Π±ΡΠ΄ΡΡ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΠΎΠ²Π°ΡΡΡΡ ΡΠ°ΠΊΠΈΠ΅ Π½ΠΎΠ²ΠΎΠ²Π²Π΅Π΄Π΅Π½ΠΈΡ, ΠΊΠ°ΠΊ SOI-ΡΡΠ°Π½Π·ΠΈΡΡΠΎΡΡ (Silicon On Isolator), Π² ΠΊΠΎΡΠΎΡΡΡ Π·Π° ΡΡΡΡ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΡ Π΄ΠΎΠΏΠΎΠ»Π½ΠΈΡΠ΅Π»ΡΠ½ΠΎΠ³ΠΎ ΡΠ»ΠΎΡ ΠΎΠΊΡΠΈΠ΄Π° ΡΠ½ΠΈΠΆΠ°ΡΡΡΡ Π΅ΠΌΠΊΠΎΡΡΡ ΠΈ ΡΠΎΠΊΠΈ ΡΡΠ΅ΡΠΊΠΈ, Π° ΡΠ°ΠΊΠΆΠ΅ ΡΡΠ°Π½Π·ΠΈΡΡΠΎΡΡ Ρ Π΄Π²ΡΠΌΠ΅ΡΠ½ΡΠΌΠΈ Π·Π°ΡΠ²ΠΎΡΠ°ΠΌΠΈ ΠΈ Π΄ΡΡΠ³ΠΈΠ΅ Π½ΠΎΠ²ΡΠ΅ΡΡΠ²Π°, ΠΏΠΎΠ·Π²ΠΎΠ»ΡΡΡΠΈΠ΅ ΠΏΠΎΠ²ΡΡΠΈΡΡ Π±ΡΡΡΡΠΎΠ΄Π΅ΠΉΡΡΠ²ΠΈΠ΅ ΡΡΠ°Π½Π·ΠΈΡΡΠΎΡΠΎΠ² ΠΏΡΠΈ ΠΎΠ΄Π½ΠΎΠ²ΡΠ΅ΠΌΠ΅Π½Π½ΠΎΠΌ ΡΠΌΠ΅Π½ΡΡΠ΅Π½ΠΈΠΈ ΠΈΡ Π³Π΅ΠΎΠΌΠ΅ΡΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΡ ΡΠ°Π·ΠΌΠ΅ΡΠΎΠ².
5. ΠΠ½Π°Π»ΠΈΠ· Π²ΡΠΏΠΎΠ»Π½Π΅Π½Π½ΡΡ ΡΠ°ΡΡΠ΅ΡΠΎΠ² Π ΡΠ°ΡΡΡΡΠ°Ρ Π±ΡΠ»Π° ΠΏΡΠΎΠΈΠ·Π²Π΅Π΄Π΅Π½Π° ΠΎΠΏΡΠΈΠΌΠΈΠ·Π°ΡΠΈΡ ΡΠΈΠΏΠ°, Π° ΠΈΠΌΠ΅Π½Π½ΠΎ ΡΠΌΠ΅Π½ΡΡΠ΅Π½ΠΈΠ΅ ΡΠ°Π³Π° ΡΡΠ°ΡΡ ΠΌΠ΅ΡΠ°Π»Π»ΠΈΠ·Π°ΡΠΈΠΈ. ΠΡΠΈ ΡΡΠΎΠΌ ΠΏΠΎΡΠ²ΠΈΠ»ΡΡ ΠΎΠ΄ΠΈΠ½ «Π·Π°ΠΏΠ°ΡΠ½ΠΎΠΉ» ΡΠ»ΠΎΠΉ ΠΊΠΎΡΠΎΡΡΠΉ ΠΏΡΠΈ Π΄Π°Π»ΡΠ½Π΅ΠΉΡΠ΅ΠΉ ΡΠ°Π·ΡΠ°Π±ΠΎΡΠΊΠ΅ ΠΏΠΎΠ·Π²ΠΎΠ»ΠΈΡ ΡΠ°Π·Π³ΡΡΠ·ΠΈΡΡ Π½ΠΈΠΆΠ½ΠΈΠ΅ ΡΠ»ΠΎΠΈ ΠΈ ΡΠ΅ΠΌ ΡΠ°ΠΌΡΠΌ Π΅ΡΡ Π±ΠΎΠ»ΡΡΠ΅ ΠΎΠΏΡΠΈΠΌΠΈΠ·ΠΈΡΠΎΠ²Π°ΡΡ ΡΠΈΠΏ ΠΈΠ»ΠΈ Π΄ΠΎΠ±Π°Π²ΠΈΡΡ ΡΡΠ½ΠΊΡΠΈΠΎΠ½Π°Π»Π°.
6.
ΠΠ°ΠΊΠ»ΡΡΠ΅Π½ΠΈΠ΅
ΠΠ»Π°ΡΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠ΅ ΠΠΠΠ-ΡΡΠ°Π½Π·ΠΈΡΡΠΎΡΠ½ΡΠ΅ ΡΡΡΡΠΊΡΡΡΡ ΠΏΡΠΈ ΡΠΌΠ΅Π½ΡΡΠ΅Π½ΠΈΠΈ ΡΠ°Π·ΠΌΠ΅ΡΠΎΠ² ΠΈΡ ΡΠ»Π΅ΠΌΠ΅Π½ΡΠΎΠ² ΠΏΡΠΈΠΎΠ±ΡΠ΅ΡΠ°ΡΡ ΠΏΡΠΈΠ½ΡΠΈΠΏΠΈΠ°Π»ΡΠ½ΡΠ΅ ΡΠΈΠ·ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠ΅, ΡΠ΅Ρ Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠ΅ ΠΈ ΡΠΊΠΎΠ½ΠΎΠΌΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠ΅ ΠΎΠ³ΡΠ°Π½ΠΈΡΠ΅Π½ΠΈΡ. ΠΠΎ ΠΌΠ΅ΡΠ΅ ΠΏΡΠΈΠ±Π»ΠΈΠΆΠ΅Π½ΠΈΡ ΡΡΠΎΠ²Π½Ρ ΠΠΠΠ-ΡΠ΅Ρ Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΠΈ ΠΊ ΡΠ°ΠΊΠΈΠΌ ΠΎΠ³ΡΠ°Π½ΠΈΡΠ΅Π½ΠΈΡΠΌ Π½Π°Π±Π»ΡΠ΄Π°Π΅ΡΡΡ Π»ΠΈΠ±ΠΎ ΡΠ΅Π·ΠΊΠΎΠ΅ ΡΠΎΠΊΡΠ°ΡΠ΅Π½ΠΈΠ΅ ΡΠ΅ΠΌΠΏΠΎΠ² ΡΠΌΠ΅Π½ΡΡΠ΅Π½ΠΈΡ ΡΠΎΠΏΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΡ Π½ΠΎΡΠΌ, Π»ΠΈΠ±ΠΎ Π²Π²ΠΎΠ΄ ΡΡΠ΄Π° Π½ΠΎΠ²ΡΡ ΡΠ΅Ρ Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΡ ΡΠ»Π΅ΠΌΠ΅Π½ΡΠΎΠ², ΡΡΡΠΎΠ³ΠΎ Π³ΠΎΠ²ΠΎΡΡ, ΠΊΠ°ΡΠ΄ΠΈΠ½Π°Π»ΡΠ½ΠΎ ΠΈΠ·ΠΌΠ΅Π½ΡΡΡΠΈΡ ΠΊΠΎΠ½ΡΡΡΡΠΊΡΠΈΡ ΡΡΠ°Π½Π·ΠΈΡΡΠΎΡΠ½ΡΡ ΡΡΡΡΠΊΡΡΡ ΠΈ ΠΎΡΠΎΠ΄Π²ΠΈΠ³Π°ΡΡΠΈΡ ΡΠ°ΠΊΠΈΠΌ ΠΎΠ±ΡΠ°Π·ΠΎΠΌ ΠΏΡΠΈΠ½ΡΠΈΠΏΠΈΠ°Π»ΡΠ½ΡΠ΅ ΡΠΈΠ·ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠ΅, ΡΠ΅Ρ Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠ΅ ΠΈ ΡΠΊΠΎΠ½ΠΎΠΌΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠ΅ ΠΎΠ³ΡΠ°Π½ΠΈΡΠ΅Π½ΠΈΡ. ΠΠΠΠ-ΡΠ΅Ρ Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΡ ΠΏΡΠΈ ΡΠΎΡ ΡΠ°Π½Π΅Π½ΠΈΠΈ Π½Π°ΡΡΠΎΡΡΠΈΡ ΡΠ΅ΠΌΠΏΠΎΠ² ΡΠ°Π·Π²ΠΈΡΠΈΡ Π΄ΠΎΠ»ΠΆΠ½Π° ΠΏΠΎΠ΄ΠΎΠΉΡΠΈ ΠΊ ΡΡΠΎΠΌΡ ΡΡΠΎΠ²Π½Ρ Π² Π±Π»ΠΈΠΆΠ°ΠΉΡΠ΅Π΅ Π΄Π΅ΡΡΡΠΈΠ»Π΅ΡΠΈΠ΅. Π§ΡΠΎΠ±Ρ Π½Π΅ Π΄ΠΎΠΏΡΡΡΠΈΡΡ Π·Π°ΠΌΠ΅Π΄Π»Π΅Π½ΠΈΡ ΡΠ΅ΠΌΠΏΠΎΠ² ΡΠΎΠ²Π΅ΡΡΠ΅Π½ΡΡΠ²ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΡ ΠΌΠΈΠΊΡΠΎΡΡ Π΅ΠΌ, Π° ΡΠ»Π΅Π΄ΠΎΠ²Π°ΡΠ΅Π»ΡΠ½ΠΎ, ΠΈ ΡΠ½ΠΈΠΆΠ΅Π½ΠΈΡ ΡΠΊΠΎΠ½ΠΎΠΌΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠΉ ΡΡΡΠ΅ΠΊΡΠΈΠ²Π½ΠΎΡΡΠΈ ΠΈΡ ΠΏΡΠΎΠΈΠ·Π²ΠΎΠ΄ΡΡΠ²Π°, Π²Π΅Π΄ΡΡΠΈΠ΅ ΡΠΏΠ΅ΡΠΈΠ°Π»ΠΈΡΡΡ ΠΊΠΎΠΌΠΏΠ°Π½ΠΈΠΉ, ΡΠ½ΠΈΠ²Π΅ΡΡΠΈΡΠ΅ΡΠΎΠ² ΠΈ Π½Π°ΡΡΠ½ΡΡ ΡΠ΅Π½ΡΡΠΎΠ² ΠΈΠ½ΡΠ΅Π½ΡΠΈΠ²Π½ΠΎ ΠΈΡΡΠ»Π΅Π΄ΡΡΡ ΠΏΡΠΈΠ½ΡΠΈΠΏΠΈΠ°Π»ΡΠ½ΡΠ΅ ΠΎΠ³ΡΠ°Π½ΠΈΡΠ΅Π½ΠΈΡ ΡΡΠ°Π½Π·ΠΈΡΡΠΎΡΠ½ΡΡ ΡΡΡΡΠΊΡΡΡ ΠΈ Π²ΠΎΠ·ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎΡΡΠΈ ΠΈΡ ΡΠ΅Ρ Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠΉ ΠΌΠΎΠ΄Π΅ΡΠ½ΠΈΠ·Π°ΡΠΈΠΈ Ρ ΡΠ΅Π»ΡΡ ΠΎΠ±Ρ ΠΎΠ΄Π° ΠΈΠ»ΠΈ ΠΏΡΠΎΠ΄Π»Π΅Π½ΠΈΡ ΡΡΠΎΠΊΠΎΠ² Π²ΡΡΡΠΏΠ»Π΅Π½ΠΈΡ ΡΡΠΈΡ ΠΎΠ³ΡΠ°Π½ΠΈΡΠ΅Π½ΠΈΠΉ Π² ΡΠΈΠ»Ρ Π‘ΠΏΠΈΡΠΎΠΊ Π»ΠΈΡΠ΅ΡΠ°ΡΡΡΡ
http://www.electronics.ru/issue/2008/3/22
http://apxutektup.narod.ru/prAMD.html
ΠΠΈ Π‘. Π€ΠΈΠ·ΠΈΠΊΠ° ΠΏΠΎΠ»ΡΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ²ΡΡ ΠΏΡΠΈΠ±ΠΎΡΠΎΠ²: Π 2-Ρ ΠΊΠ½. ΠΠ΅Ρ. Ρ Π°Π½Π³Π». — Π.: ΠΠΈΡ, 1984, — 456 Ρ Π¦Π²Π΅ΡΠΎΠ² Π. Π. Π‘ΠΎΠ²ΡΠ΅ΠΌΠ΅Π½Π½ΡΠ΅ ΠΌΠ΅ΡΠΎΠ΄Ρ ΠΊΠΎΠ½ΡΡΡΡΠΈΡΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΡ ΠΈ ΡΠ΅Ρ Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΠΈ ΡΠ°Π΄ΠΈΠΎΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ½Π½ΡΡ ΡΡΠ΅Π΄ΡΡΠ². ΠΠΈΡΡΠΌΠ΅Π½Π½ΡΠ΅ Π»Π΅ΠΊΡΠΈΠΈ. — Π‘ΠΠ’Π£, 2005 Π³.